管理信息化-設(shè)備可靠性、有效性和可維護(hù)性的定義和測試規(guī)范(word,中文，(已修改)
2025-07-29 18:55 本頁面
【正文】 1 設(shè)備可靠性、有效性和可維護(hù)性的定義和測試規(guī)范 這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)在技術(shù)上已被全球公制委員會核準(zhǔn)，并由北美公制委員會直接負(fù)責(zé)。目前的版本在20xx 年 3月 1 日被北美地區(qū)標(biāo)準(zhǔn)委員會核準(zhǔn)通過。 20xx 年 6月將在國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料協(xié)會試行，之后同月公布。其第一版公布于 1986年，上一版公布于 1999年 6月。 這份文獻(xiàn)通過提供測試半導(dǎo)體制造設(shè)備在制造環(huán)境中的三性（可靠性、有效性、可維護(hù)性）的標(biāo)準(zhǔn)，為設(shè)備的使用者和供應(yīng)商之間的溝通建立了一個(gè)通用基礎(chǔ)。 這份文獻(xiàn)定義了設(shè)備的 6 種基本狀態(tài)。它包括了設(shè)備 的任何時(shí)間所有可能的狀態(tài)。設(shè)備的狀態(tài)由其功能狀況決定，而不管操作者是誰。在這里所做的對設(shè)備可靠性的測試強(qiáng)調(diào)的是對正在使用中的設(shè)備的突然中斷，而不是對設(shè)備的所有時(shí)間。 本文獻(xiàn)第三節(jié)（設(shè)備狀態(tài)）定義了如何對設(shè)備時(shí)間分類。第六節(jié)（三性測試）定義了測試設(shè)備狀態(tài)的公式。第七節(jié)（不確定測試）另外給出方法用來評估所得數(shù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)意義。 有效的應(yīng)用這份規(guī)范需要設(shè)備的工作遵循它的周期及或時(shí)間。自動監(jiān)測設(shè)備狀態(tài)是標(biāo)準(zhǔn) SEMI E58 中的內(nèi)容，并不在本規(guī)范中。設(shè)備使用者與供應(yīng)商之間清晰有效的溝通將持續(xù)提高設(shè)備的工作狀況。 在這份規(guī)范中的三性的指數(shù)可以直接運(yùn)用于整個(gè)設(shè)備的非成套工具和子系統(tǒng)水平級。三性指數(shù)可以適用于子系統(tǒng)水平（例如過程模塊）的多路徑組工具。 這份標(biāo)準(zhǔn)雖然有提到安全事宜，但目的并不旨在追求這個(gè)方面。它將是這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)使用者的責(zé)任來建立合適的安全和健康條款，以及在使用前決定限制章程的運(yùn)用。 SEMI E58 — 自動化的可靠性、有效性和可維護(hù)性的標(biāo)準(zhǔn) 注釋 1：本文列出的所有文獻(xiàn)都使用其最新的適應(yīng)版本。 輔助 — 在一個(gè)設(shè)備周期中設(shè)備工作突然中斷時(shí)發(fā)生，它有以下三種情況 ： ? 通過外部干涉使中斷的設(shè)備周期繼續(xù)。（比如通過操作工和使用者的干涉，無論它是人或電腦。） ? 除了一些特殊的消耗品，零件不可替換。 ? 在設(shè)備操作規(guī)范方面沒有進(jìn)一步改變。 成組工具 — 由機(jī)械地連接在一起的集成過程模塊組成的制造系統(tǒng)。（這些模塊可能來自于同一或不同供應(yīng)商） 單路徑成組工具 — 只有一條流水線的成組工具。 多路徑成組工具 — 超過一條獨(dú)立流水線的成組工具。（比如，多負(fù)荷閘、同樣型號的多流程單元室） 周期（設(shè)備周期） — 一個(gè)設(shè)備系統(tǒng)或子系統(tǒng)的完全操作過程（包括 裝卸產(chǎn)品），有流程、制造、測試步驟。在一個(gè)單元流程系統(tǒng)中，周期數(shù)等于流經(jīng)的單元數(shù)。在多批系統(tǒng)中，周期數(shù)等于批量數(shù)。 停工時(shí)間（設(shè)備停工時(shí)間） — 設(shè)備不在工作狀態(tài)或沒有執(zhí)行到它應(yīng)有水平的時(shí)間，不包括任何不在計(jì)劃安排上的時(shí)間。 故障（設(shè)備故障） — 在沒有外來干涉下發(fā)生的意外故障或偏離。 2 注釋 2：正確分類設(shè)備故障對于方便解決問題和提高設(shè)備能力是非常重要的。 宿主 — 聯(lián)系設(shè)備的智能系統(tǒng)，作用相當(dāng)于代表工廠領(lǐng)導(dǎo)下屬的制造主任。（比如，一個(gè)非植入的計(jì)算機(jī)或單元控制器） 中斷 — 任何干預(yù)和故障 注釋 3：中斷＝干預(yù)之和＋故障之和 維修 — 保證設(shè)備在預(yù)定功能狀態(tài)下工作。在本文獻(xiàn)中，維修的目的是功能不是設(shè)備結(jié)構(gòu)；不論是誰來維修，它都包括調(diào)整、材料變化、軟件開放、修理、預(yù)定檢測等等。 制造時(shí)間 — 所有生產(chǎn)產(chǎn)品的時(shí)間及相應(yīng)停留等待時(shí)間。 非計(jì)劃時(shí)間 — 計(jì)劃中設(shè)備不在用于生產(chǎn)的時(shí)間。 生產(chǎn)時(shí)間 — 總時(shí)間減非計(jì)劃時(shí)間。 操作工 — 在設(shè)備旁通過設(shè)備控制面板操作設(shè)備的人員。 產(chǎn)品 — 可以成為有功效的半導(dǎo)體裝置的一個(gè)單元，包括功 能的工程裝置。 斷工 — 為使設(shè)備能繼續(xù)工作的一段維修時(shí)間，包括沖洗、冷卻、加熱、軟件備份、儲存、動態(tài)數(shù)據(jù)（包括參數(shù)、方法）、斷工發(fā)生在計(jì)劃內(nèi)和計(jì)劃外的停工時(shí)間內(nèi)。 復(fù)工 — 在斷工維修后，使設(shè)備恢復(fù)正常功能工作的一段維修時(shí)間。包括沖氣、加熱、標(biāo)準(zhǔn)化時(shí)間、初始化常數(shù)、載入軟件、重貯數(shù)據(jù)（例參數(shù)、方法）、控制系統(tǒng)再建等等。但不包括設(shè)備及流水線檢測時(shí)間。復(fù)工也發(fā)生在計(jì)劃內(nèi)外的停工時(shí)間內(nèi)。 關(guān)機(jī) — 當(dāng)設(shè)備有計(jì)劃外狀態(tài)時(shí)，讓設(shè)備回到安全狀態(tài)的時(shí)間。它包括為了達(dá)
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