質(zhì)量流量控制器與質(zhì)量流量計(jì)使用說明書(已修改)
2025-08-01 06:31 本頁面
【正文】 質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)使 用 說 明 書 特點(diǎn)及應(yīng)用領(lǐng)域質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。質(zhì)量流量計(jì)（Mass Flow Meter縮寫為MFM），用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量。S49系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)特點(diǎn)：R*采用主體不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，與氣體接觸部分采用鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、VITON 、聚四氟乙烯等*適用于各種腐蝕性氣體*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準(zhǔn)*高精度 *重復(fù)性好 *響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、穩(wěn)定可靠*低壓降*工作壓力范圍寬（可以在高壓或真空條件下工作）。*操作使用方便，可任意位置安裝*便于與計(jì)算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。S49系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)主要應(yīng)用領(lǐng)域：*半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制*分析儀器設(shè)備的氣體計(jì)量與控制*各種形式的真空鍍膜設(shè)備*環(huán)境檢測(cè)與分析設(shè)備*化工、石化、食品行業(yè)氣體流量監(jiān)測(cè)和控制*特種材料表面處理裝置與燃燒控制*混氣配氣系統(tǒng)和泄漏探測(cè)系統(tǒng)等2．S49系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)型號(hào) 本產(chǎn)品采用中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T1058394以及SJ37所規(guī)定的通用技術(shù)條件及命名方法。其中：S4933/MT型為高精度質(zhì)量流量控制器 S4933A/MT型高精度質(zhì)量流量計(jì)。 S4933M/MT型為普通型質(zhì)量流量控制器 S4933BM/MT型普通型質(zhì)量流量計(jì)。質(zhì)量流量計(jì)主要精確測(cè)量氣體流量，質(zhì)量流量控制器不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能還具備自動(dòng)控制氣體流量的功能。執(zhí)行Q/XCHBY0012003企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)3．主要技術(shù)指標(biāo)質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮?dú)猓∟2）標(biāo)定。質(zhì)量流量的單位規(guī)定為: SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分)?！ LM (標(biāo)準(zhǔn)升/分)標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 溫度 ( 0℃ )。 氣壓 — 101325 Pa (760mm Hg) (Full Scale): 表示滿量程值表1 S4933/MT型﹑S4933M/MT型質(zhì)量流量控制器技術(shù)指標(biāo) 編號(hào)項(xiàng) 目S4933/MTS4933M/MT1流量規(guī)格( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM( 0~1,2,3,5,10,15,20,30) SLM2調(diào)節(jié)閥類型電磁調(diào)節(jié)閥3調(diào)節(jié)閥靜止位置常閉4準(zhǔn)確度177。 1 % （5sccm~10slm） 177。 2 % 5線性 177。(~) % 6重復(fù)精度 177。 %7響應(yīng)時(shí)間(1 ~ 10) sec8工作壓差范圍( ~ ) Mpa 10~30L(~) Mpa9耐壓3 Mpa ﹑ 10 Mpa10工作環(huán)境溫度5 ℃ ~ 45 ℃11材料不銹鋼316L12標(biāo)準(zhǔn)密封材料Viton﹑EPDM, 或其他13漏率﹤214接頭Ф6mm, 1/4″Swagelok, 1/4″VCR, 或其他15輸入輸出信號(hào)0 V ~ + V(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)16電源+15 V 50 mA15V 200 mA17外形尺寸 mm1341343818重量 kg表2. S4933A/MT﹑ S4933BM/MT型質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)指標(biāo)編號(hào)項(xiàng) 目S4933A/MTS4933BM/MT1流量規(guī)格( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10,15,20,30) SLM2準(zhǔn)確度177。1 % 177。2 % 3線性 177。(~) % 4重復(fù)精度 177。 %5響應(yīng)時(shí)間1~4 sec6氣壓降 MPa7耐壓3 MPa﹑ 10 MPa8工作環(huán)境溫度5 ℃ ~ 45 ℃11材料不銹鋼316L12標(biāo)準(zhǔn)密封材料Viton﹑EPDM, 或其他13漏率﹤214接頭Ф6mm, 1/4″Swagelok, 1/4″VCR, 或其他電源+15 V 50 mA 15 V 50 mA11外形尺寸 mm134134381341343812重量 kg11注意： S49系列質(zhì)量流量控制器，質(zhì)量流量計(jì)分不同的流量范圍，供用戶選擇，也可根據(jù)用戶提出流量定制。4. 工作原理圖一 熱式質(zhì)量流量計(jì)的工作原理圖質(zhì)量流量計(jì)由流量傳感器, 分流器通道和流量放大電路等部件組成；在質(zhì)量流量計(jì)的基礎(chǔ)上，再加上調(diào)節(jié)閥門和PID控制電路就構(gòu)成了質(zhì)量流量控制器。流量控制器利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成，即熱分布式流量計(jì)（Thermal Profile Flowmeter）。采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度和壓力的影響。將傳感器測(cè)得的流量信號(hào)進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值信號(hào)去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器在主通道和毛細(xì)管間產(chǎn)生層流，控制器輸出的流量檢測(cè)電壓與流過通道的質(zhì)量流量成正比, 滿量程()流量檢測(cè)輸出電壓為+5V。質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍是(5～100)%（量程比為50:1）, %?？刂撇僮饕话阍贛T50系列流量顯示儀上進(jìn)行。當(dāng)設(shè)定與“內(nèi)”設(shè)相連時(shí)，由流量顯示儀上的設(shè)定電位器控制流量。當(dāng)與“外”設(shè)相連時(shí)，由用戶提供的外部0~+5V電壓控制流量。在流量顯示儀的顯示面板上設(shè)置有三位閥門控制開關(guān)，當(dāng)置于“閥控”時(shí)，則按設(shè)定電位器的數(shù)值自動(dòng)控制流量，當(dāng)置
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