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d3偏心量測技術(shù)與發(fā)展doc(已修改)

2025-07-27 11:24 本頁面
 

【正文】 偏心量測技術(shù)與發(fā)展文/圖:李建興、吳文弘、黃國政、陳峰志 儀器科技研究中心前言近年來,由於數(shù)位資訊產(chǎn)業(yè)爆發(fā)性的成長,小尺寸光學(xué)透鏡如讀寫鏡頭、數(shù)位相機、手機相機與光通訊等相關(guān)元件之應(yīng)用需求大幅增加。隨著模造玻璃成形與射出成形等相關(guān)高精密模具產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展,此類軸對稱光學(xué)元件在製作或系統(tǒng)組裝時,光軸與旋轉(zhuǎn)對稱軸若不重合,將產(chǎn)生偏心誤差,而此偏心誤差對於低 f/ 值及短背焦 (back focal length, BFL) 之小尺寸光學(xué)透鏡成像品質(zhì)具有關(guān)鍵性的影響。偏心誤差可分為兩種來源;一種是光軸與幾何中心軸之間的橫向偏移 (lateral displacement);另一種是光軸與幾何中心軸之間的傾斜 (tilt)。鑑於此類光學(xué)透鏡廣泛應(yīng)用及其光學(xué)系統(tǒng)組裝校正的要求,對於元件偏心誤差之檢測評估,則是製作高精度光學(xué)鏡片之一重要課題。本文簡介偏心量測原理及未來開發(fā)過程中可預(yù)期之關(guān)鍵技術(shù)與挑戰(zhàn),以期提升國內(nèi)光學(xué)產(chǎn)業(yè)相關(guān)檢測能力。何謂偏心 對於旋轉(zhuǎn)軸對稱光學(xué)元件或系統(tǒng),其在元件製作或系統(tǒng)組裝時,光軸與旋轉(zhuǎn)對稱軸之非重合現(xiàn)象,即為偏心誤差 (centring error)。在光學(xué)元件及系統(tǒng)國際標準規(guī)範 ISO 10110 中,係以基點 (datum point) 與基軸 (datum axis) 來描述同心度誤差 (centering error)。如單一球面曲面,即以通過球面與基軸交點之表面法線 (normal to the surface) 與基軸間的夾角稱為表面傾角 (surface tilt angle),定義為同心度誤差,亦即前述之偏心。以非球面曲面而言,其光軸由非球面上各點曲率中心連線而成,一個非球面只能定義出一個光軸。因此,非球面透鏡兩個面各可定義出一個光軸,這兩光軸可能因製造誤差不會重合,而產(chǎn)生透鏡兩面光軸間的偏心與傾斜現(xiàn)象。偏心誤差根據(jù)其量測方法的不同而有特殊的定義,常見的偏心誤差有偏折角、橫向位移、外緣偏心、邊緣厚差值、錶計差量、投影偏差量等,定義如表 1 所示。 偏心誤差可分為兩種來源:一種是光軸與幾何中心軸之間的橫向偏移 (lateral displacement),如圖 1(a);另一種是光軸與幾何中心軸之間的傾斜 (tilt),如圖 1(b)。單透鏡常見偏心狀況有三種,一為鏡片兩曲率中心對鏡片軸心平行偏移某距離,二為整個鏡片與光軸偏斜一個角度。此二類偏心的問題可在鏡片定心時,磨除多餘的邊厚解決。第三種則是鏡片某一面有傾斜現(xiàn)象,因此該面曲率中心偏移整體鏡片軸心,若傾斜角度大於 30,將影響整體光學(xué)品質(zhì),則需重新對該曲面加工修正傾斜的問題。傳統(tǒng)量測方法 在一般的光學(xué)系統(tǒng)中,假使透鏡的光軸與參考軸並未重合,光線進入光學(xué)系統(tǒng)時,不管是透過反射或是折射所形成的光學(xué)成像都會出現(xiàn)誤差,進而影響了整個光學(xué)系統(tǒng)的品質(zhì),因此,目前在組裝光學(xué)系統(tǒng)前,多會先對其中所需要使用的光學(xué)元件 (例如透鏡) 進行偏心誤差的測量。偏心誤差量測方式依元件或系統(tǒng)要求精度的不同而有下列兩類常見方式,一類為機械式量測法,另一類為光學(xué)式量測法。另外,依實際光源的不同,光學(xué)式量測法又可區(qū)分為穿透式量測法與反射式量測法。1. 機械量錶量測機械式量測的
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