特氣系統(tǒng)報(bào)告ppt課件(已修改)
2025-05-17 02:22 本頁(yè)面
【正文】 1 1 IVO Confidential 2 2 ALS 特殊氣體供 應(yīng)系統(tǒng)簡(jiǎn)介 特氣中央系統(tǒng)概述 閥盤介紹 管路設(shè)計(jì) 氣體偵 測(cè)系統(tǒng) 特氣中央系統(tǒng)設(shè)計(jì) 3 3 類別 氣體名稱 腐蝕 性 /毒性 CORROSIVE/TOXIC HCl 、 BF WF HBr、 SiH2ClNH PH Cl BCl3 … 等 可燃性 FLAMMABLE H CH SiH PH AsH SiH2Cl B2H CH2F CH3F、 CO…等 助燃性 O Cl N2O、 NF3… 等 惰性 INERT N CF C2F C4F SF CO Ne、Kr 、 He… 等 氣體種類 大宗氣體 特殊氣體 N H2 O2 、 He Ar 、 He … 4 4 氣體 Ar Ar H2 ? H2 He ? ? He N2 ? ? ? N2 O2 ? ? ? ? O2 B2H2 ? ? ? ? ? B2H2 CF4 ? ? ? ? ? ? CF4 Cl2 ? ? ? ? ? ? ? Cl2 HCl ? ? ? ? ? ? ? ? HCl HF ? ? ? ? ? ? ? ? ? HF NF3 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? NF3 NH3 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? NH3 N2O ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? N2O PH3 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? PH3 SiH4 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? SiH4 SiH2Cl2 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? SiH2Cl2 SF6 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? SF6 Air ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? Air ?:相容； ? :危險(xiǎn) ； ?:激烈反 應(yīng) ； ?:爆炸 氣體 相互反 應(yīng) 表 5 5 氣體 供 應(yīng) 方式 大宗氣體 桶槽 鋼 瓶 N O2 H He 特殊氣體 液態(tài) 氣態(tài) NH3 CL2 NF3 SIH4 6 6 GR 氣瓶櫃 VMB VMP POU 特 氣 供 應(yīng) 流程 7 7 特 氣系統(tǒng) 流程 圖 8 8 特 氣系統(tǒng) 流程 圖 9 9 特 氣系統(tǒng) 流程 圖 10 10 特 氣房間平面圖 11 11 特 氣系統(tǒng)供應(yīng)能力 氣柜名稱 氣柜供應(yīng)能 力 主管路供應(yīng) 能力 VMB支供應(yīng)能力 單臺(tái)設(shè)備需 求量 設(shè)備數(shù)量 SIH4 80SLPM 80SLPM 12 SLPM SLPM 5 NH3 200SLPM 200SLPM SLPM SLPM 5 12 12 功能 氣 瓶 柜 Gas Cabi 氣 瓶架 Gas Rack 防 護(hù) 箱 體 有 無(wú) 強(qiáng) 制抽 氣 有 無(wú) 安全防 護(hù) 有 無(wú) 自 動(dòng) 化 有 有 /無(wú) 瓶安置方式 13 ▼ 氣體依化學(xué)性質(zhì)分類如下 : 惰性氣體 (Inter gas): N2使用 GR (Gas Rack) ▼ 易燃易爆性氣體 (Flammable gas): SiH4, NH3使用 BSGS (Bulk special gas
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