等離子體刻蝕ppt課件(已修改)
2025-05-15 02:48 本頁(yè)面
【正文】 等離子體刻蝕 2 工藝流程介紹 硅片檢測(cè) 制作絨面 酸洗 管式 PECVD 等離子刻蝕 去 PSG 擴(kuò)散 絲網(wǎng)印刷 燒結(jié) 檢測(cè)分選 包裝 3 目錄 ? 等離子體的原理及應(yīng)用 ? 等離子刻蝕原理 ? 等離子刻蝕過(guò)程及工藝控制 ? 檢驗(yàn)方法及原理 4 什么是等離子體？ ? 隨著溫度的升高，一般物質(zhì)依次表現(xiàn)為固體、液體和氣體。它們統(tǒng)稱為物質(zhì)的三態(tài)。 ? 如果溫度升高到 10e4K甚至 10e5K，分子間和原子間的運(yùn)動(dòng)十分劇烈，彼此間已難以束縛，原子中的電子因具有相當(dāng)大的動(dòng)能而擺脫原子核對(duì)它的束縛，成為自由電子，原子失去電子變成帶正電的離子。這樣，物質(zhì)就變成了一團(tuán)由電子和帶正電的的離子組成的混合物 。這種混合物叫 等離子體 。它可以稱為物質(zhì)的第四態(tài)。 5 等離子體的產(chǎn)生 6 等離子體刻蝕原理 ? 等離子體刻蝕是采用高頻輝光放電反應(yīng)，使反應(yīng)氣體激活成活性粒子，如原子或游離基，這些活性粒子擴(kuò)散到需刻蝕的部位，在那里與被刻蝕材料進(jìn)行反應(yīng)，形成揮發(fā)性生成物而被去除。它的優(yōu)勢(shì)在于快速的刻蝕速率同時(shí)可獲得良好的物理形貌 。（這是各向同性反應(yīng)） ? 這種腐蝕方法也叫做干法腐蝕。 7 等離子體刻蝕反應(yīng) 8 ? 首先，母體分子 CF4在高能量的電子的碰撞作用下分解成多種中性基團(tuán)或離子。 ? 其次，這些活性粒子由于擴(kuò)散或者在電場(chǎng)作用下到達(dá) SiO2表面，并在表面上發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。 ? 生產(chǎn)過(guò)程
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