氣體傳感器ppt課件(已修改)
2025-05-13 03:40 本頁面
【正文】 氣體傳感器 1 概述 氣體傳感器半導(dǎo)體式固體電解質(zhì)式接觸燃燒式電化學(xué)式高分子式集成復(fù)合式其他電阻型非電阻型表面控制型體控制型結(jié)型：I SFET電容型濃差電池型；界限電流型離子電極型；定電位電解型；伽伐尼電池型熱傳導(dǎo)型；晶體振蕩型；紅外吸收型；光導(dǎo)纖維型；光干涉化學(xué)發(fā)光型分類： 基本性能要求： 選擇性 ； 重復(fù)性 ；實(shí)時(shí)性。 2 半導(dǎo)體氣敏器件 電阻型半導(dǎo)體氣敏器件 SnO ZnO、 Fe2O3等材料存在氣敏效應(yīng)，當(dāng)表面吸附某種氣體時(shí)會(huì)引起電導(dǎo)率的變化。 作為傳感器，還要求這種反應(yīng)必須是可逆的。 SnO2 ZnO SnO2氣敏元件特點(diǎn)： 工作溫度低；輸出信號(hào)大，無需高倍放大；應(yīng)用范圍最廣 工作原理： SnO2和空氣中電子親和性大的氣體 發(fā)生反應(yīng)，形成吸附氧束縛晶體中的電 子，使器件處于高阻狀態(tài)； 與被測(cè)氣體接觸，與吸附氧發(fā)生反應(yīng) 。 元件表面電導(dǎo)增加，電阻減小。 提高器件的選擇性和靈敏度的措施：參 雜改善前者，設(shè)置合適的工作溫度、改 進(jìn)制備工藝可改善后者。 電阻型半導(dǎo)體氣敏器件 SnO2氣敏元件工藝： 多采用燒結(jié)工藝，以多孔 SnO2陶瓷為基底材料，再添加不同的其他物質(zhì)，用制陶工藝燒結(jié)而成，燒結(jié)時(shí)埋入加熱電阻絲和測(cè)量電極。此外，還有薄膜型與厚膜型兩種工藝。 電阻型半導(dǎo)體氣敏器件 燒結(jié)型 厚膜型 0 . 6 m m電極0 . 5 m m半 導(dǎo)體加 熱器 電極絕 緣基 片( a )電極 ( 鉑絲 )氧 化物 半導(dǎo) 體加 熱器玻
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