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ecvd工作工藝原理ppt課件(已修改)

2025-05-10 22:03 本頁面

　

【正文】 PECVD的原理目錄 PECVD的作用 PECVD工藝參數(shù)的調(diào)整安全 PECVD： Microwave Remote Plasma Enhance Chemical Vapour Deposition 微波間接等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積定義等離子體：由于物質(zhì)分子熱運(yùn)動加劇，相互間的碰撞就會使氣體分子產(chǎn)生電離，這樣物質(zhì)就會變成自由運(yùn)動并由相互作用的正離子、電子和中性粒子組成的混合物。 PECVD的作用在太陽電池表面沉積深藍(lán)色減反膜 SiN膜。其還具有卓越的抗氧化和絕緣性能，同時(shí)具有良好的阻擋鈉離子、掩蔽金屬和水蒸汽擴(kuò)散的能力；它的化學(xué)穩(wěn)定性也很好，除氫氟酸和熱磷酸能緩慢腐蝕外，其它酸與它基本不起作用。除 SiN膜外， TiO2， SiO2也可作為減反膜 PECVD的作用氮化硅顏色與厚度的對照表顏色厚度（ nm）顏色厚度（ nm）顏色厚度（ nm）硅本色 020 很淡藍(lán)色 100110 藍(lán) 色 210230 褐色 2040 硅本色 110120 藍(lán)綠色 230250 黃褐色 4050 淡黃色 120130 淺綠色 250280 紅色 5573 黃色 130150 橙黃色 280300 深藍(lán)色 7377 橙黃色 150180 紅色 300330 藍(lán) 色 7793 紅

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