真空測量技術(shù)報告(已修改)
2025-01-30 23:37 本頁面
【正文】 《真空測量》技術(shù)報告報告題目 真空測量 學(xué)生姓名 學(xué) 號 專業(yè)班級 1001班 指導(dǎo)教師 院系名稱 機械與汽車工程學(xué)院 20 14 年 3 月 22 日 一．真空計的發(fā)展新趨勢結(jié)合真空計的發(fā)展歷史和使用需求 ,通過對國際上近幾年的真空計新產(chǎn)品的分析可知 ,目前常用真空計具有向小型化、一體化、集成化、系統(tǒng)化和智能化方向發(fā)展的趨勢。小型化是指真空計的體積越來越小 ,一體化是指真空計電路部分與規(guī)管集成為一體 ,集成化是指將多只真空計組合為一體 ,系統(tǒng)化是指將真空度的測量與控制相結(jié)合 ,智能化是指真空計具有自我診斷、自我保護、自動操作和數(shù)據(jù)處理等綜合處理功能。這些趨勢是在電子技術(shù)和計算機技術(shù)迅速發(fā)展的技術(shù)推動下 ,為滿足應(yīng)用的需求而產(chǎn)生的結(jié)果。真空計（Vacuum Gauge），又稱真空表，是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化進行氣壓的測量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計。利用力學(xué)性能的真空計典型的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī)；利用氣體動力學(xué)效應(yīng)的典型真空計有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī)；利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。，先后出現(xiàn)許多種真空計。最早出現(xiàn)的是Ｕ形管真空計,它只能用來測量粗真空和低真空。1874年,解決了低真空和高真空的絕對壓力的測量，但仍不能進行連續(xù)測量。1906年，解決了工業(yè)生產(chǎn)中的低真空測量問題。繼而，,這在當(dāng)時不僅解決了101～105帕的高真空測量,而且促進了油擴散泵等真空設(shè)備的發(fā)展和應(yīng)用。1937年，適用于有大量放氣和經(jīng)常暴露于大氣的真空設(shè)備的測量，所以在真空冶金和機械工業(yè)中得到廣泛應(yīng)用。1950年，,解決了108帕的超高真空測量問題,從而使真空測量獲得了突破,并推動了超高真空技術(shù)的發(fā)展；而與此有關(guān)的表面物理、核能、航天和大型集成電路等科學(xué)技術(shù)也得到了迅速發(fā)展。1960年以來，相繼研制成功的調(diào)制規(guī)、抑制規(guī)、彎注規(guī)、分離規(guī)和磁控式電離規(guī)等已能實現(xiàn)1011帕左右的超高真空測量。21世紀以來，應(yīng)用皮拉尼技術(shù)，冷陰極技術(shù)加上先進的數(shù)字通訊電路開發(fā)了復(fù)合工業(yè)應(yīng)用的皮拉尼真空計，標志著真空計測量全面進入了數(shù)字時代，在世界范圍得到廣泛應(yīng)用。 真空測量作為真空學(xué)科三大支柱知識之一，在生產(chǎn)與科研有重要的意義。真空計量要滿足在真空應(yīng)用中量大面廣的實際需要，解決其真空測量和校準問題，可以為真
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