后清洗生產(chǎn)培訓(xùn)ppt課件(已修改)
2025-01-22 16:11 本頁面
【正文】 刻蝕 ? Rena結(jié)構(gòu) ? Rena生產(chǎn)原理 ? Inoxside界面操作 ?與等離子刻蝕比較 Rena水平刻蝕清洗機 1 ； ； ； 。 ； . 。 1 5 3 2 6 7 4 4 Rena各部件功能介紹 1 ? : 給冷卻器提供冷卻水 . ? :向 PLC輸入運行參數(shù) ,監(jiān)控其運行 . ? :排設(shè)備內(nèi)廢氣 ,調(diào)節(jié) ,監(jiān)視抽風(fēng)負壓 . ? :柱式指示燈顯示集中供液運行狀態(tài) ,急停開關(guān)用于應(yīng)急停止集中供液設(shè)備 . ? :用于設(shè)備供料放硅片 . ? 6. rena柱式指示燈及其急停開關(guān) :柱式指示燈顯示 rena運行狀態(tài) ,急停開關(guān)用于應(yīng)急停止 rena設(shè)備 . ? :監(jiān)視設(shè)備內(nèi)硅片運行情況 ,保護設(shè)備內(nèi)氣體流動 ,隔絕設(shè)備尾氣 . Rena水平刻蝕清洗機 2 ； ； ； ； ； ； ，供水管道； . 8 9 10 11 12 13 14 15 6 Rena各部件功能介紹 2 ? :放置安裝設(shè)備總電源開關(guān) ,各斷路開關(guān) ,電腦機箱以及 PLC(設(shè)備總控制器 ). ? :監(jiān)視設(shè)備各部件運行情況 ,保護設(shè)備內(nèi)氣
試題試卷相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1