機械系統(tǒng)設(shè)計第十章copy(已修改)
2025-01-19 15:37 本頁面
【正文】 哈爾濱工業(yè)大學機械電子工程教研室 第 10章 微系統(tǒng)基本概念 第 10章 微系統(tǒng)簡介 主要介紹有關(guān)微系統(tǒng)的基本概念 微機械與傳統(tǒng)機械系統(tǒng)的不同點 微器件（機械）的加工方法 隨著微／納米科學與技術(shù) (Micro／ Nano Science and Technology)的發(fā)展，以形狀尺寸微小或操作尺度極小為特征的微機械已成為人們在微觀領(lǐng)域認識和改造客觀世界的一種高新技術(shù)。微機械由于具有能夠在狹小空間內(nèi)進行作業(yè)而又不擾亂工作環(huán)境和對象的特點，在航空航天、精密儀器、生物醫(yī)療等領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用潛力，并成為納米技術(shù)研究的重要手段，因而受到各國的高度重視，被列為 21世紀關(guān)鍵技術(shù)之首。 微機械 ?美國國會已把微機械的研究作為 21世紀重點發(fā)展的學科之一，美國國家基金會也撥巨資開始了微機械的研究； ?日本通產(chǎn)省 1991年開始啟動一項為期 10年耗資250億日元的微機械研究計劃； ?歐共體國家在尤里卡計劃中將微機械作為一個重要的研究內(nèi)容，并在法、德兩國組織實施。 ?在我國，微機械的研究也逐漸得到重視，國家科委、國防科工委、國家自然科學基金委等部門將其列為重點發(fā)展項目。 微機械國內(nèi)外現(xiàn)狀 美國： MEMS (Micro ElectroMechanical System)微機電系統(tǒng) 日本： MicroMachine，微機械 歐洲： MicroSystems，微系統(tǒng) 第十章 微系統(tǒng)簡介 微系統(tǒng)的習慣用語 第十章 微系統(tǒng)簡介 微機電系統(tǒng) （ Microelectro Mechanical Systems, MEMS）是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過幾十年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。它涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫(yī)學等多種學科與技術(shù)，具有廣闊的應(yīng)用前景。目前，全世界有大約 600余家單位從事MEMS的研制和生產(chǎn)工作，已研制出包括微型壓力傳感器、加速度傳感器、微噴墨打印頭、數(shù)字微鏡顯示器在內(nèi)的幾百種產(chǎn)品，其中微傳感器占相當大的比例。 微機電系統(tǒng) 1 什么是微系統(tǒng) 2 微系統(tǒng)涉及的學科 3 微系統(tǒng)的特點 4 微系統(tǒng)的基本特征 5 微系統(tǒng)的實例 一、微系統(tǒng)的有關(guān)概念 第十章 微系統(tǒng)簡介 微機電系統(tǒng)是一種集成了微電子電路和微機械執(zhí)行器 (和微機械傳感器 )的微小器件 (或系統(tǒng) )。它既可根
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