陶瓷坩堝在多晶硅材料提純和鑄錠中的應(yīng)用(已修改)
2025-01-19 06:22 本頁(yè)面
【正文】 1 陶瓷坩堝 在多晶硅 材料 提純 和鑄錠 中的應(yīng)用 陳圣賢 蘇州創(chuàng)新陶瓷有限公司 摘要 ： 由于在單晶硅生產(chǎn)中成熟的應(yīng)用是石英玻璃坩堝，所以許多人自然地把石英玻璃坩堝移植在多晶硅的生產(chǎn)上，導(dǎo)致應(yīng)用失敗。技術(shù)上成熟的方法是采用陶瓷坩堝提純多晶硅。在物理法提純太陽(yáng)能級(jí)多晶硅材料和定向結(jié)晶爐（ DSS）系統(tǒng)中采用陶瓷坩堝越來(lái)越多。本文對(duì)陶瓷坩堝作了詳細(xì)的介紹，并和 石英坩堝作了比較。 關(guān)鍵詞 ：陶瓷坩堝 石英坩堝 太陽(yáng)能級(jí)多晶硅材料 陶瓷坩堝的材料基體為陶瓷，其晶相為晶體和玻璃體，其基本性能和分析手段為工程陶瓷的研究?jī)?nèi) 容。而石英玻璃坩堝簡(jiǎn)稱(chēng)石英坩堝，其材料基體是玻璃，完全是玻璃相。 陶瓷坩堝的主要化學(xué)成分 ： 二氧化硅（ Silica） SiO2 % 三氧化二鋁（ Alumina） Al2O3 % 氧化鈣（ Calcia） CaO % 石英玻璃坩堝的主要成分是單一高純度的二氧化硅（ Silica） SiO2 涂層材料： 在
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