【正文】 （重點(diǎn)推介項目） 哈爾濱工業(yè)大學(xué)新型熱能有限責(zé)任公司 液流熱能發(fā)生器 技術(shù)說明 液流熱能發(fā)生器是一種新型熱源裝置。它不同于燃煤、燃油以及燃?xì)忮仩t，使用的是清潔能源 —電能。其工作原理是利用電泵推動水流，水流進(jìn)入核心組件后，在壓力的作用下產(chǎn)生高速旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，隨后進(jìn)入減壓區(qū)形成斷流，并生成蒸氣 —?dú)怏w混合的微小氣泡，攜帶微小氣泡的高速運(yùn)動的水流進(jìn)入高壓區(qū)，在壓力作用下，微氣泡消失，蒸氣凝結(jié)，氣體壓縮，原微氣泡中心的溫度急劇上升。液體在液流熱能發(fā)生器中經(jīng)過速度與壓力變化，在旋轉(zhuǎn)運(yùn)動中被加熱，而無需使用任何電加熱 元件，這是一種全新概念的熱能獲取設(shè)備。該設(shè)備的技術(shù)關(guān)鍵是入口射流管，帶阿基米德螺線流道的首部渦流室，次部渦流室和止旋器的幾何尺寸。 該設(shè)備無任何煙塵排放，是清潔高效的供熱產(chǎn)品，不結(jié)水垢，無需水處理設(shè)備，設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單，安裝方便，性能穩(wěn)定，安全可靠，運(yùn)行維護(hù)費(fèi)用低，使用壽命長。 液流熱能發(fā)生器這一具有世界先進(jìn)水平的科技創(chuàng)新成果，將會給 21 世紀(jì)的熱源領(lǐng)域注入一股新鮮的血液。特別是在當(dāng)今我國綠色、環(huán)保、奧運(yùn)的大氛圍中，該設(shè)備具有極其廣闊的前景，在未來的供熱領(lǐng)域中必將發(fā)揮越來越重要的作用。 產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)與特性 環(huán)保安全 沒有燃煤、燃油、燃?xì)忮仩t所造成的任何污染和可能存在的安全隱患，徹底實現(xiàn)水電隔離，安全可靠。 高效節(jié)能 電 —熱轉(zhuǎn)換效率高，可達(dá) 96%98%，長期使用，熱效率不衰減。 自動化高 根據(jù)需要設(shè)定供熱溫度，保持恒溫輸出，可以實現(xiàn)遠(yuǎn)程控制，做到無人值守。 方便耐用 結(jié)構(gòu)簡單，便于使用和維護(hù)，使用壽命 15年以上。 無需軟化 無任何電加熱元件，不結(jié)垢，可降低運(yùn)行費(fèi)用和設(shè)備維修費(fèi)用。 優(yōu)化配置 針對不同用戶，實現(xiàn)優(yōu)化配置，可多機(jī)系統(tǒng)聯(lián)運(yùn)，還可與中央空調(diào)共用管道，成為新的冷熱空調(diào)系統(tǒng)。 高水平覆銅板輻射法生產(chǎn)線 基本 原理 本生產(chǎn)線采用的輻射源為大功率電子加速器。電子加速器是用人工方法使帶電粒子加速到較高能量的裝置，與γ輻射裝置形成了目前世界上輻射加工兩大主要技術(shù)裝備，除用于原子核和核工程研究外，更廣泛的被應(yīng)用于工業(yè)、農(nóng)業(yè)、醫(yī)療衛(wèi)生、無損檢驗、活化分析、半導(dǎo)體物理、固體物理等基礎(chǔ)研究和應(yīng)用研究方面。利用加速器所具有的輻射改性、輻射聚合、輻射降解及輻射消毒等特性，可生產(chǎn)功能性材料、記憶性材料、涂層固化材料三大類系不同規(guī)格的多種產(chǎn)品和用于食品及醫(yī)療器械的消毒滅菌。功能性材料主要通過輻射交聯(lián)反應(yīng)，獲得高分子材料耐高溫、耐腐蝕、 耐輻射、阻燃、高強(qiáng)度、抗老化的優(yōu)良特性，可以廣泛用于生產(chǎn)高性能的特種電線電纜產(chǎn)品、特種用途的交聯(lián)高分子材料，但引用在覆銅板的制造上除俄羅斯外世界上尚未其他國家擁有此技術(shù)。 生產(chǎn)線工藝特點(diǎn) 面對市場為我們提供的良好契機(jī)，我院在與俄羅斯的長期科技合作中，經(jīng)過中俄雙方專家學(xué)者的論證和預(yù)研，采用加速器輻射聚合法生產(chǎn)覆銅板，由于加速器輻射劑量的良好可控性，對高分子的線性交聯(lián)和體型交聯(lián)都實現(xiàn)了良好的可控性，并且實現(xiàn)了覆銅板基材結(jié)構(gòu)分子級排布，從而實現(xiàn)了覆銅板的高密度化、輕薄型化、高性能化，提高覆銅板單位面積上元器件裝載 量和布線密度，可在確保覆銅板強(qiáng)度要求下，將目前標(biāo)準(zhǔn) 為 ，多層板的四層板厚 ，八層板 ，用于硬盤和 PC 卡的多層板每層厚度 ，使我國覆銅工業(yè)總體水平達(dá)到美國、日本、俄羅斯的世界先進(jìn)水平。 項目水平、實施及經(jīng)濟(jì)效益 據(jù)我們了解，目前世界上除俄羅斯外尚無輻射法生產(chǎn)覆銅板的技術(shù)，該技術(shù)世界首創(chuàng)，優(yōu)于美、日、德等國的技術(shù)，而我國目前生產(chǎn)覆銅板的技術(shù)多為傳統(tǒng)的模壓式，不僅不能生產(chǎn)高質(zhì)量的印制板，而且由于技術(shù)落后，導(dǎo)致產(chǎn)品成本較高，若能引進(jìn)該技術(shù)，可使我 國覆銅板技術(shù)發(fā)生一個很大的變革，經(jīng)過近一年的接觸、談判，俄方已同意將該技術(shù)及設(shè)備轉(zhuǎn)讓我院。 該項技術(shù)、設(shè)備投資需人民幣 2020 萬元，按目前覆銅板行業(yè)的需求量及產(chǎn)品的高利潤，投資回收期不會超過 2年，而其所生產(chǎn)的產(chǎn)品以其高品質(zhì)，將不僅供給國內(nèi)用戶，而且可以為國際大電子公司提供優(yōu)質(zhì)覆銅板。 背景資料 中國覆銅板行業(yè)現(xiàn)狀及與國際先進(jìn)水平的差距 中國覆銅板行業(yè)現(xiàn)狀 覆銅板是電子工業(yè)重要的基礎(chǔ)材料，主要用于制造印制電路板（ PCB），廣泛用于家用電器、計算機(jī)、通信設(shè)備、儀器儀表等電子產(chǎn)品。 我國電子信息產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展， 帶動了電路板和覆銅板工業(yè)的快速增長。全國覆銅板企業(yè)已逾 80 家。覆銅板技術(shù)和國外設(shè)備的大量引進(jìn)，使中國產(chǎn)業(yè)進(jìn)入一個迅速發(fā)展的新階段，在全球印制電路基材產(chǎn)量的比重迅速提高。也正由此而導(dǎo)致近十年來在這一領(lǐng)域 不斷吸引投資，擴(kuò)大生產(chǎn)。競爭格局和實力發(fā)生了深刻變化。 從 2020 年行業(yè)運(yùn)行情況看，生產(chǎn)銷售形勢很好，產(chǎn)銷量較上年有很大增長。但我國在該行業(yè)整體工藝落后，產(chǎn)品檔次低，經(jīng)濟(jì)效益增幅較小。 與國際先進(jìn)水平的差距 產(chǎn)品技術(shù)性能和制造工藝方面的差距 產(chǎn)品品種結(jié)構(gòu)方面的差距 標(biāo)準(zhǔn)化和測試技術(shù)、手段方面的差距 原材料方 面的差距 科研開發(fā)方面的差距 中國覆銅板生產(chǎn)、銷售及進(jìn)出口情況統(tǒng)計分析 （ 1）根據(jù)中國電子材料行業(yè)協(xié)會統(tǒng)計， 2020年國內(nèi)覆銅板總產(chǎn)量為 8390 萬平方米，比上一年增長 38%。產(chǎn)品銷售量為生產(chǎn)量的 %。 根據(jù)調(diào)查我國目前撓性和金屬基覆銅板各約有近 10 家公司，總產(chǎn)量分別約 150萬平方米和 2萬平方米，估計撓性覆銅板產(chǎn)能利用率在 70%左右，金屬基覆銅板產(chǎn)能利用率約 50%以下?？傮w水平與美、日、俄國家相比，有較大差距。 （ 2） 2020年我國覆銅板行業(yè)銷售收入約在 6570 億元，其中包括撓性和金屬基覆銅板以及玻 璃布基板、紙基板等。 （ 3）根據(jù)海關(guān)統(tǒng)計，我國覆銅板進(jìn)口形勢比出口形勢好的多，一是進(jìn)口總量為出口總量的 2 倍多，二是進(jìn)口量大幅增長41%，進(jìn)口額同步增長 %，三是反映單價的進(jìn)口額 /進(jìn)口量2020年為 3527美圓 /噸，比 2020年只有小幅下降 %，其下降幅度不及出口下降幅度的三分之一。 2020 年的進(jìn)出口形勢不容樂觀，外貿(mào)逆差達(dá) 79億美圓，較上年同期增長 %。 （ 4）“十五”期間由于電子信息產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，必然帶動PCB 乃至 CCL 的發(fā)展。 20202020 年中國覆銅板產(chǎn)量，預(yù)計會以年均 15%的 速度遞增。 高純度電子特種氣體制備產(chǎn)業(yè)化項目說明 一、目的和意義 高純度特種氣體（硅烷 SiH磷烷 PH砷烷 AsH3）廣泛應(yīng)用于電子行業(yè)、太陽能電池、移動通訊、汽車導(dǎo)航、航空航天、軍事工業(yè)等方面。目前我國只能生產(chǎn)純度在 3N~4N 標(biāo)準(zhǔn)的特種氣體，而在許多重要領(lǐng)域，比如：國家戰(zhàn)備武器研究和神州五號運(yùn)載火箭上的控制系統(tǒng)的電子原器件的制造，以及衛(wèi)星上使用的太陽能電池的制造等方面所急需的 6N 標(biāo)準(zhǔn)的氣體全部依靠進(jìn)口。目前世界上只有美國、俄羅斯等發(fā)達(dá)國家才能生產(chǎn)。美國的 SOLKATRONIC 公司經(jīng)銷該種氣體，我 國進(jìn)口該種氣體常常因國際形勢緊張和變化而受到阻礙，因此直接制約了上述相關(guān)領(lǐng)域的發(fā)展。白俄羅斯無線電材料研究所在前蘇聯(lián)時期承擔(dān)了研制高純度特種氣體的任務(wù)，具備研制和生產(chǎn)這種氣體的能力。經(jīng)過磋商，白方愿同我方合作，提供技術(shù)共同開發(fā)該項產(chǎn)品。本項目主要利用該所研制的烷類氣體深度提純技術(shù)，在中國建立高純度特種氣體的研究基地及產(chǎn)業(yè)化基地，解決我國急需的高純氣體材料的國產(chǎn)化問題，使硅烷、磷烷、砷烷氣體的純度達(dá)到 6N（ %） 。該項目在國內(nèi)屬首創(chuàng)，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國際同行業(yè)先進(jìn)水平，填補(bǔ)我國高純度特氣生產(chǎn)空白，徹底 改變我國電子特氣長期受制于人的局面。 二、 國內(nèi)外現(xiàn)狀 中國的超純度特種氣體研制始于 1983 年，當(dāng)時從事這一工作的單位有北京氧氣廠、浙江大學(xué)、大連光明化學(xué)所和保定紅星單晶硅廠， .研究的內(nèi)容為超純氣體和烷類氣體。 ―七五 ‖期間，國家科委委托電子部、化工部牽頭，組織電子氣體攻關(guān)招標(biāo)會，中標(biāo)的單位南京特種氣體廠 (公司 )、中科院沈陽金屬研究所、大連光明所、核工業(yè)部理化研究院和南京大學(xué)。攻關(guān)項目主要有烷類氣體、化學(xué)氣體刻蝕氣體、高熔點(diǎn)氟化物金屬氣體、金屬有機(jī)化合物 (―MO‖源 )、氣瓶處理技術(shù)和配套器件的研制， 涉及氣體品種20 多種。 1991 年，國家又在 ―八五 ‖科技攻關(guān)項目 —集成電路用關(guān)鍵材料研究課題下，又專設(shè)了 ―電子特種氣體研究 ‖ 的子課題，開始了新一輪攻關(guān)。 我國對于超純度特種氣體的研究前后經(jīng)歷了 20 多年的努力，但收效不大，雖然開發(fā)出了一批特種氣體，但質(zhì)量一般，基本滿足 2~3181。m技術(shù) (即中小規(guī)模集成電路用的氣體 )，而超大 (VLSI)和特大 (ULSI) 規(guī)模集成電路的用氣仍然不能生產(chǎn)，尤其是純度超過 6N 的氣體還得全部依靠進(jìn)口來解決。 從國外情況看，由于美國在技術(shù)上封鎖、在產(chǎn)品銷售上限制，我國無法將該項技術(shù)引入國 內(nèi)，經(jīng)黑龍江省對俄工業(yè)技術(shù)合作中心一年多的查找，在白俄羅斯尋求到了此項技術(shù)，并得知于 12 年前在俄羅斯圣彼得堡市一家軍工廠得到實際應(yīng)用，建立了 10 噸 /年的生產(chǎn)裝置。我們經(jīng)多次國內(nèi)外的調(diào)研及國內(nèi)相關(guān)專家的論證，認(rèn)定白方此項技術(shù)是成熟的。經(jīng)商定雙方同意合作 ,引進(jìn)其關(guān)鍵的特氣提純技術(shù)和設(shè)備使之國產(chǎn)化。 國內(nèi)外水平對比表 品 種 國內(nèi)現(xiàn)有水平 國際先進(jìn)水平 項目實施計劃水平 硅 烷 ~ 磷 烷 ~ 砷 烷 ~ 三、技術(shù)關(guān)鍵及技術(shù)指標(biāo) 項目創(chuàng)新點(diǎn) 采用白方先進(jìn)的低溫精餾、吸附干燥、過濾除塵以及高純氣體灌裝技術(shù)及設(shè)備，生產(chǎn)出適合我國各行業(yè)需要的 6N 高純氣體。 技術(shù)關(guān)鍵 A、引進(jìn)白俄無線電材料研究所氣體提純關(guān)鍵技術(shù)和設(shè)備，經(jīng)小裝置（ 2 噸 /年）調(diào)試單元試車和連動試車完成后，經(jīng)檢測產(chǎn)品達(dá)到預(yù)期 6N 指標(biāo)后建立 30 噸 /年純化生產(chǎn)線。 B、建立分析方法、完善分析設(shè)備。 C、完善輔助設(shè)備，如：超純灌裝設(shè)備、鋼瓶處理系統(tǒng)。 白方提供的砷烷提純工藝流程圖如下： 技術(shù)指標(biāo) 產(chǎn)品的性能指標(biāo)與國外對比： 表 1 硅烷性能比較 名稱 含量 美國 標(biāo)準(zhǔn)氣體公司 白俄羅斯 備注 組分 （本項目達(dá)到的標(biāo)準(zhǔn)） 硅烷 Silane % % Nitrogen Oxygen * Total Hydrocarbons Carbon Dioxide Carbon Monoxide Water * Argon Chlorosilanes Helium 10ppm 10ppm Hydrogen 20ppm 20ppm Disilane Siloxanes Resistivity 10,000 ohm/cm 10,000 ohm/cm Particle 10 pcs/ 181。m 2 pcs/ 181。m * 表 2 磷烷性能比較 名稱 含量 美國 白俄羅斯 備注 組分 SOLKATRONIC 公司 （本項目達(dá)到的標(biāo)準(zhǔn)） 磷烷 Phosphine % min % min Argon Arsine Carbon Dioxide Carbon Monoxide Methane Ethane Propane THC(as Methane) Nitrogen Oxygen * Water * 表 3 砷烷性能比較 名稱 含量 美國 白俄羅斯 備注 組分 SOLKATRONIC 公司 （本項目達(dá)到的標(biāo)準(zhǔn)） 砷烷 Arsine % min % min Argon Arsine Carbon Dioxide Carbon Monoxide Methane Ethane Propane THC(as Methane) Phosphine Nitrogen Germane Silane Oxygen * Water * 注： *表示該項指標(biāo)優(yōu)于美國公司標(biāo)準(zhǔn) 四、項目實施方案 一期工程 經(jīng)商定在黑龍江省對俄工業(yè)技術(shù)合作中心的試驗基地建立 2 噸 /年超純氣體小型生產(chǎn)裝置。具體工作安排如下： A、安裝調(diào)試（ 2 噸 /年）小裝置； B、用國內(nèi)生產(chǎn)的粗產(chǎn)品作為原料投料試車； C、分析檢測產(chǎn)品純度； D、安裝灌裝系統(tǒng)； E、人員培訓(xùn)； 二期工程 經(jīng)過小裝置的 23 個月的試運(yùn)行，一切正常后進(jìn)行 30 噸 /年生產(chǎn)裝 置的籌建工作。目前場地（ 3 萬平方米）和廠房已經(jīng)落實。 時間及進(jìn)