材料化學(xué)外文資料翻譯-化學(xué)工程(已修改)
2025-02-04 05:56 本頁(yè)面
【正文】 畢業(yè) 論文 外文資料翻譯 題 目 合 成β Mo2C 薄膜 學(xué) 院 化學(xué)化工學(xué)院 專(zhuān) 業(yè) 材料化學(xué) 班 級(jí) 材化 0802 學(xué) 生 胡芳 學(xué) 號(hào) 20210202116 指導(dǎo)教師 薄其兵 二〇一 二 年 三 月 十七 日 Chem. Mater. 2021, 22, 4402–4413 合成 βMo2C 薄膜 Colin A. Wolden*?, Anna Pickerell?, Trupti Gawai?, Sterling Parks?, Jesse Hensley?, and J. Douglas Way? ? Department of Chemical Engineering, Colorado School of Mines, Golden, Colorado 80401, United States ? National Renewable Energy Laboratory, 1617 Cole Boulevard, Golden, Colorado 80401, United States ACS Appl. Mater. Interfaces, 2021, 3 (2), pp 517–521 DOI: Publication Date (Web): January 20, 2021 Copyright 169。 2021 American Chemical Society 摘 要 使用兩步合成工藝制備 化學(xué)計(jì)量比 的 βMo2C 薄膜 。 MoF6 在 氫氣，氧氣 的氛圍下 采用 等離子體增強(qiáng) 氣象化學(xué)法首先生成密集氧化鉬薄膜 。審查的沉積速率和質(zhì)量方面的工作參數(shù)的依賴(lài)。氧化膜厚度 是 100500 納米， 在 H2 和 CH4氣氛中，采用程序升溫反應(yīng) 后 生 成鉬硬質(zhì)合金。 用 X射線(xiàn)衍射 線(xiàn)測(cè)得 ， 在 20％的甲烷和氫氣的混條件下，當(dāng)加熱到 700176。C 的 氧化鉬將 完全轉(zhuǎn)變成 βMo2C 相 。滲碳后生成 基本硅襯底的薄膜。 用 X射線(xiàn)光電子能譜檢測(cè) 薄膜無(wú)雜質(zhì)， Mo此時(shí)是 一個(gè)單一的氧化狀態(tài)。 用 顯微鏡觀察發(fā)現(xiàn)， 沉積的氧化膜 是沒(méi)有什么特征的 ，而碳化物的薄膜 是 一個(gè)復(fù)雜的納米結(jié)構(gòu)。 關(guān)鍵詞 ： 薄膜 。硬質(zhì)合金 。氧化物 。等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積的催化劑 。 1 介紹 碳化鉬是一種 在各種領(lǐng)域有很多潛在應(yīng)用的多用途材料。碳化鉬具有類(lèi)似于鉑族金屬的催化性能 ，利用 這種催化性能 ， 并在過(guò)去幾十年中廣泛用于 氨合成，合成各種烴 ，水煤氣 紙杯 ，制氫，酒精合成。 [17]制作 薄膜 過(guò)程中，過(guò)渡金屬碳化物的高硬度和熱穩(wěn)定性 使他們 合成 的耐磨材料。 [89]最近的研究都集中 在 碳化鉬的光電特性范圍 內(nèi)的 應(yīng)用，包括鏡子， [10]滲透膜 ， [11]互 連， [12]和電子場(chǎng)發(fā) 射 [13]我們 目的 是 用價(jià)格低廉的材料替代鉑族金屬來(lái)表面 氫分離。這種材料 合成的 薄膜將有利于催化劑性能的基礎(chǔ)研究。 許多技術(shù)已被用于 沉積 碳化鉬薄膜，包括化學(xué)氣相沉積（ CVD）， [8 14]，物理氣相沉積（ PVD）， [9， 11]和電化學(xué)沉積 。 [15]MoC 是相當(dāng)復(fù)雜的， 它有 眾多的穩(wěn)定和亞穩(wěn)化合物和晶相。 [14 16]，相純度的控制一直是 個(gè)難題 ， CVD 和 PVD 兩種方法 的制備中，薄膜通常包含混合 富含碳的 產(chǎn)物 ， 它是 一個(gè)復(fù)雜的依賴(lài)具體操作條件 選測(cè)的過(guò)程 。 [8， 11， 14]與 此相反，它的催化應(yīng)用 制備 所需的 粉末狀 βMo2C 相 。 [14]， 后來(lái) Boudart 和他的同事 [1 2]開(kāi)發(fā)出一種方法， 加入 H2稀釋的碳?xì)浠衔锊⒉捎?程序升溫反應(yīng)或 TPR 的混合物 轉(zhuǎn)換成高表面積 Mo2C 密集的氧化鉬粉 。 MoO3轉(zhuǎn)變?yōu)?Mo2C 方法 涉及 MoO3的晶格中的氧碳替代，在反應(yīng)過(guò)程中有 Mo 原子的微小位移。因?yàn)?Mo2C
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