【正文】 照《記錄控制 規(guī)定 》進(jìn)行保管。每人的培訓(xùn)記錄都要保存 ， 包括培訓(xùn)日期 、 培訓(xùn)時(shí)間長短 、 培訓(xùn)內(nèi)容 、 培訓(xùn)者姓名 等， 記錄至少要保存 2 年以上 。 培訓(xùn)的一般 或其它 要求（如新進(jìn)人員的 ESD 培訓(xùn)）參考公司文件 SP04《 職員教育培訓(xùn)管理規(guī)定》的要求。 9 ESD符合性驗(yàn)證： ESD 防護(hù) 設(shè)施和用品的采購、安裝和啟用： 所選用和采購的 ESD 防護(hù) 設(shè)施和用品必須符合和滿足本文件的技術(shù)要求； 防靜電地面等 ESD 防護(hù) 工程在交付使用前須確認(rèn)其符合本文件的技術(shù)要求，并能夠正常使用； ESD防護(hù) 設(shè)施或 ESD防護(hù) 工程在翻新 /修補(bǔ)后須重新確認(rèn)其防靜電性能后再投入使用； 購買后，使用中的 防護(hù) 產(chǎn)品在其壽命期間應(yīng) 確保 符合本文件 及相關(guān) ESD 指引文件 的 ESD 防護(hù)管理 規(guī)定 文 件編號(hào) ： SP57 版 本 : B 頁 碼 : 6 OF 24 技術(shù)要求。 ESD 防護(hù) 設(shè)施檢測 ： 各 EPA 至少按照附表 2 中的內(nèi)容和周期檢測相應(yīng)的 ESD 防護(hù) 設(shè)施和用品 ， 保證其符合要求，并能正常使用 。 備注：檢測方法參考本規(guī)定第 12 條款。 用于 ESD 防護(hù) 設(shè)施驗(yàn)證的設(shè)備 /儀器 應(yīng)能夠驗(yàn)證 ESD 防護(hù) 設(shè)施滿足要求，并按照 文件SP10《 計(jì)測器校正規(guī)定 》進(jìn)行校正并保留相關(guān)記錄。 內(nèi)部審核 ： ESD 內(nèi)部審核作為質(zhì)量管理體系內(nèi)部審核的一部分，按照質(zhì)量管理體系內(nèi)部審核的相關(guān)要求執(zhí)行。 ESD 內(nèi)部審核 每年 至少 一次，對下列，但不 限于以下內(nèi)容進(jìn)行審核 ： A、 本文件 要求 得到了貫徹 落實(shí) ； B、 培訓(xùn)得到 了有效的實(shí)施 ； C、 暴露的導(dǎo)體有電壓超過 250V（交流）或 500V（直流）的 EPA 進(jìn)行了高壓標(biāo)識(shí)，員工得到了培訓(xùn)，并按照國家規(guī)定安全條件下進(jìn)行操作； D、 適用的地方都設(shè)立了 EPA 并進(jìn)行了標(biāo)識(shí)； E、 手腕帶、防靜電鞋、防靜電服等用品使用的制度得到了執(zhí)行； F、 ESD 防護(hù) 設(shè)施和用品的技術(shù)指標(biāo)符合文件要求； G、 ESD 檢測和記錄得到了貫徹； H、 EPA 中的靜電源得到了控制 ； I、 其他 要求的事項(xiàng) 。 內(nèi)審中發(fā)現(xiàn)的不符合 應(yīng) 按照 文件 SP12 《內(nèi)部審核 管理規(guī)定 》的要求進(jìn)行報(bào)告和整改，并且對糾正措施按照 SP17《糾正措施 規(guī)定 》的要求進(jìn)行文件化，如果不符合項(xiàng)涉及ESD 保護(hù)區(qū)域，則 在得到整改前，該區(qū)域不得使用。內(nèi)審中發(fā)現(xiàn)的不符合項(xiàng)根據(jù)情況，需 作為培訓(xùn)材料的一部分。 作為符合性驗(yàn)證的一部分， 各 ESD 防護(hù)擔(dān)當(dāng)應(yīng)每月 對所擔(dān)當(dāng)?shù)?EPA 的 ESD 防護(hù)進(jìn)行巡檢，保留記錄，并確保全年度的巡檢覆蓋到所有的項(xiàng)目；必要時(shí)， 由 ESD 協(xié)調(diào)員組織小組進(jìn)行不定期的全面的稽核。 ESD 防護(hù)材料和設(shè)備控制要求： 各部門的 ESD 防護(hù)擔(dān)當(dāng) 應(yīng)持有經(jīng)審批符合本規(guī) 定 技術(shù)要求的 ESD 防護(hù) 材料和設(shè)備清單 ；對未在此清單中的 ESD 防護(hù) 材料和設(shè)備，應(yīng) 在配置使用前先通過 ESD 協(xié)管員 的審批。 1 ESD 防護(hù) 之技術(shù) 要求： 接地系統(tǒng) ： 應(yīng) 建立 ESD 接地及接地連接系統(tǒng)，使得進(jìn)行 ESD 敏感器件操作環(huán)境中所有的導(dǎo)體， 包括 ESD 敏感器件、操作人員和所有其它導(dǎo)電體 (如移動(dòng)設(shè)備 )處于接地和等勢連接 ESD 防護(hù)管理 規(guī)定 文 件編號(hào) ： SP57 版 本 : B 頁 碼 : 7 OF 24 狀態(tài)，以防止敏感器件 ESD 損壞，如圖 1 所示。 在接地連接不能用或不適用時(shí)，至少保證敏感器件 /人體 及其它相關(guān)導(dǎo)體連接在一起。 圖 1 接地連接示意圖 接地系統(tǒng)優(yōu)先考慮選擇第三條導(dǎo)線 (綠色的 )交流設(shè)備接地作為接地連接點(diǎn)，允許使用ESD 輔助接地進(jìn)行接地，但輔助接地與交流設(shè)備接地之間，在保證安全的前提下，應(yīng)采取必要的跨接，以確保等電位連接。 設(shè)備連接到共同接地點(diǎn)的電阻應(yīng)小于 ，連接線中含有限流保護(hù)電阻的，則阻值扣除限流電阻阻值后小于 ，共同接地點(diǎn)與接地體之間的交流阻抗應(yīng)小于 ，工作臺(tái)面或貨架臺(tái)面到接地點(diǎn) 或等電位連接點(diǎn)的電阻應(yīng)保持在 106~109Ω， 應(yīng) 進(jìn)行周期性檢測。 ESD 工作站的接地方式可參考圖 2。 圖 2 工作站接地示意圖 人員接地 ： ESD 防護(hù)管理 規(guī)定 文 件編號(hào) ： SP57 版 本 : B 頁 碼 : 8 OF 24 在 ESD 保護(hù)區(qū)域，進(jìn)行敏感器件操作的人員必須處于人體接地狀態(tài)。人體接地通過手腕帶系統(tǒng)和地板 鞋系統(tǒng)兩種方式 中的 一種 或 以上來實(shí)現(xiàn)。 坐姿狀態(tài) ： 操作人員在采取坐姿進(jìn)行操作的時(shí)候，至少要采用腕帶系統(tǒng)進(jìn)行接地。人體佩戴腕帶系統(tǒng)的電阻為 106~10106Ω 為合格，此阻值每天進(jìn)行檢測，合格才 可進(jìn)入ESD 保護(hù)工作區(qū)域進(jìn)行操作。 站姿狀態(tài) ： 當(dāng)操作人員采取站姿進(jìn)行操作的時(shí)候，可選擇采用腕帶系統(tǒng)或地板 鞋裝系統(tǒng)中至少一種進(jìn)行人員接地。此時(shí)穿著鞋裝 地板系統(tǒng)的電阻為 106~100106Ω 為合格，每天進(jìn)行檢測，合格方可進(jìn)入 ESD 保護(hù)工作區(qū)域進(jìn)行操作。 ESD 保護(hù)區(qū)域（ EPA） ： 根據(jù)敏感器件是否會(huì)出現(xiàn)在車間 /倉庫 /IQC/實(shí)驗(yàn)室中建立 ESD 保護(hù)區(qū)域。沒有采取適當(dāng)?shù)?ESD 保護(hù)包裝的 ESDS 器件必須在 ESD 保護(hù)區(qū)域進(jìn)行處理。出 ESD 保護(hù)區(qū)的敏感器件須有 ESD 保護(hù)包裝。 ESD 保護(hù)區(qū)域可 是一個(gè)工作臺(tái) (固定或移動(dòng)式的 )，也可以是實(shí)驗(yàn)室 /房間 /大廈或任何其它具有預(yù)先指定邊界的，包含限制靜電位的材料和設(shè)備的區(qū)域。 EPA 須保持清潔與整潔，以確保其中的防靜電設(shè)施和用品的性能不受影響。 保護(hù)區(qū)標(biāo)識(shí) ： ESD 保護(hù)區(qū)域必須進(jìn)行適當(dāng)?shù)臉?biāo)識(shí)，這種標(biāo)識(shí)包括 ESD 保護(hù)區(qū)域的邊界標(biāo)識(shí)（見圖3）和入口警示標(biāo)識(shí)（見圖 4）。 注意 入口警示 標(biāo)識(shí)的最小尺寸不小于 300mm 150mm。 如果 ESD 保護(hù)區(qū)中有交流超過 250V 或直流超過 500V 的高壓裸露導(dǎo)體，則警示標(biāo)識(shí)中須有高壓警告內(nèi)容（如圖 5） 圖 3： EPA 邊界標(biāo)志圖 4： EPA 警示標(biāo)志 圖 5 含有高壓的 EPA 標(biāo)志 保護(hù)區(qū)內(nèi)的靜電源和材料控制 ： ESD 防護(hù)管理 規(guī)定 文 件編號(hào) ： SP57 版 本 : B 頁 碼 : 9 OF 24 A、 EPA 是一個(gè)控制區(qū)域，非必須的絕緣體必須清理出去。保證 ESD 敏感器件操作區(qū)中，超過 2021V 的絕緣體應(yīng)該與靜電敏感物保持至少十二英寸（ 30cm）的距離。 B、 對區(qū)域內(nèi)出現(xiàn)的必須的絕緣材料，包括紙張要進(jìn)行控制。建立絕緣材料清單，并根據(jù)對絕緣材料靜電評估采取材料替換、離子化設(shè)備消除靜電等方法處理具有靜電危害或隱患的材料。 C、 EPA 內(nèi)使 用的防靜電材料和用品也應(yīng)進(jìn)行登記控制，所有防靜電用品按照檢測項(xiàng)目進(jìn)行檢測；不能從外觀識(shí)別防靜電功能的防靜電用品或材料要進(jìn)行標(biāo)識(shí)。標(biāo)識(shí)圖案參考圖 8。 進(jìn)入保護(hù)區(qū) ： 進(jìn)入保護(hù)區(qū)的人員必須采取必要的防靜電措施 ： A、 所有有可能進(jìn)入到區(qū)域內(nèi)的人員必須穿著防靜電服； B、 有可能接觸器件的人員必須著防靜電鞋； C、 進(jìn)行操作的人員須佩戴手腕帶； D、 防靜電手套和手指套根據(jù)工藝需要配備； E、 進(jìn)入保護(hù)區(qū)的人員必須經(jīng)過相應(yīng)的培訓(xùn)，參觀人員和未經(jīng)過培訓(xùn)的人員必須由受訓(xùn)過人員陪同。 溫 濕度控制 ： EPA 區(qū)域內(nèi)的濕度控制在 30%~70%RH，溫度控制在 20℃ ~28℃ ，并進(jìn)行監(jiān)測，相關(guān)責(zé)任人要在每天的同一時(shí)段至少測量并記錄一次。 保護(hù)區(qū)技術(shù)要求 ： A、 工作臺(tái) ： 用于敏感器件操作的工作臺(tái)須是防靜電工作臺(tái)。防靜電工作臺(tái)可以是專門制作可以提供 ESD 保護(hù)的工作臺(tái)，也可由普通工作臺(tái)上面鋪設(shè)防靜電臺(tái)墊連接接地后構(gòu)成。典型工作臺(tái)的接地連接可參考圖 2。 工作臺(tái)導(dǎo)電性能和接地狀況的好壞是 ESD 控制的關(guān)鍵，因此相關(guān)崗位的人員每天在工作前目視檢查工作臺(tái)的接地連接，確保連接良好。每個(gè)月度檢測一次工作臺(tái)的接地電阻（工 作臺(tái)到共同接地點(diǎn)的電阻）和工作臺(tái)（或臺(tái)墊）表面電阻。工作臺(tái)接地電阻小于 1х109Ω 為合格；臺(tái)墊的表面電阻小于 1х109Ω 為合格。具體的測量方法參見 第 12 章 ESD 防護(hù)控制相關(guān)檢測程序 。 B、 腕帶 ： 防護(hù)區(qū)內(nèi)所使用防靜電腕帶須包含阻值范圍為 ~ 的限流電阻，技術(shù)和質(zhì)量指標(biāo)達(dá)到附表 2 的要求，并在來料時(shí)進(jìn)行抽檢。 EPA 使用手腕帶的人員，在進(jìn)入 EPA 區(qū)域接觸敏感器件前，須佩帶經(jīng)腕帶系統(tǒng)電阻檢測為合格的腕帶。腕帶系統(tǒng)電阻的要求參見 。 C、 鞋 ： 防護(hù)區(qū)內(nèi)所使用的防靜電鞋，導(dǎo)電性能在來料時(shí)要進(jìn)行抽 檢，小于 1х109Ω 為合格。 ESD 防護(hù)管理 規(guī)定 文 件編號(hào) ： SP57 版 本 : B 頁 碼 : 10 OF 24 任何人進(jìn)入保護(hù)區(qū)都必須穿經(jīng)鞋接地系統(tǒng)電阻檢測為合格的防靜電鞋。鞋接地系統(tǒng)電阻的要求參見 。 D、 地板 ： EPA 區(qū)域內(nèi)的地面須具有防靜電功能。防靜電地面可以是具有靜電泄放性能的地板、自流坪，也可以是具有同樣功能的地墊、地毯等其它材料。地板的接地點(diǎn)連接狀況每周目視檢查一次，確保接地連接牢固；地板的對地電阻每月檢測一次，小于 1х109Ω 為合格；地板的表面電阻每月檢測一次，小于 1х109Ω 為合格。使用地墊或臺(tái)墊作為防靜電地面的 EPA，其檢測項(xiàng)目和周期與臺(tái)墊相同。 E、 座椅 ： EPA 區(qū)域內(nèi)操作人員的座椅須 有靜電泄放功能，表面電阻 1х105Ω~1х109Ω 為合格，對地電阻小于 1х109Ω 為合格。技術(shù)指標(biāo)來料時(shí)要 抽檢，使用后每季度測量一次。 F、 離子除靜電器 ： EPA 區(qū)域內(nèi)可使用離子除靜電器消除絕緣材料或其它材料上的靜電。所使用的離子除靜電器的偏執(zhí)電壓須小于 177。35V， 1000V100V 的 消散時(shí)間小于 10 秒，來料 時(shí)應(yīng)進(jìn)行 檢驗(yàn)， 使用后每 季度 檢測一次。 G、 貨架 ： 保護(hù)區(qū)內(nèi)放置敏感器件的貨架