潔凈室室系統(tǒng)介紹20xx-文庫吧
2025-07-31 22:29 本頁面
【正文】 費用較高，彈性運用空間困難，天花板的吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。 潔凈室的分類 12 ②亂流潔凈室：空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之過濾器（ HEPA）進入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔離墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此形式適用于潔凈室等級 1000100000級。 優(yōu)點：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈室擴充比較容易，在某些特殊場合可并用無塵工作臺，提高潔凈等級 缺點：亂流造成的微粒子在室內(nèi)空間漂浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外，若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活，需要較長一段時間才能達到需求潔凈度 潔凈室的分類 13 自凈時間：是指潔凈室按設(shè)計換氣次數(shù)開始送風(fēng)到潔凈室室內(nèi)含塵濃度達到所涉及的凈化級別的時間。 換氣次數(shù) =房間送風(fēng)量 /房間體積，單位是次 /小時。換氣次數(shù)的 大小不僅與空調(diào)房間的性質(zhì)有關(guān)，也與房間的體積、高度、位置、送風(fēng)方式以及室內(nèi)空氣變差的程度等許多因素有關(guān)，是一個經(jīng)驗系數(shù)。 潔凈室級別 希望自凈時間 /min 計算自凈時間 /min 1000 ≤20 15 10000 ≤30 25 100000 ≤40 30 潔凈室的分類 14 ③復(fù)合式潔凈室（ Mixed Type ），又稱混合流潔凈室，為將亂流式和層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈的空氣。 （ Clean Tunnel）：以 HEPA或者 ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域 100%覆蓋，使?jié)崈舳鹊燃壖壧岣叩?10級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用 此形式需將作業(yè)人員的工作區(qū)域與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作和品質(zhì)， ULSI制程常用此種形式。 潔凈 隧道另有兩項優(yōu)點： 進行。 （ Clean Tuube）：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提高至 100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)人員及發(fā)塵環(huán)境隔離，少量送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)約能源，不需要人工的自動化生產(chǎn)線最適宜使用。藥品、食品工業(yè)及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。 潔凈室的分類 15 （ Clean Spot）：將潔凈室等級 10000~100000之亂流潔凈室內(nèi)的制程區(qū)的潔凈度等級提高為 10~1000級以上以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。 潔凈工作臺：等級 Class 1~100級 潔凈工作棚：為在亂流式潔凈室內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍城以小空間，采用獨立的 HEPA或 ULPA及空調(diào)送風(fēng)機組而成為一較高等級的潔凈空間其等級為10~1000級，高度在 ，覆蓋面積在 10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。 16 ④矢流 潔凈室：由扇形高效過濾器圓心沿各方向半徑送出的具有相同速度的矢量流，應(yīng)用這種氣流的潔凈室稱為矢流潔凈室。此類潔凈室理論研究不多，并且應(yīng)用實例較少，大多在歐美。 矢流潔凈室的凈化原理不同于亂流的稀釋作用，也不同于單向流的活塞作用。它是靠流線（跡線） 不交叉的氣流斜推作用，將室內(nèi)空氣排出室外，已達到凈化的目的。國內(nèi)外研究表明，它可以達到 ISO5級，在某些場合可替代單向流潔凈室。 潔凈室的分類 17 潔凈室的分類 不同潔凈級別潔凈廠房的送風(fēng)量、冷量投資耗電的指標(biāo) 18 潔凈室的構(gòu)成是由下列各項系統(tǒng)所組成，在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的，否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室。 ：包括吊桿（ Celing rod）、綱梁（ IBeam或 UBeam）、天花格子梁（ Ceiling grid或 Ceiling frame）。 ：包括空氣倉、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等。 （ Partitional wall）：包括窗戶、門。 ：包括高架地板或防靜電舒美地板（華夫板） ：包括日光燈、黃色燈管等。 潔凈室的構(gòu)造 19 潔凈室的構(gòu)造 20 潔凈室之建筑主體構(gòu)造，一般是用鋼筋混凝土或骨水泥，但無
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