【正文】 5 700波長（ nm ）透過率（％）O 2/ A r =0 O 2/ A r =0 . 35 O 2/ A r =0 . 5 O 2/ A r =0 . 6 O 2/ A r =0 . 75O 2/ A r =0 . 9 O 2/ A r =1 . 0 O 2/ A r =1 . 5 F A B 2 O 2/ A r =0 . 64World Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 16 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公司 UniDisplay I T O 抵抗 値 　 v . s . O 2 / Ar101112131415161718192021222324250 0 . 2 0 . 4 0 . 6 0 . 8 1 1 . 2 1 . 4 1 . 6O 2/ A r抵抗値（Ω/□）World Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 17 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公司 UniDisplay ITO 製程調(diào)校 2. 製程調(diào)整 : 一般以舊有之機(jī)臺之參數(shù)當(dāng)參考 若第一次調(diào)機(jī)則先調(diào)整基板溫度至所需要的製程溫度 。然後再調(diào)整腔體壓力至所需要的壓力範(fàn)圍 (通常為 ~ E3)左右 。最後再調(diào)整 O2/Ar的比例，讓透過率及 sheet 抵抗值得到最佳的數(shù)據(jù) 。 3. 條件確認(rèn)後，產(chǎn)品需作特性值 (膜厚、阻抗值、透過率 )，剝落測試，膜附著力等確認(rèn)。 項(xiàng)目 規(guī)格 項(xiàng)目 規(guī)格 項(xiàng)目 規(guī)格 進(jìn)入 /離開 腔室chamber ≦ 2E02 hPa 轉(zhuǎn)換 腔室 chamber ≦ 5E06 hPa 處理 chamber ≦ 3E06 hPa World Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 18 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公司 UniDisplay I T O 濺鍍的規(guī)格資料項(xiàng)目平均層膜厚膜厚的分布平均 s h e e t 抵抗s h e e t 阻抗分布基板溫度再現(xiàn)性黏著力針孔規(guī)格靶材材質(zhì)基板尺寸規(guī)格370*470無剝離 3 M N o 61 0 1/ 2密度 ≧ 9 8%≧ 5 0 μ m F R E E≦ 177。 5 %150 Ω / s q r .200197。≦ 177。 5 %≦ 177。 5 %檢查World Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 19 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公司 UniDisplay ? ITO = Indium Tin Oxide ? 90 wt. % In2O310 wt.% SnO2 World Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 20 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公司 UniDisplay ITO 靶材製造流程 原料 (In2O3 粉末 + SnO2 粉末 ) 最終製品檢查 粘著 加工 燒結(jié) 混合造粒 成形 秤量 脫脂 真空包裝 出貨 World Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 21 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公司 UniDisplay ITO 靶材製程種類 ? MMF 製程法 (Mitsui Membrane Filtration Method) ? CP 製程法 (Cold Press Method) ? HP 製程法 (Hot Press Method) World Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 22 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公司 UniDisplay HP (Hot Press) 製程法 ITO 粉末 (乾式 ) 加熱 加熱 垂直加壓 碳質(zhì)成型框 World Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 23 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公司 UniDisplay CP (Cool Press) 製程法 ITO 粉末 (乾式 ) 垂直加壓 不鏽鋼 成型框 World Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 24 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公司 UniDisplay MMF (Mitsui Membrane Filter) 製程法 ITO粉末 + DIW (Slurry狀 ) 真空吸引脫水 垂直加壓 過濾膜 Stainless成型框 World Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 25 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公司 UniDisplay ITO 靶材製程種類與密度特性 製程法 密度 (g/cm179。) 相對密度 (%) MMF ? ? CP ? ? CP ? ? CP ? ? 70 HP ? ? 90 World Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 26 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公司 UniDisplay ITO 靶材技術(shù)發(fā)展方向 ? 減少 nodule發(fā)生 (nodule less) ? 降低成本 (cost down) ? 防止靶材破裂 (crack) ? 減少原始污染物 (initial particle) World Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 27 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公司 UniDisplay 品 質(zhì) 異 常 處 理 ? 特性值 (膜厚、阻抗值、透過率 )數(shù)值稍差調(diào)整 ? 特性值 (膜厚、阻抗值、透過率 )數(shù)值異常之可能發(fā)生因素 ? 膜面刮傷異常之可能原因及處置 ? 靶材更換後，真空異常之可能原因 World Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 28 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公司 UniDisplay 特性值 (膜厚、阻抗值、透過率 )數(shù)值稍差調(diào)整 ? 一般膜厚偏高或低則調(diào)低或高每一層之 濺鍍功率即可 ? 一般阻抗偏高則調(diào)高每一層之濺鍍功率，即可降低阻抗值 World Class Quality CONFIDENTIAL Unimicron 29 NATIONAL QUALITY AWARD 明興光電股份有限公司 UniDisplay 特性值 (阻抗或透過率 )數(shù)值異常之可能發(fā)生因素 ? 濺鍍處理壓力異常 : ?MFC之氣體流量異常 = 檢查每一氣體流量是否異常 ?進(jìn)料穿越 漏氣 = 檢查處理壓力異常處 ?底下 漏氣 = 檢查處理壓力異常處 ?濺鍍 內(nèi)部 Carrier 感測器之石英玻璃是否破裂 ?靶材 是否擊穿漏水 ?濺鍍 Chamber間是否有 Gap造成漏氣 ? 濺鍍功率異常 : ?電源供應(yīng) 損壞