【正文】 高新技術(shù)企業(yè)。公司現(xiàn)占地 43 畝，建筑面積 5000 平方米，擁有世界最大的光電子器件生產(chǎn)型 MOCVD 設(shè)備 6 臺(tái)（套），配套 300 多臺(tái)（套）管芯生產(chǎn)設(shè)備和測試設(shè)備，是國內(nèi)最大的發(fā)光二極管和激光二極管生產(chǎn)企業(yè)。在科研方面通過和山東大學(xué)的合作，成為國內(nèi)產(chǎn)學(xué)研合作的典范。公司順利通過了ISO9000 和 ISO14001 等認(rèn)證，建立了山東省光 電子工程技術(shù)研究中心、省級(jí)企業(yè)技術(shù)中心等研發(fā)平臺(tái)，為技術(shù)提升奠定了基礎(chǔ)。公司現(xiàn)承擔(dān)國家 863 項(xiàng)目 3 項(xiàng)、工信部項(xiàng)目 2 項(xiàng)、省級(jí)重點(diǎn)課題 12 項(xiàng)，完成申報(bào)專利 48 項(xiàng)，產(chǎn)品鑒定成果 9 項(xiàng)， 產(chǎn)品擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。項(xiàng)目實(shí)施將依靠原有的研究基礎(chǔ)建立“山東省大功率半 導(dǎo)體激光器工程 實(shí)驗(yàn)室” ，通 過項(xiàng)目實(shí)施將建成國內(nèi)領(lǐng)先、國際先進(jìn)的大功率半導(dǎo)體激光器工程實(shí)驗(yàn)室，實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵技術(shù)國產(chǎn)化，帶動(dòng)我國半導(dǎo)體激光器產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。 項(xiàng)目建設(shè)的必要性 半導(dǎo)體激光器是成熟較早、進(jìn)展較快的一類激光器，由于它的波長范圍寬，制作簡單 、成本低、易于大量生 產(chǎn)，并且由于體積小、重量輕、壽命 長，因此，品種發(fā) 展快， 應(yīng)用范 圍廣，目前已超 過 300 種。因此在各個(gè)領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。1）軍事方面的應(yīng)用：Ⅰ）激光引信；Ⅱ）激光制導(dǎo)；Ⅲ）激光測距；Ⅳ）激光雷達(dá)，高功率半導(dǎo)體激光器已用于激光雷達(dá)系統(tǒng)；Ⅴ）激光模擬；Ⅵ）深海光通等。山東省大功率半導(dǎo)體激光器工程實(shí)驗(yàn)室 資金申請報(bào)告北京國 際工程咨詢公司 　 電話:05318295237522）在產(chǎn)業(yè)和技術(shù)方面的應(yīng)用：Ⅰ）光纖通信；Ⅱ）光盤存??；Ⅲ）光譜分析；Ⅳ）光信息處理；Ⅴ）激光微細(xì)加工；Ⅵ）激光報(bào)警器；Ⅶ）激光機(jī)打印機(jī)；Ⅷ）激光條碼掃描器；Ⅸ）抽運(yùn)固體激光器；Ⅹ）高清晰度激光電視等。3）在醫(yī)療和生命科學(xué)研究方面的應(yīng)用：Ⅰ）激光手術(shù)治療；Ⅱ）激光動(dòng)力學(xué)治療；Ⅲ）生命科學(xué)研究等。4）民用方面的應(yīng)用：Ⅰ）激光指示；Ⅱ）激光玩具等。盡管半導(dǎo)體激光器已經(jīng)比較成熟，得到了廣泛的應(yīng)用，但大功率半導(dǎo)體激光器性能還有待進(jìn)一步提高，如激光性能受溫度影響大，光束的發(fā)散角較大，激光器的壽命與可靠性須進(jìn)一步提高。國內(nèi)半導(dǎo)體激光器技術(shù)與日本、美國等先進(jìn)國家相比有較大差距，特別是近幾年發(fā)展起來的藍(lán)光激光器更是如此。因此組建一個(gè)有實(shí)力、高水平的工程實(shí)驗(yàn)室非常必要。半導(dǎo)體激光器作為該領(lǐng)域中的核心部件，國防經(jīng)濟(jì)建設(shè)需求明顯增長，但是美國把大功率半導(dǎo)體激光器列為對華出口限制，嚴(yán)重影響我國該技術(shù)的發(fā)展，迫切需要解決半導(dǎo)體激光器用 LD 芯片的國 產(chǎn)化，為我國的半導(dǎo)體激光產(chǎn)業(yè)提供強(qiáng)有力的支持。為充分發(fā)揮我省半導(dǎo)體激光器產(chǎn)業(yè)的技術(shù)和產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢，山東省政府和各級(jí)部門對公司及我省的光電子產(chǎn)業(yè)非常重視，副省長王軍民曾親自召開山東省光電子產(chǎn)業(yè)戰(zhàn)略研討會(huì)，各屆省委書記、省長和其他領(lǐng)導(dǎo)經(jīng)常到公司視察指導(dǎo)工作，因而建立此工程實(shí)驗(yàn)室，既是企業(yè)自身發(fā)展的需要、也是我省半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的要求，且具備現(xiàn)實(shí)可行性。山東華光建立山東省大功率半導(dǎo)體激光器工程實(shí)驗(yàn)室，可迅速提高技術(shù)水平和產(chǎn)品檔次，促進(jìn)壯大產(chǎn)業(yè)規(guī)模，對于加快推進(jìn)山東省半導(dǎo)體激光器產(chǎn)業(yè)的優(yōu)勢地位、促進(jìn)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整、形成國內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體激光器產(chǎn)業(yè)基地具有重要意義。山東省大功率半導(dǎo)體激光器工程實(shí)驗(yàn)室組建后，將集產(chǎn)、學(xué)、研各方面的優(yōu)勢，搭建一個(gè)廣闊的平臺(tái)，為我省光電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供強(qiáng)大的智力支持和技術(shù)支持。同時(shí)，還可以整合省內(nèi)外相關(guān)資源，服務(wù)于我省光電子產(chǎn)業(yè)山東省大功率半導(dǎo)體激光器工程實(shí)驗(yàn)室 資金申請報(bào)告北京國 際工程咨詢公司 　 電話:0531829523753及與其相關(guān)的近 100 家企業(yè)。促進(jìn)光電子產(chǎn)業(yè)鏈的技術(shù)升級(jí)，加快產(chǎn)業(yè)鏈的延長、壯大，為在我省建立國家級(jí)的光谷夯實(shí)基礎(chǔ)。 主要功能與任務(wù)山東省大功率半導(dǎo)體激光器工程實(shí)驗(yàn)室的主要目標(biāo)是開發(fā)大功率、高可靠性激光器產(chǎn)品，對芯片制備、封裝的核心技術(shù)攻關(guān)和關(guān)鍵工藝進(jìn)行試驗(yàn)研究；關(guān)鍵裝備及其關(guān)鍵材料的研制；半導(dǎo)體激光器產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵技術(shù)開發(fā)；產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)優(yōu)化升級(jí)的戰(zhàn)略性、前瞻性技術(shù)研發(fā)；以及研究半導(dǎo)體激光器產(chǎn)業(yè)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)、培養(yǎng)工程技術(shù)創(chuàng)新人才、促進(jìn)國家半導(dǎo)體激光器研制重大專項(xiàng)成果的應(yīng)用，提高 產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新能力和核心競爭力，突破產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整和重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展中的關(guān)鍵技術(shù)裝備制約，強(qiáng)化對國家、省重大戰(zhàn)略任務(wù)、重點(diǎn)工程的技術(shù)支撐和保障, 為行業(yè)提供技術(shù)服務(wù)。本實(shí)驗(yàn)室主要任務(wù)：高功率半導(dǎo)體激光器外延結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、芯片結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、腔面膜結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、功率衰減原理研究。 利用MOCVD設(shè)備進(jìn)行高功率半導(dǎo)體激光器外延材料生長技術(shù)理論研究。 高功率半導(dǎo)體激光器芯片制作技術(shù)理論研究。 高功率半導(dǎo)體激光器封裝技術(shù)理論研究。 高功率半導(dǎo)體激光器列陣、模組設(shè)計(jì)及可靠性研究。 同時(shí)將建立完善的 LD 外延材料生長、芯片制備、器件封裝、可靠性驗(yàn)證的標(biāo)準(zhǔn)化綜合研究平臺(tái)；依托山東大學(xué)的技術(shù)和人才優(yōu)勢，為我省的半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)培養(yǎng)一批高技術(shù)人才；通過共享機(jī)制帶動(dòng)山東省半導(dǎo)體激光器產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展，加快產(chǎn)學(xué)研用的整合力度，快速發(fā)展我省的激光產(chǎn)業(yè)。 運(yùn)行和管理機(jī)制山東省大功率半導(dǎo)體激光器工程實(shí)驗(yàn)室依托山東華光光電子有限公司進(jìn)行建設(shè)管理的實(shí)體性研究機(jī)構(gòu)。山東省大功率半導(dǎo)體激光器工程實(shí)驗(yàn)室將實(shí)行分級(jí)管理體制，由山東省發(fā)展和改革委員會(huì)宏觀管理與指導(dǎo)、濟(jì)南市發(fā)山東省大功率半導(dǎo)體激光器工程實(shí)驗(yàn)室 資金申請報(bào)告北京國 際工程咨詢公司 　 電話:0531829523754展和改革委員會(huì)行政主管，日常運(yùn)行和管理實(shí)行理事會(huì)領(lǐng)導(dǎo)下的實(shí)驗(yàn)室主任負(fù)責(zé)制和專家委員會(huì)咨詢評(píng)審制。實(shí)驗(yàn)室的職能部門由外延研發(fā)部、芯片研發(fā)部、封裝研發(fā)部、 應(yīng)用研發(fā)部、 測試研發(fā)部、 辦公室及財(cái)務(wù)室等 7 個(gè)部門組成。并采用創(chuàng)新的項(xiàng)目管理、靈活的用人機(jī)制、嚴(yán)謹(jǐn)?shù)呢?cái)務(wù)管理和細(xì)致的知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)工作。 項(xiàng)目建設(shè)內(nèi)容和規(guī)模 本項(xiàng)目依托山東華光光電子有限公司現(xiàn)有的超凈廠房和批量化生產(chǎn)線，擴(kuò)大實(shí)驗(yàn)室 1000 平方米，對現(xiàn)有廠房進(jìn)行改造，達(dá)到 1 萬級(jí)凈化廠房的標(biāo)準(zhǔn)；在公司現(xiàn)有研發(fā)設(shè)備（設(shè)備原值 2131 萬元）的基礎(chǔ)上，實(shí)驗(yàn)室將加大投入，購置新型解理機(jī)、自動(dòng)光刻機(jī)以及配套 HEMT 等研發(fā)設(shè)備，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品多元化、高端化。項(xiàng)目建設(shè)地點(diǎn)為山東省濟(jì)南市山東華光光電子有限公司原廠區(qū)內(nèi)；建設(shè)期自 2022 年 7 月至 2022 年 12 月，共計(jì) 18 個(gè)月。 項(xiàng)目總投資、投資構(gòu)成及資金籌措方案本項(xiàng)目總投資為 1000 萬元，其中設(shè)備購置費(fèi)用 650 萬元，關(guān)鍵原材料材料等其他費(fèi)用 200 萬元，預(yù)備費(fèi)用 150 萬元。 資金籌措方案為山東華光公司投入 900 萬元，申請補(bǔ)助資金 100 萬元。 經(jīng)濟(jì)效益與社會(huì)效益本項(xiàng)目如能成功實(shí)施，實(shí)驗(yàn)室年資金來源收入為 2256 萬元，運(yùn)營總成本費(fèi)用為 1348 元，年盈余資金 908 萬元。盈余資金可用來進(jìn)一步擴(kuò)大實(shí)驗(yàn)室的工程研發(fā)規(guī)模和擴(kuò)大工程研發(fā)產(chǎn)品品種，提高裝備水平。公司擴(kuò)產(chǎn)將會(huì)實(shí)現(xiàn)增加 100 人以上的就業(yè)崗位，解決部分勞動(dòng)力就業(yè)問題。目前公司半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品的銷售在 5000 萬元以上，按照半導(dǎo)體器件產(chǎn)業(yè)上游產(chǎn)品產(chǎn)值 1元可以拉動(dòng)應(yīng)用產(chǎn)品產(chǎn)值 100 元計(jì)算，公司半導(dǎo)體激光器可拉動(dòng) 50 億元的產(chǎn)業(yè)， 從而取得 較好的經(jīng)濟(jì)效益。本項(xiàng)目的成功實(shí)施，將強(qiáng)化山東省激光器產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新能力，提高企業(yè)自主開發(fā)和利用社會(huì)資源能力，推動(dòng)企業(yè)成為技術(shù)開發(fā)與創(chuàng)新的主體，增強(qiáng)企山東省大功率半導(dǎo)體激光器工程實(shí)驗(yàn)室 資金申請報(bào)告北京國 際工程咨詢公司 　 電話:0531829523755業(yè)的核心競爭力和發(fā)展后勁，形成有利于激光器產(chǎn)業(yè)發(fā)展的環(huán)境和氛圍，帶動(dòng)我省激光器產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。目前國內(nèi) LD 市場大部分被國外產(chǎn)品占據(jù)，國內(nèi) LD 廠家只有華光等少數(shù)廠家，其中山 東華光半導(dǎo)體激光器占主導(dǎo)地位，年產(chǎn) LD 外延片近萬片，LD 管芯 2 億粒，器件 50 萬只，產(chǎn)品銷往國內(nèi)外，LD 產(chǎn) 品市場占有率居國內(nèi)第一位。山東華光光 電子有限公司半導(dǎo)體激光器的產(chǎn)業(yè)化將會(huì)大大降低半導(dǎo)體激光器的價(jià)格，帶動(dòng)激光器應(yīng)用市場的發(fā)展和更加廣泛的應(yīng)用。同時(shí)已經(jīng)逐步替代進(jìn)口產(chǎn)品，大大提高我國半導(dǎo)體激光器的地位，實(shí)現(xiàn)基礎(chǔ)半導(dǎo)體激光器的國產(chǎn)化。目前，被廣泛研究和應(yīng)用的半導(dǎo)體激光器主要有 635nm、650nm、780nm、808nm、980nm 和 的半導(dǎo)體激光器。由于半導(dǎo)體激光二極管具有體積小、效率高、功耗低、固體化、易于調(diào)制等優(yōu)點(diǎn)，廣泛用于通信、光儲(chǔ)存、 DVD、VCD、目標(biāo)指示、醫(yī)療、軍事等領(lǐng)域。不同波長、不同功率的 LD 的研究和 應(yīng)用大幅度提高了社會(huì)生產(chǎn)力，促進(jìn)了人類進(jìn)步。山東省大功率半導(dǎo)體激光器工程實(shí)驗(yàn)室 資金申請報(bào)告北京國 際工程咨詢公司 　 電話:0531829523756第二章 項(xiàng)目建設(shè)的依據(jù)、背景和意義 建設(shè)依據(jù)（1）《國家中長期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要》（20222020 年）明確將“ 新一代激光顯示技術(shù)”列為 重點(diǎn)領(lǐng)域和優(yōu)先主題 ，將把半導(dǎo)體激光器作為“863”計(jì)劃的一個(gè)重大科技專項(xiàng)，通過對相關(guān)核心技術(shù)的突破，拉動(dòng)國內(nèi) LD 產(chǎn)業(yè)和照明工業(yè)的跨越式發(fā)展。（2）國家信息產(chǎn)業(yè)科技發(fā)展“十一五” 規(guī)劃和 2020 年中長期規(guī)劃綱要在第十條光電子技術(shù)中明確重點(diǎn)發(fā)展激光器和激光技術(shù)的研究。國家《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄(2022 年本)》列出了國家鼓勵(lì)發(fā)展的二十六大類，其中包括半導(dǎo)體激光器系列。（3）《山東省半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃（20222022）》指出“ 加強(qiáng)產(chǎn)學(xué)研聯(lián)合，建立企業(yè)研發(fā)中心，提高產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新能力。充分利用我省高校以及全國高校和科研院所的技術(shù)人才優(yōu)勢，積極吸引省外、國外大企業(yè)、高等院校和科研機(jī)構(gòu)在我省半導(dǎo)體照明企業(yè)設(shè)立實(shí)驗(yàn)室、研究機(jī)構(gòu)和技術(shù)轉(zhuǎn)化基地，推動(dòng)產(chǎn)學(xué)研緊密結(jié)合，提高研發(fā)能力。對晶體材料、碳化硅襯底材料等比較成熟的技術(shù)，加大政府投入， 創(chuàng)新體制機(jī)制，吸引社會(huì)資金，盡快使其產(chǎn)業(yè)化，發(fā)揮出應(yīng)有效益” 。（4）《山東省人民政府辦公廳轉(zhuǎn)發(fā)省發(fā)展改革委信息產(chǎn)業(yè)廳關(guān)于加快半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)發(fā)展的意見的通知》（魯政辦發(fā)〔2022〕3 號(hào)）指出“加強(qiáng)創(chuàng)新體系建設(shè)，鼓勵(lì)企 業(yè)建立健全技術(shù)研發(fā)中心，提升研發(fā)能力和核心技術(shù)；加強(qiáng)產(chǎn)、學(xué)、研結(jié)合，聯(lián)合國內(nèi)外知名院校和科研機(jī)構(gòu)，建設(shè)工程中心和工程實(shí)驗(yàn)室，開展重大技術(shù)攻關(guān)和促進(jìn)成果產(chǎn)業(yè)化工作；建立重大科技攻關(guān)、產(chǎn)業(yè)化和引進(jìn)消化吸收項(xiàng)目庫，保證重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)有穩(wěn)定的技術(shù)開發(fā)支撐”。（5）《山東省人民政府辦公廳關(guān)于支持重點(diǎn)半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)龍頭企業(yè)發(fā)展有關(guān)問題的通知》（魯政辦字〔2022〕9 號(hào)）確定對山東大學(xué)、浪潮集團(tuán)山東華光光電子有限公司和山東華光光電子有限公司半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新能力山東省大功率半導(dǎo)體激光器工程實(shí)驗(yàn)室 資金申請報(bào)告北京國 際工程咨詢公司 　 電話:0531829523757和發(fā)展壯大，給予重點(diǎn)扶持。 《通知》明確了發(fā)展目標(biāo)：一是完善和建設(shè)“ 四大創(chuàng)新平臺(tái)”。即山大重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室；達(dá)到國家級(jí)企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的省光電子工程技術(shù)研究中心；建設(shè)國家級(jí)半導(dǎo)體照明實(shí)驗(yàn)室；建設(shè)國家級(jí)企業(yè)技術(shù)中心。二是研發(fā)半導(dǎo)體照明“五大關(guān) 鍵技 術(shù)” 。即重點(diǎn)研 發(fā) SiC 和 GaN 等單晶材料技術(shù)；襯底技術(shù)和單晶生產(chǎn)設(shè)備；新 SiC 襯底工業(yè)生產(chǎn)技術(shù)；藍(lán)光外延生長及管芯制作技術(shù)；大功率白光制造與封裝生產(chǎn)技術(shù)。三是實(shí)施“六大建設(shè)項(xiàng)目” 。即建成國家光電子企業(yè)技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)業(yè)升級(jí)項(xiàng)目、建設(shè)紅黃外延和芯片擴(kuò)大產(chǎn)能項(xiàng)目、藍(lán)綠光外延和芯片規(guī)?；a(chǎn)項(xiàng)目、SiC 襯底規(guī)模生產(chǎn)項(xiàng)目、大功率激光器項(xiàng)目、大功率白光制造與封裝生產(chǎn)技術(shù)項(xiàng)目。采取強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，建立新型產(chǎn)學(xué)研合作模式。建立山東大學(xué)和浪潮華光全面合作關(guān)系，通過技術(shù)合作、共同投資建設(shè)創(chuàng)新平臺(tái)和資本紐帶等多種方式，形成緊密的產(chǎn)、學(xué)、研利益共同體。（6）《山東省電子信息產(chǎn)業(yè)調(diào)整振興規(guī)劃》（20222022 年）實(shí)施十項(xiàng)重點(diǎn)專項(xiàng)工程之一“ 光電子、半導(dǎo)體照明及光伏電 池產(chǎn)業(yè)鏈專項(xiàng)。加快完善LED/LD 產(chǎn)業(yè)鏈，支持發(fā)展 SiC 襯底及 LED、LD 外延片、各類 LED、LD 管芯制作及封裝生產(chǎn)，重點(diǎn)支持 SiC 襯底材料產(chǎn)業(yè)化，LED 外延片由目前紅、黃外延片生長，擴(kuò)展到紅、黃、 藍(lán)、綠各種顏 色外延片生長。支持下游LE