設(shè)備配置及技術(shù)規(guī)格表-文庫(kù)吧
2025-06-16 00:13 本頁(yè)面
【正文】 備用密封圈及工具、配套循環(huán)冷水機(jī)光刻系統(tǒng)、曝光面積：英寸、曝光波長(zhǎng)：*、分辨力：μ（膠厚μ的正膠）、對(duì)準(zhǔn)精度：177。μ、掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：： ：、掩模尺寸：英寸、英寸、英寸、英寸*、樣片尺寸：直徑φ～φ 厚度：～(可擴(kuò)展為)、曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量*、照明不均勻性：（φ范圍）*、雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò)顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)最大倍數(shù)倍，光學(xué)電子放大倍 物鏡三對(duì)：倍、倍、倍 目鏡三對(duì)：倍、倍、倍、掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程
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