體視顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范-福建省質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局-文庫(kù)吧
2024-10-17 13:02 本頁(yè)面
【正文】 及定義》、 JJF — 2020《測(cè)量不確定度評(píng)定與表示》共同構(gòu)成支撐本校準(zhǔn)規(guī)范的基礎(chǔ)性系列技術(shù)文件。 本規(guī)范參照 GB/T 19863— 2020《體視顯微鏡試驗(yàn)方法》、 GB/T — 2020《體視顯微鏡（第 1 部分：普及型體視顯微鏡）》、 GB/T — 2020《體視顯微鏡（第 2 部分：高性能體視顯微鏡）》 制定 。 JJF（閩） 10632020 1 體視顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范 1 范圍 本規(guī)范適用于 普及型 體視顯微鏡和 高性能 體視顯微鏡的校準(zhǔn)。 2 引用文件 本規(guī)范引用了下列文件： GB/T 19863— 2020 體視顯微鏡試驗(yàn)方法 GB/T — 2020 體視顯微鏡（第 1 部分：普及型體視顯微鏡） GB/T — 2020 體視顯微鏡（第 2 部分：高性能體視顯微鏡） GB/T 22059— 2020/ISO 8039： 1997 顯微鏡 放大率 凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本規(guī)范 。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本規(guī)范。 3 術(shù)語(yǔ) GB/T — 20 GB/T — 20 GB/T 22059— 2020/ISO 8039：1997 中界 定的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本規(guī)范。 變倍齊焦差 變換物鏡倍數(shù)時(shí)，由于像面的位移 導(dǎo)致成像 不清晰而需要重新調(diào)焦的位移。 注：在國(guó)標(biāo)中稱為“齊焦”。 左右齊焦差 在固定倍率情況下，左右光學(xué)系統(tǒng)不同焦面位置差異 。 注：國(guó)標(biāo)中稱為“左右光學(xué)系統(tǒng)的聚焦差”。 變倍齊中差 變倍時(shí)像平面的橫向位移。 左右齊中差 物面中央物點(diǎn)的像在左右視場(chǎng)內(nèi)對(duì)應(yīng)位置的一致性。 4 概述 體視顯微鏡 是通過光學(xué)系統(tǒng)將微小物體所成的像放大后，由雙目顯微鏡中 兩組同樣的 成像光路 ， 獲得具有 立體感覺 的清晰圖像， 用 于觀察物體的表面形貌及組織結(jié)構(gòu)，并利用分劃板上的刻度尺 測(cè)量物體的幾何尺寸。 JJF（閩） 10632020 2 體視顯微鏡 按結(jié)構(gòu)形式可分為連續(xù)變倍型、有級(jí)變換型、物鏡卸換型三種，按照技術(shù)性能可分為普及型與高性能兩種。 圖 1 為一種常見的體視顯微鏡的外形圖。 圖 1 體視顯微鏡的外形圖 1— 目鏡； 2— 視度調(diào)節(jié)圈； 3— 目鏡筒； 4— 變倍手輪； 5— 彈性壓片； 6— 載物臺(tái)； 7— 底座； 8— 棱鏡罩； 9— 電源線； 10— 立柱； 11— 調(diào)焦滑座； 12— 調(diào)焦手輪； 13— 光源； 14— 物鏡； 15— 亮度調(diào)節(jié)旋鈕。 5 計(jì)量特性 成像清晰范圍 體視顯微鏡視場(chǎng)成像清晰范圍應(yīng)滿足表 1中的要求： 表 1 成像清晰范圍 普及型 高性能 上下方向≥ 60%，左右方向≥ 50%。 上下方向≥ 70%，左右方向≥ 60%。 變倍齊焦差 體視顯微鏡變換不同放大倍率物鏡時(shí)， 變倍齊焦差一般不 大于 。 左右齊焦 差 目鏡光學(xué)系統(tǒng)的左右齊焦差 一般不 大于 。 DF按照下式計(jì)算： MNANAD ????? 7 1)(2 2F ? （ 1） JJF（閩） 10632020 3 式 (1)中： DF — 景深； NA — 數(shù)值孔徑； M — 總放大率； λ — 光波波長(zhǎng)，通常 λ=。 變倍齊中差 體視顯微鏡使用不同放大倍率物鏡時(shí)，變倍齊中差應(yīng)符合表 2中的要求。 表 2 變倍齊中差技術(shù)指標(biāo) （單位： mm） 類型 普及型 高性 能 連續(xù)變倍型 —— ≤ 有級(jí)變換型 ≤ 物鏡卸換型 ≤ 左右齊中差 左右光學(xué)系統(tǒng)的左右齊中差應(yīng)符合以下要求： 上下方向：一般不大于 ；左右方向：一般不大于 。 分辨力 物鏡分辨力一般不小于 1200 NA。 物鏡放大倍率誤差 物鏡放大倍率誤差應(yīng)符合以下要求： 普及型體視顯微鏡：一般不超過177。 5%；高性能體視顯微鏡：一般不超過177。 4%。 左右光學(xué)系統(tǒng)放大倍率差 光學(xué)系統(tǒng)的左右放大倍率差應(yīng)符合以下要求： 普及型：一般不大于 2%；高性能：一般不大于 ％。 注：校準(zhǔn)不對(duì)測(cè)量結(jié)果作合格與否的判斷，以上技術(shù)指標(biāo)供參考。 6 校準(zhǔn)條件 環(huán)境條件 溫濕度條件： 校準(zhǔn)室內(nèi)溫度為（ 20177。 10）℃，相對(duì)濕度不大于 85%。 其它條件： 校準(zhǔn)室內(nèi)應(yīng)無影響測(cè)量的灰塵、振動(dòng) 、氣流 和腐蝕性氣體。 校準(zhǔn)項(xiàng)目及主要測(cè)量設(shè)備 JJF（閩） 10632020 4 校準(zhǔn)項(xiàng)目及主要測(cè)量設(shè)備見表 3。 表 3 校準(zhǔn)項(xiàng)目及主要測(cè)量設(shè)備 注：也可采用滿足測(cè)量不確定度要求的其它測(cè)量設(shè)備進(jìn)行校準(zhǔn)。 7 校準(zhǔn)項(xiàng)目 和校準(zhǔn)方法 校準(zhǔn)前，以目視方法檢查體視顯微鏡的光學(xué)系統(tǒng)。光學(xué)系統(tǒng)應(yīng)成像清晰，視場(chǎng)內(nèi)不應(yīng)有影響測(cè)量的霉斑、臟物、劃痕等疵病，照明裝置應(yīng)在視場(chǎng)范圍內(nèi)使被測(cè)對(duì)象得到均勻并有足夠亮度的照明。 以手動(dòng)方法檢查各部分相互作用，可運(yùn)動(dòng)部分的移動(dòng)或轉(zhuǎn)動(dòng)應(yīng)平穩(wěn)舒適，定位可靠，沒有滯澀或急跳現(xiàn)象。光學(xué)調(diào)焦機(jī)構(gòu)應(yīng)穩(wěn)定、可靠。固定在立柱上的調(diào)焦滑座不會(huì)由于本身以及附加裝置的質(zhì)量而自行下降。 在確定無影響計(jì)量特性的因素后，再進(jìn)行校準(zhǔn)。 成 像清晰范圍 將玻璃線紋尺置于載物臺(tái)上，朝向調(diào)為視場(chǎng)的左右方向。體視顯微鏡使用最高倍物鏡，通過調(diào)焦使玻璃線紋尺刻度像清晰的范圍為最大，使用玻璃線紋尺分別測(cè)量視場(chǎng)左右方向長(zhǎng)度以及玻璃線紋尺刻度像清晰的長(zhǎng)度 ， 視場(chǎng)左右方向成像清晰范圍 D1按下式計(jì)算 : 序號(hào) 校準(zhǔn)項(xiàng)目 主要測(cè)量設(shè)備 1 成像清晰范圍 分度值 、 2 變倍齊焦差 分度值 、 、百分表 3 左右齊焦差 分度值 、 、百分表 4 變倍齊中差 分度值為 的十字分劃目鏡（ MPE:177。
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