《真空的獲得和測(cè)量》ppt課件-文庫(kù)吧
2025-04-16 22:13 本頁(yè)面
【正文】 完成吸氣和排氣過(guò)程的一種真空泵。氣體在排出前被壓縮 動(dòng)量傳輸泵 這種泵是依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流，把動(dòng)量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹? 氣體傳輸泵的分類(lèi) 氣體捕集泵的分類(lèi)： 吸氣劑離子泵： 它是使被電離的氣體通過(guò)電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用吸附在有吸氣材料的表面上，以達(dá)到抽氣的目的 低溫泵： 利用低溫表面捕集氣體的真空泵 吸附泵： 它主要依靠具有大表面的吸附劑（如多孔物質(zhì)）的物理吸附作用來(lái)抽氣的一種捕集式真空泵 吸氣劑泵： 它是一種利用吸氣劑以化學(xué)結(jié)合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金 實(shí)際應(yīng)用中常用到的真空泵有哪幾種？ ?旋片式機(jī)械真空泵 ?羅茨真空泵 ?油擴(kuò)散泵 ?渦輪分子泵 ?低溫吸附泵 ?濺射離子泵 氣體輸運(yùn)泵 氣體捕集泵 旋片式機(jī)械真空泵 工作原理： 旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切（二者有很小的間隙），轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個(gè)旋片。旋轉(zhuǎn)時(shí)，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)。 旋片式機(jī)械真空泵 特點(diǎn)： ?其工作壓強(qiáng)范圍為 102（ Pa）屬于低真空泵。 ?它可以單獨(dú)使用，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級(jí)泵。 ?結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，工作可靠 ?由于它以油作為密封物質(zhì)，因此它會(huì)造成油蒸氣的回流和對(duì)真空系統(tǒng)造成油的污染。 羅茨真空泵 工作原理： 在泵腔內(nèi)，有二個(gè) “ 8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對(duì)平行軸上，由傳動(dòng)比為 1的一對(duì)齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。在轉(zhuǎn)子之間，轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間，保持有一定的間隙，可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行。 羅茨泵的特點(diǎn)： ? 在較寬的壓強(qiáng)范圍內(nèi)有較大的抽速； ? 起動(dòng)快，能立即工作； ? 對(duì)被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感； ? 轉(zhuǎn)子不必潤(rùn)滑，泵腔內(nèi)無(wú)油； ? 振動(dòng)小，轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡條件較好，沒(méi)有排氣閥； ? 驅(qū)動(dòng)功率小，機(jī)械摩擦損失小； ? 結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積??； ? 運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)費(fèi)用低 ? 壓力范圍為： ? 其極限真空度可以達(dá)到 102
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