【正文】 術(shù)幼兒園2900南側(cè)學(xué)校大氣19楊村第八小學(xué)2700南側(cè)學(xué)校大氣20楊村第五中學(xué)2900南側(cè)學(xué)校大氣21棲仙公寓2300南側(cè)居民區(qū)大氣22蒲瑞祥園1700西側(cè)居民區(qū)大氣23蒲瑞馨園2900西側(cè)居民區(qū)大氣24蒲瑞和園2300西側(cè)居民區(qū)大氣25東蒲洼村2900西側(cè)居民區(qū)大氣26天鵝湖別墅區(qū)2600東側(cè)居民區(qū)大氣27棲仙中區(qū)社區(qū)衛(wèi)生服務(wù)站2500南側(cè)醫(yī)院大氣28東蒲洼社區(qū)衛(wèi)生服務(wù)中心3000南側(cè)醫(yī)院大氣29達(dá)成公寓364西側(cè)居民區(qū)大氣30逸城公寓368北側(cè)居民區(qū)大氣大氣污染物以達(dá)標(biāo)排放、不對(duì)周邊環(huán)境及敏感目標(biāo)構(gòu)成顯著影響為控制目標(biāo)。排放廢水以廠總排口水質(zhì)達(dá)到DB12/3562008《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（三級(jí)）為控制目標(biāo)。噪聲以廠界達(dá)到GB123482008《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》（3 類）。固體廢物以妥善處置，不造成二次污染為控制目標(biāo)。本項(xiàng)目污染物排放總量應(yīng)滿足地區(qū)污染物總量控制目標(biāo)。2 建設(shè)項(xiàng)目概況項(xiàng)目名稱：熱解氮化硼、碳化硅、熱解石墨、石英材料及超純?cè)氐纳a(chǎn)及銷售建設(shè)性質(zhì)：新建建設(shè)地點(diǎn)：天津開發(fā)區(qū)逸仙科學(xué)工業(yè)園光明道以北、亨遠(yuǎn)路以西建設(shè)單位：博宇（天津）半導(dǎo)體材料有限公司項(xiàng)目投資： 建設(shè)規(guī)模及產(chǎn)品方案本項(xiàng)目在空地上進(jìn)行新的廠區(qū)建設(shè)，建筑面積約32000平方米。本次建設(shè)項(xiàng)目為生產(chǎn)熱解氮化硼、熱解碳化硅和熱解石墨。生產(chǎn)規(guī)模為熱解氮化硼坩堝2萬件/年、熱解碳化硅涂層材料1萬件/年以及熱解石墨加熱器1萬件/年。同時(shí)，配套建設(shè)食堂、廚房、浴室、鍋爐房、循環(huán)水池、維修間及事故池等。本項(xiàng)目產(chǎn)品為熱解氮化硼坩堝、熱解碳化硅涂層材料和熱解石墨加熱器，產(chǎn)品方案如下表所示。表21 產(chǎn)品方案及生產(chǎn)規(guī)模產(chǎn)品名稱年產(chǎn)量暫存位置熱解氮化硼坩堝2萬件/年倉庫熱解碳化硅涂層材料1萬件/年倉庫熱解石墨加熱器1萬件/年倉庫博宇（天津）半導(dǎo)體材料有限公司位于天津開發(fā)區(qū)逸仙科學(xué)工業(yè)園光明道以北、亨遠(yuǎn)路以西。廠區(qū)四至范圍：東臨亨遠(yuǎn)路，西臨慶齡大路和天津市平和化工有限公司，南臨光明道，北臨翠柳道。項(xiàng)目地理位置及周邊環(huán)境情況見附圖。本項(xiàng)目選址位于逸仙科技園區(qū)內(nèi)，選址處現(xiàn)狀如下圖所示。圖21 本項(xiàng)目選址處現(xiàn)狀 工程建設(shè)內(nèi)容本項(xiàng)目建設(shè)綜合樓1幢，研發(fā)中心1幢，廠房4幢，庫房1幢，配套2幢，分兩次建設(shè)。具體情況如下表所示。表22 概況和建筑面積建筑物名稱幢數(shù)層數(shù)建筑面積（平方米）高度（米）計(jì)容面積計(jì)劃分期綜合樓134566124566一期研發(fā)中心134566124566二期廠房1155681311136二期廠房3114200928400一期庫房11160093200二期配套21150093000一期 注：按300人估算，配套含食堂及廚房600平方米 ，浴室150平方米。 博宇（天津）半導(dǎo)體材料有限公司廠區(qū)技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)如下表所示。表23 廠區(qū)主要技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)序號(hào)項(xiàng)目單位指標(biāo)備注1總用地面積m22建筑總占地面積m2259123總建筑面積m2320004其中地上建筑面積m232000地下建筑面積m25005綠地面積m26道路廣場(chǎng)面積m27綠地率%8建筑密度%66%9容積率——10停車位個(gè)博宇（天津）半導(dǎo)體材料有限公司主要建設(shè)項(xiàng)目一覽表如下所示。表24 主要建設(shè)項(xiàng)目一覽表建筑名稱層數(shù)高度m占地面積m2建筑面積m2計(jì)容面積m2用途結(jié)構(gòu)類型綜合樓312152245664566研發(fā)中心312152245664566廠房1135568556811136廠房19142001420028400庫房19160016003200配套19150015003000博宇（天津）半導(dǎo)體材料有限公司有職工300人，三班工作制，每班8小時(shí)，年工作時(shí)數(shù)2000小時(shí)。 建設(shè)進(jìn)度本擴(kuò)建項(xiàng)目計(jì)劃 2014 年 6月開工建設(shè)，預(yù)計(jì) 2015 年 1 月建成并投入試生產(chǎn)。 （1）供水本建設(shè)項(xiàng)目用水由市政給自來水管網(wǎng)提供，用水主要為職工日常生活用水、生產(chǎn)用水。生活用水量為150m179。/月，生產(chǎn)用水量為1115 m179。/月，總用水量約為1265 m179。/月。（2）排水本項(xiàng)目生產(chǎn)用水和職工生活用水。生活排水量及水質(zhì)：150m179。/月（參考老廠數(shù)據(jù)，2013年8月，平均生活用水40m179。，40247。1750=118 m179。）。生產(chǎn)排水量及水質(zhì)：1115m179。/月（參考分廠1車間數(shù)據(jù)，2013年3月至2014年2月，冷卻塔散熱消耗水量為2556m179。，179。，2250=1100 m179。；平均每月消耗去離子水為3m179。，3247。1250= m179。）。污水處理工藝措施及處理效果（去除率）：無。排水去向?yàn)槭姓鬯艿馈U水排放量為1250 m179。/月。水平衡圖如下圖所示。圖22 水平衡圖(3)動(dòng)力壓縮空氣用量：125m179。/月（參考分廠1車間數(shù)據(jù)，2013年112月，平均用量為30m179。/月，30247。1250=125 m179。/月）（4）供電A、供電來源：10KV變電站B、方式：雙電源C、用電量：1700000KWh（參考老廠數(shù)據(jù)，2013年8月平均566214KWh，566214247。1750=1665335KWh） 主要原輔料消耗及貯存情況 本項(xiàng)目所需物料主要是外購的NHBClCHHAr和CH3SiCl3。輔助原料的使用情況不隨NHBClCHHAr和CH3SiCl3的變化而變化。主要原輔料消耗情況如下表所示。表25 本項(xiàng)目主要原、輔料消耗量表序號(hào)材料名稱年用量（Kg）來源貯存1NH3采購液化存于內(nèi)壁涂有瀝青的鐵桶2BCl394采購氣體存于密閉鋼瓶3CH4采購氣體存于鋼瓶4H2——采購氣體存于鋼瓶5Ar——采購氣體存于鋼瓶6CH3SiCl3采購液體存于密封容器注：所有原、。表26 主要包裝材料用量輔助包裝名稱年用量來源紙箱7萬個(gè)采購海綿20萬塊采購各原輔料理化性質(zhì)如下所述。（1）NH3氨氣，Ammonia， NH3，無色氣體。有強(qiáng)烈的刺激氣味。密度 。(空氣=)。易被液化成無色的液體。在常溫下加壓即可使其液化(℃，)。℃。也易被固化成雪狀固體?！?。溶于水、乙醇和乙醚。在高溫時(shí)會(huì)分解成氮?dú)夂蜌錃?，有還原作用。有催化劑存在時(shí)可被氧化成一氧化氮。用于制液氮、氨水、硝酸、銨鹽和胺類等。可由氮和氫直接合成而制得，能灼傷皮膚、眼睛、呼吸器官的粘膜，人吸入過多，能引起肺腫脹，以至死亡。氨用于制造氨水、氮肥（尿素、碳銨等）、復(fù)合肥料、硝酸、銨鹽、純堿等，廣泛應(yīng)用于化工、輕工、化肥、制藥、合成纖維等領(lǐng)域。含氮無機(jī)鹽及有機(jī)物中間體、磺胺藥、聚氨酯、聚酰胺纖維和丁腈橡膠等都需直接以氨為原料。此外，液氨常用作制冷劑，氨還可以作為生物燃料來提供能源。氨氣的儲(chǔ)存一般在避光，陰涼的環(huán)境存放在棕色試劑瓶里，這只能短時(shí)間存放。如果要大量長(zhǎng)時(shí)間存放工業(yè)上一般存放在內(nèi)壁涂有瀝青的鐵桶中，這是因?yàn)榘彼懈g性。（2）BCl3BCl3 分子量 。不可燃，有刺激性、酸性氣味。遇水分解生成氯化氫和硼酸，并放出大量熱量，在濕空氣中因水解而生成煙霧，在醇中分解為鹽酸和硼酸酯。℃?！?。三氯化硼反應(yīng)能力較強(qiáng)，能形成多種配位化合物，具有較高的熱力學(xué)穩(wěn)定性，溶于苯、二硫化碳。但在放電作用下，會(huì)分解形成低價(jià)的氯化硼。在大氣中，三氯化硼加熱能和玻璃、陶瓷起反應(yīng)，也能和許多有機(jī)物反應(yīng)形成各種有機(jī)硼化合物。 （3）CH4甲烷是結(jié)構(gòu)最簡(jiǎn)單的碳?xì)浠衔??；瘜W(xué)式CH4，是最簡(jiǎn)單的烴，無色，無味?！妫?。廣泛存在于天然氣、沼氣、煤礦坑井氣之中，是優(yōu)質(zhì)氣體燃料，也是制造合成氣和許多化工產(chǎn)品的重要原料。從分子的層面上來說，甲烷是一種比二氧化碳更加活躍的溫室氣體，但它在大氣中數(shù)量較少。（4）H2氫氣是無色并且密度比空氣小的氣體（在各種氣體中，氫氣的密度最小。標(biāo)準(zhǔn)狀況下，相同體積比空氣輕得多）。因?yàn)闅錃怆y溶于水，所以可以用排水集氣法收集氫氣。另外，在101千帕壓強(qiáng)下，℃時(shí)，氫氣可轉(zhuǎn)變成無色的液體；℃時(shí)，變成雪狀固體。常溫下，氫氣的性質(zhì)很穩(wěn)定，不容易跟其它物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。但當(dāng)條件改變時(shí)（如點(diǎn)燃、加熱、使用催化劑等），情況就不同了。如氫氣被鈀或鉑等金屬吸附后具有較強(qiáng)的活性（特別是被鈀吸附）。金屬鈀對(duì)氫氣的吸附作用最強(qiáng)。當(dāng)空氣中的體積分?jǐn)?shù)為4%75%時(shí)，遇到火源，可引起爆炸。（5）Ar氬氣是一種無色、無味的惰性氣體,分子量 ,分子式為 Ar ,在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下,其密度為 ℃?！　?既不能燃燒,也不助燃。在飛機(jī)制造、造船、原子能工業(yè)和機(jī)械工業(yè)部門,對(duì)特殊金屬,例如鋁、鎂、銅及其合金和不銹鋼在焊接時(shí),往往用氬作為焊接保護(hù)氣,防止焊接件被空氣氧化或氮化。（6）CH3SiCl3三甲基一氯硅（CH3SiCl3）是一種生產(chǎn)有機(jī)硅化合物的原料，遇明火會(huì)引起爆炸，在空氣中燃燒生成一氧化碳、二氧化碳、二氧化硅和氯化氫，三甲基一氯硅與水接觸可產(chǎn)生霧狀鹽酸。儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的庫房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫溫不宜超過37℃。包裝要求密封，不可與空氣接觸。應(yīng)與氧化劑、酸類、堿類等分開存放，切忌混儲(chǔ)。采用防爆型照明、通風(fēng)設(shè)施。禁止使用易產(chǎn)生火花的機(jī)械設(shè)備和工具。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備和合適的收容材料。 主要生產(chǎn)設(shè)備本項(xiàng)目生產(chǎn)所需的主要生產(chǎn)設(shè)備如下表所示。表27 主要設(shè)備明細(xì)表生產(chǎn)設(shè)備供電來源供電方式CVD爐射頻電源低壓供電堿性噴淋塔10KV變電站雙電源 工藝過程及污染因素分析本項(xiàng)目包含三個(gè)生產(chǎn)線，分別是熱解氮化硼氣相沉積、熱解石墨氣相沉積和碳化硅氣相沉積。（1）熱解氮化硼氣相沉積熱解氮化硼（PBN）氣相沉積中，生產(chǎn)工藝為將按比例混合的含有氮、氫化合物的氣體（NH3），鹵素化合物氣體（BCl3）在高溫條件下，通入化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)。在特定模具基體上沉積形成熱解氮化硼。達(dá)到一定厚度后，最終冷卻脫模而制成。PBN坩堝生產(chǎn)工藝流程見下圖所示。脫模固廢修模HCl、廢氣化學(xué)氣相沉積爐加溫、低壓制作模具NHBCl3切割真空熱處理、氧化處理檢驗(yàn)合格包裝入庫堿噴淋塔圖23 PBN坩堝生產(chǎn)工藝流程簡(jiǎn)圖首先，制作模具，然后將制作好并預(yù)先處理的模具放入化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)，其次將含有氮、氫化合物的氣體（NH3），鹵素化合物氣體（BCl3）按照比例混合，在高溫條件下通入化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)，一邊進(jìn)氣，一邊抽出，這時(shí)在預(yù)先處理過的特定模具基體上，氨氣、BCl3都在分解，脫氫的N與元素B形成化合物，并一起沉積在特定基體上，形成熱解氮化硼。氮化硼的沉積過程宛如“落雪”：氮化硼的六角型小雪片，一片一片的平行地落在石墨基體材料上，達(dá)到一定厚度后，最終冷卻脫模而制成。經(jīng)脫模、修模、切割后，對(duì)半成品進(jìn)行真空熱處理和氧化處理得到成品。最后對(duì)產(chǎn)品檢驗(yàn)合格后，包裝入庫。反應(yīng)階段形成氯化氫廢氣，收集廢氣，然后經(jīng)過堿性噴淋塔，降低廢氣中HCl的濃度，%。經(jīng)處理后的廢氣經(jīng)15m高排氣筒排出。待氮化硼反應(yīng)完全后落在模具上之后，脫模、修模、切割過程中產(chǎn)生粉塵等固體廢棄物。為充分回收物料，噴霧干燥塔配套設(shè)計(jì)了旋風(fēng)分離器+布袋除塵器兩級(jí)收塵措施，物料回收效率達(dá)大于99%。處理后的廢氣經(jīng)15m 高排氣筒排放。本擴(kuò)建項(xiàng)目生產(chǎn)過程為間歇操作，產(chǎn)出一批產(chǎn)品后需要對(duì)模具、化學(xué)氣相沉積爐、物料管道等進(jìn)行清洗，并對(duì)模具進(jìn)行修模，對(duì)物料進(jìn)行切割。實(shí)驗(yàn)產(chǎn)生的少量?jī)x器清洗廢水匯入車間沉淀池處理。（2）熱解石墨氣相沉積熱解石墨（PG）氣相沉積是將CH4在高溫條件下通入化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)，在特定基體上發(fā)生分解沉積，形成熱解石墨。達(dá)到一定厚度后，最終冷卻脫模而制成。PG生產(chǎn)工藝流程圖見下圖24所示。制作模具CH4化學(xué)氣相沉積爐加溫、低壓脫模H廢氣固廢修模切割真空熱處理、氧化處理檢驗(yàn)合格包裝入庫圖24 PG生產(chǎn)工藝流程簡(jiǎn)圖（3）碳化硅氣相沉積碳化硅（SiC）氣相沉積是在高溫條件下，使特種氣體釋放出硅，硅與碳直接結(jié)合，從而將特定形狀石墨材料包裹起來，形成碳化硅（SiC），所形成的SiC牢牢的巴結(jié)在石墨基座上，賦予石墨基座以特殊的性能，從而使石墨基體表面致密、無孔隙、耐高溫、抗溶蝕、抗氧化。杜絕了高純度石墨基體在高溫條件下放出氣