[工學(xué)]32電容式傳感器-文庫吧
2025-01-04 08:32 本頁面
【正文】 （ ） 可見，靈敏度與成反比，極距越小，靈敏度越高。為減小非線 性誤差，該類傳感器通常用于測量微小位移。 在實際應(yīng)用中，為提高靈敏度，減小非線性，克服壓力、環(huán)境 溫度、電源電壓等外界因素對測量精度的影響，通常情況下把電容 器接成差動形式，如圖 。 差動式電容傳感器一般采用三塊極板，其中中間一塊極板為動 極板，兩邊為定極板。當(dāng)動極板移動 距離， ， 。 對應(yīng)的電容量 、 的變化通過差動電橋疊加使輸出和靈敏度均提 高一倍，非線性得到改善，且工作穩(wěn)定性好。 20lSdldCS ?????l? lll ??? 01 lll ??? 021C 2C下頁 上頁 返回 差動結(jié)構(gòu) ?0?0d1d2C1C2A圖 6 . 9 平 板 電 容 器 的 差 動 式 結(jié) 構(gòu)10011CC dd? ?－20011CC dd? ?????????? ????????? ?????????? ?????????? ?? ?3020001 1 ddddddCC ＝???????? ????????? ?????????? ?????????? ?? ?3020002 1 ddddddCC ＝????????????????? ?????????? ?????????? ???? ?50300021 222 ddddddCCCC ＝2 4 60 0 0 0 021C d d d dC d d d d??? ? ? ? ? ?? ? ? ? ???? ? ? ?? ? ? ? ? ?? ? ? ? ? ???＝002CdCd??? 002CCKdd?????差動結(jié)構(gòu)的電容特征方程式為： 相對非線性誤差為 結(jié)論： 差動式電容傳感器比單個電容靈敏度提高一倍 。 非線性誤差減小 . ????????????????? ??????? ?200001 1ddddddCC%100)(120200002???????????????????? ???????ddddddddCCL??%100)( 20??? d dL?差動的好處 ?靈敏度得到一倍的改善 ?線性度得到改善 0 02C dC d? ??差 動 ：0 01C dC d? ??0100%dd? ???20100%dd? ?????????差 動 ：非線性誤差 : （ 2）面積變化型電容傳感器 面積變化型電容傳感器有線位移和角位移兩種。線位移型電容 式傳感器又分為平面線位移和圓柱線位移兩種。 圖 ，電容量為：
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