低溫等離子體技術(shù)在炭材料改性方面的應(yīng)用》-文庫吧
2025-01-03 16:36 本頁面
【正文】 (如 :輝光放電和微波放電等離子體等 )和常壓低溫等離子體 [ 如 :電暈放電和無聲放電等離子體等 ] 。 頻率： 直流放電、高頻放電和微波放電等離子體等。 低溫等離子體的發(fā)生方式 炭材料表面改性的低溫等離子體主要由電暈放電、輝光放電和微波放電產(chǎn)生。 (1)電暈等離子體 電暈等離子體是在大氣壓下 , 對距離很近的兩個電極施加交流電壓 , 使電極間的氣體被擊穿而產(chǎn)生的。在放電時會生成臭氧、自由基、電子、紫外線等。 (2)輝光等離子體 在適當?shù)偷臍鈮合?, 施加一定的電壓使氣體擊穿就會產(chǎn)生穩(wěn)定的輝光等離子體。為了避免通訊廣播的干擾 , 輝光放電通常使用 13 .56MHz 的射頻波段 , 因而也叫射頻輝光 (RF)等離子體。它又包含兩種形式 , 即感應(yīng)耦合和電容耦合。前者反應(yīng)器多為管狀 , 后者反應(yīng)器通常為鐘罩式或圓筒型。 (3)微波等離子體 微波等離子體是將微波能量轉(zhuǎn)換為氣體分子的內(nèi)能 , 使之激發(fā)、電離而發(fā)生的等離子體。常用的頻率為 24 .5GHz 。 低溫等離子體與炭材料表面改性 一種是利用各種表面改性技術(shù)產(chǎn)生一個新的表面活性層 , 從而改變表面、界面的基本特性 。另一種作法是借助功能性薄膜或表面層形成技術(shù)在原表面上敷膜、這兩種作法的目的都是為了使材料具有一種或幾種表面性能。 低溫等離子體表面改性的可行性 低溫等離子體作為一種非熱平衡等離子體 , 其粒子能量的參數(shù)范圍如下 :電子 (Electrons)0 eV ～ 20 eV , 亞穩(wěn)態(tài)粒子(Metastables Excited)0 eV～ 20 eV , 離子 (Ions)0 eV ～ 2 eV,光子 (UV visible)3 eV ～ 40 eV 。 這表明 , 利用低溫等離子體完全可以破壞材料表面的舊化學(xué)鍵而形成新鍵 , 從而賦
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