【正文】 時(shí)以上產(chǎn)品件號的更換護(hù)板。 ? 1 1200機(jī)旋轉(zhuǎn)架使用半個(gè)月以上的噴砂一次。 ? 1傘片連續(xù)或累計(jì)使用一天， 1200機(jī)連續(xù)或累計(jì)使用 12小時(shí)以上噴砂一次，盲板相同（各機(jī)組一天一副）。 ? 1鏡圈、碟片連續(xù)或累計(jì)使用一天以上，各機(jī)組每天應(yīng)送超洗退膜一次，一天一副。 ? 1被擴(kuò)散泵污染的高閥門板，真空室內(nèi)壁表面需用防靜電耐磨砂紙 240＃打磨去除黃色油漬。 ? 1污垢除去后，用抹布蘸丙酮清擦高閥門板及真空室內(nèi)壁表面，再用干凈的汗衫布蘸丙酮反復(fù)清擦幾遍，直到內(nèi)壁門板表面發(fā)亮即可。 ? 1 240＃水砂紙把蒸發(fā)在真空室內(nèi)壁上的膜料打磨去除，對其他吸附在內(nèi)壁表面上的殘留物，則用金相砂紙打磨去除。 ? 1把打磨下的臟物用吸塵器吸掉，再用汗衫布蘸丙酮清擦。 ? 以上清潔處理和烘烤的總時(shí)間不得大于 2小時(shí)， A、 B班輪流更換。 ? 四、韓一 1050機(jī)、 1200機(jī)加熱器清潔與安裝。 ? 把三組加熱器正負(fù)極上耐高溫的電源線，用 4＃內(nèi)六角扳手沿逆時(shí)針方向?qū)⑵渌砷_，把電源線取下。 ? 把支撐桿上固定加熱器的內(nèi)六角螺栓，用 6＃內(nèi)六角扳手逆時(shí)針方向?qū)⑵渌傻揭话?，用左手托住加熱器，右手把螺栓松開，取下加熱器放入塑料盒內(nèi)做噴砂處理。 ? 噴砂時(shí)應(yīng)取下碘鎢燈，旋下兩頭燈絲螺栓。 ? 安裝前用軟毛刷刷一遍加熱器各部件及罩子，再用抹布蘸丙酮清擦干凈，把加熱器安裝在支撐架上后，再安裝加熱器正負(fù)極電源線，開加熱，看是否正常 ? 。 5，不定時(shí)檢查燈組各接頭處 5MM不銹綱螺絲加熱后是否松動(dòng)。 ? 6..月更換一次加熱器組進(jìn)行噴砂。 ? 、鋼絲鉗等工具，用呆、套扳手進(jìn)行作業(yè)。 ? 五、在晶振探頭座晶振探頭維護(hù)： ? 把蒸發(fā)上的膜料，用金相砂紙，從上到下打磨干凈，再用汗衫布蘸無水乙醇乙醚混合液擦拭干凈。 ? 把固定在旋轉(zhuǎn)架上的螺栓，用帶扳手或活動(dòng)扳手逆時(shí)針方向?qū)⑵渌蓜?dòng)到一半的位置，用雙手托住旋轉(zhuǎn)架，一人將螺栓送開，取下時(shí)注意不可碰到晶振探頭。 ? 把已做噴砂處理的旋轉(zhuǎn)架用汗衫布蘸丙酮清擦干凈，并用扳手將螺栓固定，并空機(jī)烘烤。 ? 晶控儀的穩(wěn)定會受水冷的一定影響（如水溫、水質(zhì)），故每隔 15天左右，開機(jī)員在換班、休息后上班、或停電后上班時(shí)均要對進(jìn)出水管進(jìn)行對換沖洗，清除管內(nèi)污垢，直至與進(jìn)水質(zhì)方可重新安裝。 ? 如出現(xiàn)停電、停氣、停水，機(jī)組程序可能會受傳輸信號或電壓高低的影響而不穩(wěn)定，因此開機(jī)員一定要注意晶片 LIFE值變化，若有變化時(shí)，機(jī)臺晶片不能切換的必須重新更換晶片，可切換的，切換后看是否穩(wěn)定，如不穩(wěn)定，進(jìn)行更換。 ? 六、在更換晶片時(shí)，應(yīng)注意以下幾點(diǎn)： ? 晶片表面有劃痕，硬傷；邊緣有不破損，有鋸齒等。， ? 晶片表面有雜質(zhì)附著；如表面有光圈，印子，點(diǎn)子，表面不亮等。， ? 在更換時(shí)，注意不可有其它物體碰到晶片表面； ? AR1300機(jī)更換晶片上螺絲時(shí)，注意各螺絲力道應(yīng)對稱均勻，各機(jī)組每次更換完畢，應(yīng)在控制面板上切換檢查 LIFE值。 ? 各機(jī)組晶片 LIFE值規(guī)定如下： ? 單層膜： 多層膜 ? 韓一 1050機(jī) ACT485 ACT＞ 490 ? 韓一 1200機(jī) LIFE≥97 LIFE≥97 ? AR1300機(jī) LIFE≥5945 LIFE≥5952 ? ZZS1300機(jī) LIFE≥97 LIFE≥97 ? 萊寶 1104機(jī) LIFE≥94 LIFE≥96 ? 北儀 800機(jī) LIFE≥38 LIFE≥75 ? 各機(jī)組在鍍制鏡片時(shí)多層曲線走勢上下波動(dòng)突然超過正負(fù) ，單層 AL2O3正負(fù) ， MAF2正負(fù) ，及時(shí)提報(bào)帶班處理解決。 ? 七．加熱器跳閘引發(fā)離子源打火的原因 – 1電壓不穩(wěn)定。 – 2真空室太臟（如護(hù)板，傘片，鏡圈，碘鎢燈，碟片，底版，旋轉(zhuǎn)架，） – 3離子源噴砂后清洗不徹底（存有金剛砂） – 4離子源陰極燈絲螺栓安裝不緊，離子轟擊后螺帽松動(dòng)，燈絲變形， – 5燈管兩頭接線柱 5MM不銹綱螺絲加熱后松動(dòng)， – 6聚四氟乙烯塑料王管兩頭接管口處，黃銅并帽，拆下后噴砂，如安裝不正確會松動(dòng)漏氣 – 7聚四氟乙烯塑料王管受高溫影響可能會出現(xiàn)裂縫而漏氣 – 8燈組兩頭高溫線螺帽加溫后松動(dòng)，引起電阻大，電流小而跳閘。 ? 9，底版至燈架兩頭高溫線螺栓并帽接口受高溫影響脫焊、變形、斷裂。 ? AR1300型鍍膜機(jī) 作業(yè)手順書 ? 一 開機(jī) ? 打開冷水機(jī)外部循環(huán)水閥門（先開出水，后開進(jìn)水），再打開冷水機(jī)電源及泵和壓縮機(jī)的開關(guān)。 ? 打開氣源開關(guān)。 ? 打開配電箱總電源。 ? 打開主控柜內(nèi)總電源及 UPS電源開關(guān)。 ? 按控制柜上“ MAIN POWER‖（主動(dòng)力電源）中的“ ON‖按鈕。 ? 按 XTC/2晶控儀開關(guān)。 ? 真空顯示及晶振顯示完成后，打開電腦顯示器開關(guān)。 ? 按電腦主機(jī)啟動(dòng)鈕，啟動(dòng)電腦。 ? 打開“ POLYCOLD‖電源開關(guān)； ? 打開電子槍控制柜電源開關(guān)并按下“ ON‖按鈕。 ? 1在 PLC觸摸屏“ TOGGLE SWITCH‖（扳鈕開關(guān)）選項(xiàng)中，各開關(guān)應(yīng)處于“ AUTO‖位置。 ? 1確認(rèn)上述操作無誤后，檢查氣壓、冷卻水進(jìn)出壓力、氧壓是否正常，如果正常，進(jìn)入 PLC中的“ PUMP DOWN/AUTO STOP‖（泵啟動(dòng) /自動(dòng)停止）項(xiàng)，進(jìn)入“ MANUL‖項(xiàng)操作，按“ PUMP DOWN‖按鈕，啟動(dòng)抽真空系統(tǒng)。等候“ WARM UP‖（加熱）完成，若“ WARM UP‖完成，警示燈應(yīng)變?yōu)榫G色。 ? 1約 30MIN40MIN后，“ PUMP DOWN/AUTO STOP‖中“ WARM UP‖燈亮，在 PLC―EXHUST CONTROL‖（抽氣控制）中模式為“ AUTO‖，按“ CHAMBER VENT‖（室體充氣）按鈕，對真空室充氣，充氣完畢，真空室門開。 ? 二 鍍膜 ? 打掃真空室：用銅絲刷、吸塵器、刀片等工具，將電子槍坩鍋及四周、觀察窗等打掃干凈，并更換電子槍坩堝蓋板和擋板。 ? 檢查晶片壽命：在 XTC/2顯示屏上按“ 1‖按鈕，在界面右上角查看晶片壽命。若其值在 5944KHZ以下，則應(yīng)考慮切換晶片。 ? 根據(jù)膜系要求裝填膜料，并與坩鍋號相對應(yīng)。當(dāng) PLC界面的“ TOGGLE SWITCH‖項(xiàng)中“ DOME ROTATION‖（旋轉(zhuǎn)架旋轉(zhuǎn)）處于“ OFF‖狀態(tài)時(shí)，可用遙控盒控制傘架旋轉(zhuǎn)。也可用于擋板開閉和坩鍋旋轉(zhuǎn)的動(dòng)作。 ? 上基片架?；芪囱b鏡片部分應(yīng)蓋上盲板或貼上鋁箔，防止真空室頂部被污染。 ? 確定上述操作無誤后，關(guān)上真空室門。 ? 進(jìn)入蒸鍍程序 ACS，先在界面“ PROCESS‖項(xiàng)中點(diǎn)擊“ SELECT‖按鈕，在“ DATA‖文件中點(diǎn)擊“ PROCESS‖進(jìn)入程序單，雙擊所要蒸鍍的程序，在 ACS界面中右下部分有機(jī)組泵及電子槍燈絲運(yùn)行時(shí)間記錄顯示每次必需注意是否有運(yùn)行時(shí)間到達(dá)需要維護(hù)的部位若有則應(yīng)進(jìn)行維護(hù)，若無則可點(diǎn)擊“ START‖，進(jìn)入后，程序先開始檢查電子槍和基片架的旋轉(zhuǎn)是否 OK。若 OK則開始對燈絲預(yù)熔（若不是新?lián)Q的燈絲，可點(diǎn)擊“ SKIP‖跳過）。上述動(dòng)作完成后，開始進(jìn)入等待真空度和溫度到達(dá)工藝設(shè)定值的界面，到達(dá)后，進(jìn)入自動(dòng)蒸鍍階段。在蒸鍍過程中應(yīng)觀察電子槍束斑位置及面積并隨時(shí)調(diào)整使其處于中心位置，注意氧氣減壓閥進(jìn)出氧壓高壓低于 ，低壓應(yīng)控制在 ~，蒸鍍過程中應(yīng)注意蒸發(fā)速率若速率有較大波動(dòng)則停止，切換晶片后可繼續(xù)鍍膜。若晶片已用完則應(yīng)中止蒸鍍充氣更換晶片 ? 三 關(guān)機(jī)： ? 蒸鍍完畢后，按工藝要求進(jìn)行冷卻處理，自動(dòng)充氣，開門。 ? 在 PLC界面“ EXHUST CONTEOL‖項(xiàng)中按“ CHAMBER EXHUST‖對真空室抽氣，在“ TOGGLE SWITCH‖項(xiàng)中，讓各水閥處于“ MANUAL‖狀態(tài)，“ DOME HEATER‖（旋轉(zhuǎn)架加熱），“ DOME ROTATION‖（旋轉(zhuǎn)架旋轉(zhuǎn)）和 POLYCOLD處于“ OFF‖狀態(tài)， ? 關(guān)閉電子槍控制柜電源。 ? 關(guān)閉 POLYCOLD的閥門開關(guān)和電源。 ? 在 PLC的“ PUMP DOWN/AUTO STOP‖項(xiàng)中按“ AUTO STOP‖閃爍 30秒后進(jìn)入確認(rèn)關(guān)機(jī)狀態(tài)。 90分鐘后真空系統(tǒng)各閥門及機(jī)械泵，羅茲泵，擴(kuò)散泵等將自動(dòng)關(guān)閉。 ? 關(guān)閉 XTC/。 ? 按控制面板上“ MAIN POWER‖的“ OFF‖按鈕。 ? 打開控制柜，先關(guān)閉 UPS電源，再關(guān)閉控制柜總電源。 ? 關(guān)閉氣動(dòng)氣源閥門。 ? 先關(guān)閉冷水機(jī)的泵和壓縮機(jī)，再關(guān)閉冷水機(jī)電源。 ? 關(guān)閉配電箱，外部循環(huán)水。 ZZS1300型鍍膜機(jī)（南光） 作業(yè)手順書 ? 一、開機(jī) 打開總電源。 打開進(jìn)水閥。 打開進(jìn)氣閥門（進(jìn)水閥旁）。 打開電控柜上方進(jìn)氣閥門。 確定已有外部循環(huán)水，打開冷水機(jī)水泵開關(guān)（既電源開關(guān)）。 再開冷水機(jī)壓縮機(jī)開關(guān)。 打開電控柜內(nèi)電源開關(guān)。 將電控柜面板處晶控儀打開。 檢查水、電、氣是否就緒，然后將電控柜下方機(jī)組狀態(tài)旋鈕旋為自動(dòng)，按綠色“開機(jī)”按鈕，機(jī)組維持泵、擴(kuò)散泵加熱器、維持泵相繼打開，機(jī)組開始加熱，加熱 80分鐘后，機(jī)組可正常工作。 按綠色“取件”按鈕，三聲警報(bào)后，充氣閥打開，對機(jī)組充氣，幾分鐘后，真空室門開。 ? 二、鍍膜 用銅絲刷、三角刮刀、吸塵器對坩堝及坩堝周圍進(jìn)行打掃，將電 子槍擋板送噴砂處理。護(hù)板等更換見 《 護(hù)板更換周期管理 》 。 將坩堝襯套作噴砂處理后，用吸塵器將附著砂粒吸掉，并用酒精擦拭，加鍍制零件所需膜料，并將襯套放入所對應(yīng)坩堝位置。 查看電控柜上 MDC360晶控儀上晶片壽命值，若晶片壽命 〈 97，則更換晶片。 確定上述操作無誤后，雙手提傘片把手，將備好零件放于真空室旋轉(zhuǎn)架上，并檢查傘片是否放到位，有無變形，所對應(yīng)比較片是否安放。 上述過程完成后，關(guān)真空室門，確定電控柜上“室門”指示燈點(diǎn)亮后，說明真空室門已關(guān)閉。 按綠色“取件”按鈕，充氣閥關(guān)閉，按綠色“真空”按鈕，機(jī)組開始抽真空。 將旋轉(zhuǎn)架旋轉(zhuǎn)打到 7轉(zhuǎn) /分。 抽真空過程中，記錄機(jī)組各數(shù)據(jù)表。 真空到 *103PA后，可對膜料進(jìn)行手動(dòng)預(yù)熔。