精密制造基礎(chǔ)-光學(xué)測(cè)量技術(shù)-文庫(kù)吧
2025-04-24 23:00 本頁(yè)面
【正文】 紋 距 B 與光柵節(jié)距 w和傾角 θ之間 的關(guān)系 ： 光柵橫向移動(dòng)一個(gè)節(jié)距 w ，莫爾條紋正好沿刻線(xiàn)上下移動(dòng)一個(gè)節(jié)距 B，用光電元件檢測(cè)莫爾條紋信號(hào)的變化就可以測(cè)量光柵的位移。 例： 當(dāng) w = ， θ= red， 則 B = 1mm，將柵距放大 100倍的莫爾條紋寬度。 由于 θ很小，因此 2 2sin / q w = B q w ? B 光柵尺基本原理 光柵尺橫向莫爾條紋及其參數(shù) 2 2sin / q w = B B 2B 光柵尺基本原理 ? 均化誤差作用 莫爾條紋是由光柵的大量刻線(xiàn)共同形成的，柵距之間的相鄰誤差被均化。短光柵的工作長(zhǎng)度愈長(zhǎng) ,這一均化誤差的作用愈顯著。 ? 根據(jù)莫爾條紋的移動(dòng) 與柵距移動(dòng)的對(duì)應(yīng)關(guān)系 逆時(shí)針?lè)较? 選擇 (＋ θ ) 順時(shí)針?lè)较? 選擇 (－ θ ) 左 下 上 右 上 下 光柵移 動(dòng)方向 莫爾條紋 移動(dòng)方向
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