無(wú)塵室管理要點(diǎn)-文庫(kù)吧
2025-08-06 13:22 本頁(yè)面
【正文】 （ 3）管理 裝在 HEPA 或 ULPA FILTER 前之預(yù)慮網(wǎng)，每個(gè)用 1次或 1次以 上做檢查，污染很 厲害者用水洗（水洗式）或更換。纖維質(zhì)慮網(wǎng)如有破損者應(yīng)換新。 (FINAL FILTER) （ 1）目的 按無(wú)塵室清淨(jìng)度條件之要求過(guò)慮 181。m以上或 。 （ 2）選用 按使用目的考慮粒徑 (PARTICLE SIZE)無(wú)塵室清淨(jìng)度 、 維護(hù)管理 、 壓力損失等各 條件選定 HEPA FILTER 或 ULPA FILTER。 （ 3）管理 依照 （風(fēng)速）規(guī)定測(cè)量風(fēng)速時(shí)檢查有無(wú)風(fēng)速減少 、 風(fēng)車(chē)皮帶鬆弛 、 送風(fēng)機(jī) 系統(tǒng)或終端 FILTER 裝配迫緊（ PACKING）之鬆弛 、 過(guò)慮網(wǎng)阻塞，查其原因並 調(diào)整之。 填墊材料或封漏材料老化時(shí)會(huì)產(chǎn)生空氣洩漏，故要做定時(shí)檢查及查漏 工作。 依據(jù)（ 7）方法做終端過(guò)慮網(wǎng)之查漏試驗(yàn)發(fā)現(xiàn)有漏時(shí)應(yīng)鎖緊螺絲或換新填料，確 定無(wú)漏為止。 裝設(shè)過(guò)慮網(wǎng)後每年最少 2次檢查 FILTER 本體週邊有無(wú)漏出污染空氣。 發(fā)現(xiàn)阻塞很厲害之 ULPA 或 HEPA FILTER 應(yīng)立即更換。 空氣洗塵室（ AIR SHOWER） 5 作業(yè)人員或物品要進(jìn)入無(wú)塵室以前先以過(guò) HEPA FILTER 之高速清淨(jìng)空氣將附著於人 體，衣服或物品表面之污物吹落並吸收之設(shè)備。 空氣洗塵室進(jìn)口及出口之間不能同時(shí)開(kāi)啟，同時(shí)規(guī)定時(shí)間之空氣吹出未完前通往無(wú) 塵室之門(mén)不能開(kāi)啟，也就是門(mén)之開(kāi)閉要自動(dòng)式或電磁 LOCK 式。但逢到臨時(shí)緊急情 況時(shí)也能隨意打開(kāi)者。 根據(jù)對(duì)人及對(duì)物之各別用途或每次使用之人數(shù)而決定採(cǎi)用之大小或型式，也應(yīng)考慮 到預(yù)備室（前室）與無(wú)塵室之配列選用直進(jìn)型或 L 型。 遵照廠商供給之使用手冊(cè)（ MANUAL）做維修工作，惟吹出口，內(nèi)壁及底板須每天 清掃一次。至於吹出風(fēng)速及空氣清淨(jìng)度監(jiān)視工作要依照 （無(wú)塵室監(jiān)視工作）項(xiàng)之 規(guī)定實(shí)施。 傳遞箱（ PASS BOX） 當(dāng)物品（含材料 、 產(chǎn)品或半製品）進(jìn)入無(wú)塵室及防止因規(guī)定風(fēng)量以上之流失而形成無(wú)塵室內(nèi)壓之降下之裝置。 PASS BOX 進(jìn)出口門(mén)不可同時(shí)開(kāi)啓，應(yīng)裝有連鎖裝置（ INTERLOCK STSTEM）。底 板須有耐磨性且平滑而不產(chǎn)生塵粒為原則。 開(kāi)閉很頻繁時(shí)應(yīng)裝設(shè)附 HEPA FILTER 之空氣門(mén)（ AIR CURTAIN）以防 止外氣之侵入， 同時(shí)限制無(wú)塵室內(nèi)清淨(jìng)空氣之流出外面。 PASS BOX 內(nèi)部應(yīng)在每天開(kāi)工前依照規(guī)定之方法擦拭清潔。 真空吸塵器 吸取無(wú)塵室內(nèi)地板 、 設(shè)備上附著之塵?；蛞后w以防止這些塵粒之再飛散以達(dá)到清潔目的之 6 裝置。 不可擾亂室內(nèi)氣流很厲者。 移動(dòng)式真空吸塵器須內(nèi)藏 HDPA FILTER 且乾濕兩用者，並自身不會(huì)產(chǎn)牛塵粒。 無(wú)塵室用真空吸塵器應(yīng)為無(wú)塵室內(nèi)專(zhuān)用者，不可在無(wú)塵室使用，不用時(shí)塵於置在次級(jí)無(wú)塵 室中，每次使用後應(yīng)清掃吸管等吸氣系統(tǒng)。 氣闡（緩衝室）（ AIR LOCK）（作業(yè)人員之退出用） 1 .目的 AIR LOCK 是作業(yè)人員退出無(wú)塵室時(shí)使用，目的是防止一定量之空氣流出外面。 2 .選用 AIR LOCK 之清淨(jìng)度及氣壓比無(wú)塵室低但比鄰接之房間高為原則。 無(wú)塵室之間最好是採(cǎi)用密閉型及自動(dòng)開(kāi)閉式。入口及出口門(mén)應(yīng)裝連鎖裝置（ INTERLOCK） 防止同時(shí)開(kāi)，或裝指示燈，可以顯示出口門(mén)開(kāi)著。 3 .管理 AIR LOCK 內(nèi)不可放置任何物品。 應(yīng)按照規(guī)定之方法做定期清潔。依據(jù) （無(wú)塵室內(nèi)監(jiān)視方法）之規(guī)定定期測(cè)試室內(nèi)壓力 及塵埃濃定。 預(yù)備定（ AIR LOCK）（物品搬入及搬出用） ※ AIR LOCK：氣壓平衡阻隔室。 不能通過(guò)傳遞箱（ PASS BOX）之較大物品，甚至出入時(shí)不可使無(wú)塵室之氣壓下降，或由於流失之空氣量太大以致無(wú)塵室內(nèi)之清淨(jìng)度降低，或擾亂正常氣流，此 AIR LOCK 有緩衝之用。 入口及出口門(mén)應(yīng)裝連鎖裝置（ inter lock）防止兩個(gè)門(mén)同時(shí)開(kāi)，或裝指示燈可顯示出口門(mén)是開(kāi)著之狀態(tài)。 7 若要搬入相當(dāng)大之物品時(shí)須隨時(shí)可以監(jiān)視
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