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2025-06-20 03:30本頁面
【正文】 電子光學表面分析方法 在納米測量中的應用 電子光學表面分析方法可對表面（及表面區(qū)域）進行化學成份、元素分布、化學吸附的分析； 可對該區(qū)進行顯微組織分析； 可進行表面區(qū)電子結構（包括表面能級、能帶、空間電荷等）的分析。 一、概述 特點 原因： 用油擴散泵抽真空、橡膠圈密封時，最高的真空度可達 104Pa。 納 米 科 技 第二節(jié) 電子光學表面分析方法 在納米測量中的應用 上述表面分析方法的共同特點就是要求被測樣品表面異常清潔，測試必須處于超高真空中。 納 米 科 技 第二節(jié) 電子光學表面分析方法 在納米測量中的應用 上述表面分析方法的共同特點就是要求被測樣品表面異常清潔，測試必須處于超高真空中。 納 米 科 技 第二節(jié) 電子光學表面分析方法 在納米測量中的應用 二、低能電子衍射（ LEED） 初級電子由電子槍及電子聚焦裝置 ， 入射到樣品表面 ， 經散射后可由法拉第圓筒直接測量衍射電子束強度或讓它打到熒光屏上 ， 使熒光屏發(fā)光 ， 然后再用光度計或攝像管測量光強 。 。 測試原理 納 米 科 技 第二節(jié) 電子光學表面分析方法 在納米測量中的應用 二、低能電子衍射（ LEED） 在納米測量中的應用 納米晶薄膜的結構分析； 研究表面膜的生長過程 ， 可以探索納米薄膜與基底結構 ， 缺陷和雜質的關系； 可探索氧化膜的形成 ， 物理吸附 、 化學吸附的基本特點 ， 特別是在催化過程中的納米薄膜的狀況 。 納 米 科 技 第二節(jié) 電子光學表面分析方法 在納米測量中的應用 三、電子顯微鏡和電子探針 電子探針束流為1011～ 1013A時，最小直徑可達 6～7nm，甚至達 ～。 納 米 科 技 第二節(jié) 電子光學表面分析方法 在納米測量中的應用 三、電子顯微鏡和電子探針 X射線顯微分析儀是目前比較理想的微區(qū)化學成分分析手段。X射線的波長和強度將是表征該微區(qū)內所含元素及濃度的重要信息。 X射線顯微分析儀 納 米 科 技 第二節(jié) 電子光學表面分析方法 在納米測量中的應用 三、電子顯微鏡
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