單晶爐的機(jī)械結(jié)構(gòu)與維修研討-展示頁(yè)
2025-01-07 07:09本頁(yè)面
【正文】 加熱器籽晶CCD坩堝提升旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)坩堝? 抽真空? 檢漏? 調(diào)壓? 熔料? 穩(wěn)定? 熔接? 引晶? 放肩? 轉(zhuǎn)肩? 等徑? 收尾? 停爐? 氧化籽晶提升旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)單晶棒液面測(cè)溫儀熱場(chǎng)測(cè)溫儀氬氣流量熔 料引 晶放 肩等 晶收 尾TDR85AZJS全自動(dòng) 晶體生長(zhǎng)爐整體結(jié)構(gòu)尺寸爐體電控柜電源柜總重整體結(jié)構(gòu)尺寸接口尺寸? 籽晶提升機(jī)構(gòu)經(jīng)過(guò)靜平衡和動(dòng)平衡測(cè)試? 帶稱(chēng)重傳感器? 快慢速雙電機(jī)? 外置限位調(diào)節(jié)? 觀測(cè)玻璃窗? 光電編碼計(jì)行程晶體提升機(jī)構(gòu)晶體提升機(jī)構(gòu)晶體提升機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)（主視）晶體提升機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)（俯視）晶體提升腔拆裝及調(diào)整拔下稱(chēng)重傳感器腔上的航空插頭。TDR85AZJS單晶爐的機(jī)械 結(jié)構(gòu)與維修背景 — 半導(dǎo)體生產(chǎn)流程拉制單晶棒（本產(chǎn)品研究環(huán)節(jié)）石英砂－金屬硅 多晶 單晶硅棒 單晶硅片 集成電路 太陽(yáng)能電池 太陽(yáng)能電池應(yīng)用 集成電路應(yīng)用 設(shè) 備 簡(jiǎn) 介 直拉式單晶硅生長(zhǎng)爐是一種高效率制備硅單晶體的設(shè)備。 將多晶硅原料放在爐體的石英坩堝內(nèi)進(jìn)行 高溫熔化（大于 1450℃ ） ，在 低真空度 和 氬氣保護(hù) 下，通過(guò)籽晶插入多晶硅熔體后，在籽晶周?chē)纬蛇^(guò)冷態(tài)并進(jìn)行有規(guī)律結(jié)晶生長(zhǎng)，形成一根單晶棒體。、拔下稱(chēng)重傳感器腔上的航空插頭。、從鋼絲繩上取下籽晶夾頭。鋼絲繩。小心不要把聯(lián)軸器上的釘，將其向外滑出。十字塊跌落。顆固定螺釘，卸下同步帶。螺釘是從底板下面向上旋進(jìn)的。螺釘是從底板下面向上旋進(jìn)的。和軸。顆鉸鏈螺釘，使稱(chēng)重腔與提升腔脫離。11拆下提升腔左端蓋的蓋板，用銅棒敲擊花鍵軸，將 其向右端推出，同時(shí)順時(shí)針旋轉(zhuǎn)花鍵軸使得纜索管從銅螺母的螺紋上脫開(kāi)，將花鍵軸、纜索管、右端蓋以及晶轉(zhuǎn)磁流體密封作為一個(gè)整體從提升腔內(nèi)抽出。13 松開(kāi)并取下把花鍵軸滑套固定到纜索管上的 4顆螺釘。14 將纜索管從花鍵滑套上拉出，小心，不要把滑套拉出花鍵軸，否則，滾珠將會(huì)從滾槽中掉下來(lái)。一起從提升腔內(nèi)抽出。母。顆螺釘。、將右端蓋裝回提升腔，上緊固定螺釘。、將纜索管裝入花鍵滑套，上緊固定螺釘。、裝回花鍵軸左端的滾動(dòng)軸承。固定螺釘。、裝回提升腔左端蓋的蓋板，擰緊固定螺釘。顆螺釘。左端蓋及銅螺母對(duì)中針纜索管的對(duì)中晶體提升腔拆裝及調(diào)整2提升腔垂直向下放到底板上，小心不要破壞提升腔的內(nèi)孔以及晶
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