ebsd及其在材料科學(xué)領(lǐng)域中的應(yīng)用-展示頁
2025-05-22 22:06本頁面
【正文】 ey同樣利用透射電鏡，用膠片記錄了解理LiF，KI，NaCl，PbS2晶體的大角度菊池花樣，這是第一次嚴(yán)格意義上的電子背散射衍射。20世紀(jì)80年代后期，Dingley使用熒光屏和電視相機(jī)接收與采集電子背散射衍射花樣。隨著數(shù)碼相機(jī)、計(jì)算機(jī)和軟件的快速發(fā)展，現(xiàn)在的商品EBSD實(shí)現(xiàn)了從花樣的接收、采集到標(biāo)定完全自動化[1]。2 EBSD分析技術(shù)的基本原理入射電子束進(jìn)入樣品，由于非彈性散射，使之在入射點(diǎn)附近發(fā)散，成為一點(diǎn)源。因此，電子的波長可以認(rèn)為基本不變。 電子背散射衍射束形成半頂角的兩個(gè)對定衍射圓錐。由于角很小，這兩只雙曲線接近為一對平行圖1 EBSP形成機(jī)制示意圖直線，這就是Kikuchi線對。 電子背散射衍射花樣（EBSP）是由一系列按特定晶體的晶帶規(guī)律分布的Kikuchi線對所組成；每一Kikuchi線對的中心線相當(dāng)于所屬晶面與成像平面相交的軌跡；如果有Kikuchi線對的中心線共同相交于一點(diǎn)，則這個(gè)亮帶所屬的晶面屬于同一晶帶，相應(yīng)的交點(diǎn)是此晶帶軸與成像平面的交點(diǎn)[4]。相對于入射電子束，樣品被高角度傾斜，以便背散射（即衍射）的信號，即EBSD花樣被充分強(qiáng)化到能被熒光屏接收（在顯微鏡樣品室內(nèi)），熒光屏與一個(gè)CCD相機(jī)相連， EBSD花樣能直接或經(jīng)放大儲存圖象后在熒光屏上觀察到。目前最快的EBSD系統(tǒng)每一秒鐘可進(jìn)行近一百個(gè)點(diǎn)的測量[5]。圖2是EBSD探頭和EDX探頭同時(shí)安裝在SEM上的一個(gè)實(shí)例。 一般進(jìn)行取向成像時(shí)每秒可測34個(gè)取向。3 EBSD技術(shù)在材料領(lǐng)域中的應(yīng)用由于EBSD分析技術(shù)的選區(qū)尺寸可以小到0．5μm，因此，它特別適宜于進(jìn)行微區(qū)的結(jié)晶取向分析。就很容易表示出被分析晶體的取向關(guān)系?；贓BSD自動快速的取向測量，EBSD可進(jìn)行微織構(gòu)分析，從而了解這些取向在顯微組織中的分布情況。 圖3無取向硅鋼樣品的取向成像圖 圖4無取向硅鋼Goss織構(gòu)的分布 相鑒定 目前，EBSD可以對七大晶系任意對稱性的樣品進(jìn)
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