電鏡第二期理論知識(shí)培訓(xùn)-展示頁(yè)
2025-01-22 04:18本頁(yè)面
【正文】 子 電 子束感生 電 流 二次 電 子探 頭 ~10nm (二次 電 子激 發(fā) 深度 ) 散射 電 子 特征 X射 線 2/10/2022 信號(hào)收集及顯示系統(tǒng) 2/10/2022 SEM中的三種主要信號(hào) ? 二次電子： 二次電子一般都在表層 510nm深度范圍內(nèi)發(fā)射出來(lái)，它對(duì)樣品的表面形貌十分敏感，因此能非常有效的顯示樣品表面形貌。 信號(hào)強(qiáng)度隨樣品表面特征而變。 掃描電鏡 scanning electron microscope ， SEM 第二期理論知識(shí)培訓(xùn) 2022年 11月 21日 培訓(xùn)概況 培訓(xùn)內(nèi)容 疑難問(wèn)題解答 3 培訓(xùn)概況 培訓(xùn)時(shí)間： 2022年 11月 21日～ 30日； 培訓(xùn)地點(diǎn)： 湖北工業(yè)大學(xué)分析測(cè)試中心電鏡室； 培訓(xùn)方式： 一、掃描電鏡理論知識(shí)培訓(xùn) 二、掃描電鏡操作培訓(xùn) 三、能譜理論知識(shí)及操作培訓(xùn) 四、上機(jī)培訓(xùn) 2/10/2022 理論知識(shí)培訓(xùn)內(nèi)容 ?掃描電鏡工作原理 ?掃描電鏡構(gòu)造 ?掃描電鏡主要性能指標(biāo) ?樣品的制備 ?使用技巧及注意問(wèn)題 2/10/2022 一、掃描電鏡工作原理 掃描電鏡的成像原理和光學(xué)顯微鏡大不相同，它不用光學(xué)透鏡來(lái)進(jìn)行放大成像，而是用鎢燈絲產(chǎn)生高速電子束擊打樣品表面激發(fā)出各種信號(hào)，由激發(fā)的信號(hào)轉(zhuǎn)化成襯度不同的圖像來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的觀察。 2/10/2022 掃描電鏡工作原理 電子槍發(fā)射的電子束 經(jīng)過(guò) 3個(gè)電磁透鏡聚焦 在樣品表面按順序逐行 掃描，激發(fā)樣品產(chǎn)生各種物理信號(hào) :二次電子、背散射電子、特征 X射線等。它們分別被相應(yīng)的收集器接受，經(jīng)放大器按順序、成比例地放大后，送到顯像管 。 ? 背散射電子： 來(lái)自樣品表面幾百納米的深度范圍，由于它的產(chǎn)額能隨樣品原子序數(shù)增大而增多，所以可以用來(lái)顯示原子序數(shù)襯度，定性地用作成分分析，即 BSD探頭收集信號(hào)進(jìn)行分析。不同元素的特征 X射線也不同，每種特征 X射線的波長(zhǎng)、能量都各不相同，用來(lái)收集特征 X射線、并根據(jù)測(cè)定特征波長(zhǎng)來(lái)分辨元素的譜儀叫波譜儀（ WDS），根據(jù)測(cè)定特征能量來(lái)分辨元素的譜儀叫能譜儀（ EDS）。 因?yàn)殡S著 θ角增大，入射電子束作用體積更靠近表面層，作用體積內(nèi)產(chǎn)生的大量自由電子
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