薄膜厚度的監(jiān)控ppt課件-文庫(kù)吧資料
2025-05-09 05:21本頁(yè)面
【正文】 品進(jìn)行控制，不換控制片；另一種是間接控制，即控制是在一系列的控制片上進(jìn)行的；第三種是半直接控制，它是在鍍有預(yù)鍍層的控制片上直接監(jiān)控所有膜層。這樣可以減小較寬范圍內(nèi)的雜散光，盡可能限制射入探測(cè)器的總光量，否則沒(méi)有調(diào)制的輻射光線可能把探測(cè)器推入非線性區(qū)域工作。 13 典型裝置： 右圖是利用極值法監(jiān)控沉積薄膜厚度的裝置 為了改善信噪比，讓光學(xué)在進(jìn)入通光窗口前進(jìn)行調(diào)制，這樣可以避免在蒸發(fā)過(guò)程中加熱蒸發(fā)舟所產(chǎn)生的大量光學(xué)干擾，更主要的是經(jīng)過(guò)濾波還可降低電噪聲水平。 在光路中設(shè)置一個(gè)單色儀或窄帶干涉濾光片，測(cè)量薄膜的透射率或反射率隨薄膜沉積厚度的變化而變化；利用沉積過(guò)程中出現(xiàn)極值點(diǎn)的次數(shù)來(lái)控制四分之一波長(zhǎng)整數(shù)倍膜層的方法稱為極值法?？墒?，同一膜層在不同的角度下觀察的干涉色是不同的，如果我們使傾斜觀察時(shí)的干涉色恰好符合要求，則垂直觀察時(shí)膜就要偏厚了，所以實(shí)際中根據(jù)角度需要進(jìn)行修正。因?yàn)閱螌幽ぃㄌ貏e是減反射膜）的透射背景太亮，會(huì)淹沒(méi)干涉色的變化，所以必須采用反射光觀察。這種方法在傳統(tǒng)的鍍膜工藝中是最常用的。 對(duì)于 n1n2n0的情況，當(dāng)光學(xué)厚度 n1d1為四分之一波長(zhǎng)厚度時(shí)（光程差為 2nd以及有半波損失），反射有極大值。 特點(diǎn)： 可預(yù)先輸入儲(chǔ)存多組鍍膜參數(shù)，便于操作者讀取應(yīng)用 搭配感測(cè)頭選擇器使用，可同時(shí)監(jiān)測(cè) 4～ 8個(gè)感測(cè)點(diǎn)的鍍膜速率及膜厚 內(nèi)設(shè) RS232電腦接口，可與計(jì)算機(jī)通信工作 配備 Bipolar高清晰度類比信號(hào)輸出端子，可連接記錄儀使用 STM100/MF膜厚監(jiān)控器 Sycon instruments pany 9 STC200/SQ 膜厚控制器 用途：除精確的沉積速率和膜厚顯示外，并可以回傳信號(hào)到電子槍電源供應(yīng)器或蒸發(fā)源，實(shí)現(xiàn)閉回路的自動(dòng)鍍膜速率及膜厚控制 特點(diǎn)： 操作簡(jiǎn)單，可單鍵完成 Singlayer鍍膜程序 配合外部界面與 PLC/PC連線，可達(dá)到全自動(dòng) Multilayer鍍膜程序 內(nèi)設(shè) RS232計(jì)算機(jī)接口，可以與電腦連線工作 配備 Bipolar高清晰度信號(hào)輸出端子，可連接記錄儀使用 內(nèi)建程序記錄器，可提供前次操作數(shù)據(jù)，便于查詢修正 全功能顯示器，監(jiān)控鍍膜中各項(xiàng)數(shù)據(jù)變化，隨時(shí)掌握沉積速率、厚度、輸出功率及時(shí)間變化，并有同步曲線圖顯示動(dòng)態(tài)流程 10 四、目視法 最早的光學(xué)控制方法是利用眼睛作為接收器，目視觀察薄膜干涉色的變化來(lái)控制介質(zhì)膜的厚度。校正的方法是先鍍一層厚度較厚的薄膜，通過(guò)一定的方法（ 請(qǐng)問(wèn)可以用那些方法可以測(cè)量薄膜的厚度？ ）測(cè)出該膜層的厚度，然后與晶體振蕩器測(cè)量的值進(jìn)行比較修正。另外它也不同于光學(xué)極值法和波長(zhǎng)調(diào)制法，具有厚度自動(dòng)補(bǔ)償機(jī)理。 7 石英晶體監(jiān)控有三個(gè)非常實(shí)際的優(yōu)點(diǎn)： 1是裝置簡(jiǎn)單，沒(méi)有通光孔的窗口，沒(méi)有
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