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多晶硅業(yè)安全技術(shù)ppt課件-文庫吧資料

2025-01-23 07:38本頁面
  

【正文】 能達(dá)10000噸以上,其中江西盛豐新能源科技有限公司產(chǎn)能最大,2009年達(dá)到1500噸,2022年可達(dá)3000噸,預(yù)計2022年項目計劃工程完成后,產(chǎn)能將穩(wěn)定在4000噸以上。規(guī)劃中提到,力爭到 2022年將江西打造成為全球重要的光伏產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)基地。另外該省生產(chǎn)的多晶硅片已占全球總產(chǎn)量的四分之一,龍頭企業(yè)賽維 2022年的產(chǎn)能超過 1400MW。以新余為主產(chǎn)地、以賽維 LDK和盛豐能源為核心企業(yè)的產(chǎn)業(yè)帶具有較強(qiáng)的生產(chǎn)能力,初步建立了從硅料、硅片到太陽能電池組件及配套產(chǎn)品的完整產(chǎn)業(yè)鏈,擁有了對外合作的有效途徑和一批關(guān)鍵人才,在國內(nèi)已具有較明顯的規(guī)模優(yōu)勢和市場競爭力。 江西省抓住機(jī)遇,憑借粉石英(硅材料主要原料)儲量全國第一的資源優(yōu)勢,出臺多方面措施保障光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展。 : 目前國內(nèi)的幾家多晶硅生產(chǎn)單位的擴(kuò)產(chǎn)都是采用改良西門子工藝技術(shù)。在 2022年后多晶硅擴(kuò)產(chǎn)中仍采用改良西門子工藝。 四、多晶硅生產(chǎn)工藝的發(fā)展 : ?研發(fā)的新工藝幾乎全是以滿足太陽能產(chǎn)業(yè)所需要的太陽能級多晶硅; ?研發(fā)的新工藝主要集中體現(xiàn)在多晶硅生成反應(yīng)器裝置上,多晶硅生成反應(yīng)器是復(fù)雜的多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)中的一個提高產(chǎn)能、降低能耗的關(guān)鍵裝置; ?研發(fā)的流化床反應(yīng)器( FBR)粒狀多晶硅生成的工藝技術(shù)將是生產(chǎn)太陽能級多晶硅首選的工藝技術(shù)。 ⑴ 冶金法生產(chǎn)太陽能級多晶硅 主要工藝是:選擇純度較高的工業(yè)硅(即冶金硅)進(jìn)行水平區(qū)熔單向凝固成硅錠,去除硅錠中金屬雜質(zhì)聚集的部分和外表部分后,進(jìn)行粗粉碎與清洗,在等離子體融解爐中去除硼雜質(zhì),再進(jìn)行第二次水平區(qū)熔單向凝固成硅錠,去除第二次熔硅錠中金屬雜質(zhì)聚集的部分和外表部分,經(jīng)粗粉碎與清洗后,在電子束融解爐中除磷和碳雜質(zhì),直接生成太陽級多晶硅。目前世界上只有美國 MEMC公司采用此法生產(chǎn)粒狀多晶硅。其次是產(chǎn)品純度不高,但基本能滿足太陽能電池生產(chǎn)的使用。因此業(yè)界普遍看好流化床技術(shù),被認(rèn)為是最有希望大幅度降低多晶硅以及單晶硅成本的新技術(shù),目前包括美國 REC德國 WACKER等傳統(tǒng)多晶硅大廠目前都在開發(fā)這項技術(shù)。 另外這種技術(shù)產(chǎn)品為粒狀多晶硅,可以在直拉單晶爐采用連續(xù)加料系統(tǒng),降低單晶硅成本,提高產(chǎn)量。硅烷流化床技術(shù)具有反應(yīng)溫度低( 575~685176。目前該公司生產(chǎn)能力為 1400噸 /年。 MEMC公司則計劃在 2022年底其產(chǎn)能達(dá)到7000t左右。該工藝基于流化床技術(shù)(以三氯硅烷為給料),已在兩臺實驗反應(yīng)堆中進(jìn)行了工業(yè)化規(guī)模生產(chǎn)試驗,瓦克公司最近投資了約 2億歐元,在德國博格豪森建立新的超純太陽能多晶硅工廠,年生產(chǎn)能力為 2500t,加上其它擴(kuò)建措施,新工廠的投產(chǎn)將使瓦克公司在2022年達(dá)到 9000t的年生產(chǎn)能力,最終于2022年達(dá)到 11 500t的產(chǎn)能。 REC還積極致力于新型流化床反應(yīng)器技術(shù)( FBR)的開發(fā),該技術(shù)使多晶硅在流化床反應(yīng)器中沉積,而不是在傳統(tǒng)的熱解沉積爐或西門子反應(yīng)器中沉積,因而可極大地降低建廠投資和生產(chǎn)能耗。該公司利用硅烷氣為原料,采用流化床反應(yīng)爐閉環(huán)工藝分解出顆粒狀多晶硅,且基本上不產(chǎn)生副產(chǎn)品和廢棄物。 目前采用該方法生產(chǎn)顆粒狀多晶硅的公司主要有:挪威可再生能源公司( REC)、德國瓦克公司( Wacker)、美國HemLock和 M E M C 公司等。不過,它還是基本能滿足太陽能電池生產(chǎn)的使用。由于在流化床反應(yīng)爐內(nèi)參與反應(yīng)的硅表面積大,故該方法生產(chǎn)效率高、電耗低、成本低。該方法是以 SiCl H HCl和工業(yè)硅為原料,在高溫高壓流化床內(nèi)(沸騰床)生成 SiHCl3,將SiHCl3再進(jìn)一步歧化加氫反應(yīng)生成 SiH2Cl2,繼而生成硅烷氣。因為在流化床反應(yīng)爐內(nèi)參與反應(yīng)的硅表面積大,生產(chǎn)效率高,電耗低、成本低,適應(yīng)于大規(guī)模生產(chǎn)太陽能級多晶硅。無論采用何種方法來制備硅烷氣體, 以四氯化硅、氫氣、氯化氫和工業(yè)硅為原料在流化床內(nèi)(沸騰床)高溫高壓下生成三氯氫硅,將三氯氫硅再進(jìn)一步歧化加氫反應(yīng)生產(chǎn)二氯二氫硅,繼而生產(chǎn)硅烷氣。該方法已經(jīng)實現(xiàn)千噸級規(guī)模生產(chǎn)水平。要實現(xiàn)液氨循環(huán)利用,必須實現(xiàn)從六氨氯化鎂絡(luò)合物中的氨分離出來,實現(xiàn)氨的循環(huán)利用; 2) 傳統(tǒng)的小松法制備硅烷氣體采用的是批次式反應(yīng),要實現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn),該反應(yīng)需要改成連續(xù)式反應(yīng),否則很難實現(xiàn)規(guī)?;a(chǎn); 3) 該工藝中氨的循環(huán)量很大,需要補(bǔ)充大量的冷量,如何實現(xiàn)冷量和熱量的充分利用來降低能耗過高的問題需要做進(jìn)一步改進(jìn)。硅鎂合金法工藝到目前為止還沒有用于大規(guī)模多晶硅生產(chǎn)線。 第二步反應(yīng)在低溫液氨下進(jìn)行,其中生產(chǎn)的氯化鎂在液氨環(huán)境下與液氨絡(luò)合成六氨氯化鎂。小松法制備硅烷工藝 *內(nèi)歷史上研究最多的工藝路線,實現(xiàn)過年產(chǎn) 5 噸規(guī)模的試驗性的生產(chǎn)裝置線。 ⑵ 硅鎂合金法工藝 硅鎂合金制備硅烷氣體工藝也稱小松法工藝。以上反應(yīng)中使用的四氟化硅氣體利用化肥企業(yè)的副產(chǎn)物氟硅酸制得或用其它方法制得。硅烷氣體是一種易燃易爆的氣體,對系統(tǒng)的氣密性要求比三氯氫硅法高,所以系統(tǒng)的硬件建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)比三氯氫硅法要高,在硬件過硬的基礎(chǔ)上加強(qiáng)安全生產(chǎn)管理,以免硅烷氣體的泄露造成燃燒、爆炸事故的發(fā)生。由于硅烷法工藝流程比三氯氫硅法簡單,因此硅燒法工藝的占地面積比三氯氫硅法小,屬于土地集約化多晶硅工藝;硅烷法多晶硅中產(chǎn)生的硅粉可以用于澆鑄法多晶硅片產(chǎn)品中,解決了硅粉的利用問題。硅烷氣體的制備硅烷法多晶硅的生產(chǎn)離不開硅烷氣體。因為硅皖氣體沒有腐蝕性而三氯氫硅。硅烷法工藝的副產(chǎn)物對環(huán)境不會造成大的危害,屬于環(huán)境友好型多晶硅工藝 。國際上作為在三氯氫硅法規(guī)?;a(chǎn)多晶硅 20 年后開發(fā)的新一代多晶硅生產(chǎn)工藝的硅烷法多晶硅工藝,其主要目的是降低多晶硅的生產(chǎn)能耗和成本,而且硅烷氣體本身又是集成電路產(chǎn)業(yè)、光伏產(chǎn)業(yè)和 TIT 液晶顯示器產(chǎn)業(yè)必不可少的特種氣體, 一條生產(chǎn)線兼顧了多晶硅和硅烷特氣兩大產(chǎn)品。 2022 年之前用該法生產(chǎn)的多晶硅占全球總產(chǎn)量的 20%左右。以前只有日本小松掌握此技術(shù),由于發(fā)生過嚴(yán)重的爆炸事故后,沒有繼續(xù)擴(kuò)大生產(chǎn)。 —— 硅烷熱分解法 硅烷 (siH4)是以四氯化硅氫化法、硅合金分解法、氫化物還原法、硅的直接氫化法等方法制取。在西門子法工藝的基礎(chǔ)上,通過增加還原尾氣干法回收系統(tǒng),四氯化硅氫化工藝,實現(xiàn)了閉路循環(huán)。 ? 主要化學(xué)反應(yīng)主要包括以下 2個步驟: 三氯氫硅( )的合成; 高純硅料的生產(chǎn): 32 3iiS H C I H S H C I? ? ?323iiS H C I S H C I H? ? ?3iS HCI? 得到高產(chǎn)率和高純度三氯氫硅( )的 3個嚴(yán)格的化學(xué)反應(yīng)條件: 反應(yīng)溫度在 300℃ 400℃ 之間; 氯化氫氣體( HCI)必須是干燥無水的; 工業(yè)硅須經(jīng)過破碎和研磨,達(dá)到適合的粒徑。目前,在工業(yè)中廣泛應(yīng)用的技術(shù)主要有: 三氯氫硅氫還原法 (西門子法) 硅烷熱分解法 四氯化硅氫還原法 經(jīng)過化學(xué)提純得到的高純多晶硅的基硼濃度應(yīng)小于,基磷濃度小于 ,碳濃度小于 ,金屬雜質(zhì)濃度小于。 3 中間化合物被還原或被分解成高純硅。 硅的化學(xué)提純主要包括三個步驟 : 1 中間化合物的形成。到目前為止,都是利用 化學(xué)提純技術(shù), 將冶金級硅( 95%— 99%)進(jìn)一步提純,得到高純多晶硅。 國內(nèi)外現(xiàn)有的多晶硅廠絕大部分采用此法生產(chǎn)電子級與太陽能級多晶硅。 滅火方法: 霧狀水 、砂土、二氧化碳滅火器。 食入:應(yīng)盡快用蛋白質(zhì)之類的東西清洗干凈口中 毒物 ,如牛奶、酸奶等奶質(zhì)物品。必要時進(jìn)行人工呼吸。就醫(yī)。 眼睛接觸:立即提起 眼瞼 ,用流動清水或 生理鹽水 沖洗至少 15min。注意個人清潔衛(wèi)生。 手防護(hù):戴橡皮手套。 眼睛防護(hù):戴化學(xué) 安全防護(hù)眼鏡 。如大量泄漏,收集回收或無害 處理后廢棄。不要直接接觸泄漏物,用清潔的鏟子收集于干燥潔凈有蓋的容器中,以少量 NaOH加入大量水中,調(diào)節(jié)至中性,再放入廢水系統(tǒng)。 ? 燃燒 (分解 )產(chǎn)物:可能產(chǎn)生有害的 毒性 煙霧。與酸發(fā)生中和反應(yīng)并放熱。粉塵或煙霧會刺激眼和呼吸道,腐蝕鼻中隔;皮膚和眼與 NaOH直接接觸會引起灼傷;誤服可造成消化道灼傷,粘膜糜爛、出血和休克。 侵入途徑:吸入、食入。半數(shù)致死量 (小鼠,腹腔 )40mg/kg。熔點 318℃ 。溶液呈強(qiáng) 堿性 。 1g溶于、 、 乙醇 、 ,溶于 甘油 。它的 溶液 可以用作 洗滌液 ? 性狀 熔融白色顆粒或條狀,現(xiàn)常制成小片狀。易溶于水,其水溶液呈 強(qiáng)堿 性,能使 酚酞 變紅。 ,將泄漏容器移至安全處所泄空修理。 HF 容器槽內(nèi)。 當(dāng)密閉,有著標(biāo)示之容器內(nèi)。 下水道 ,水溝或其它密閉空間。 。 環(huán)境注意事項: 。 泄漏處理方法 個人應(yīng)注意事項: 。 ,易燃性的 氫氣 可能產(chǎn)生并累積。 滅火措施 適用滅火劑:對于周圍火災(zāi),使用合適的滅火劑來滅火。 。 ,讓患者身體向前以避免吸入嘔吐物的危險。 ,切勿催吐。 眼睛接觸: ,以大量的清水沖洗受污染的眼睛至少 15分鐘以上, ,再反復(fù)沖洗,并立即就醫(yī)。 于冰 的 % Hyamine 1622水 溶液 ( 1:500)或冰的 % Zephiran,若無法直接浸泡,可使用繃帶,每兩分鐘更換一次。 20分鐘以上。(避免口對口接觸,最好在醫(yī)生的指示下,由受訓(xùn)過之人員來施予 氧氣 ) ,并立即就醫(yī)。 主要癥狀:刺激感、皮膚灼傷、骨質(zhì)軟弱及變化(骨質(zhì)疏松癥)??赡茉斐晒琴|(zhì)硬化。 食入:不適用于 HF氣體。) 。 皮膚: 氣體 或無水液體會造成疼痛難忍的深度皮膚灼傷。 。 吸入: 、咽、眼睛及呼吸道。它是無色的 氣體 ,但是在空氣中,只要超過 3ppm就會產(chǎn)生刺激的味道。可用霧狀水噴淋加速 液氮 蒸發(fā),但不可使用水槍射至液氮。 本品不燃。用排風(fēng)機(jī)將漏出氣送至空曠處。盡可能切斷泄漏源。建議應(yīng)急處理人員戴自給 正壓式呼吸器 。配備 泄漏應(yīng)急處理 設(shè)備。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。 ? 其它防護(hù):避免高濃度吸入密閉操作,提供良好的自然通風(fēng)條件。但當(dāng)作業(yè)場所空氣中氧氣濃度低于 18%時,必須佩戴空氣呼吸器、 氧氣呼吸器 或長管面具。 N2分子是已知的雙原子分子中最穩(wěn)定的,氮氣的 相對分子質(zhì)量 是 28。 對成鍵沒有貢獻(xiàn),成鍵與反鍵能量近似抵消,它們相當(dāng)于孤電子對。在生產(chǎn)中,通常采用黑色鋼瓶盛放氮氣。氮氣是難液化的氣體。 ? 氮氣: 物理性質(zhì) 氮在常況下是一種無色無味無臭的 氣體 ,且通常無毒。 大量泄漏:構(gòu)筑圍堤或挖坑收容;噴霧狀水冷卻和稀釋蒸氣、保護(hù)現(xiàn)場人員、把泄漏物稀釋成不燃物。盡可能切斷泄漏源,防止進(jìn)入下水道、排洪溝等限制性空間。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器,穿防酸堿工作服。有強(qiáng)腐蝕性。沸點 ℃ (68%)。能與水形成共沸混合物。能與 乙醇 、 松節(jié)油 、 碳 和其他 有機(jī)物 猛烈反應(yīng)。有強(qiáng)酸性。在空氣中產(chǎn)生白霧,是硝酸蒸汽于水蒸汽結(jié)合而形成的硝酸小液滴。有窒息性刺激氣味。 管制信息 硝酸 (腐蝕 )( 易制爆 ) 本品根據(jù) 《 危險化學(xué)品安全管理條例 》 受公安部門管制。硝酸不穩(wěn)定,易見光分解,應(yīng)在棕色瓶中于陰暗處避光保存,嚴(yán)禁與 還原劑 接觸。 ? 硝酸: 硝酸( nitric acid)分子式 HNO3,是一種有強(qiáng)氧化性、強(qiáng)腐蝕性的無機(jī)酸, 酸酐 為 五氧化二氮 。 眼睛接觸:立即提起眼瞼,用大量流動清水或生理鹽水徹底沖洗至少 15min。 皮膚接觸:立即脫去被污染衣著,用大量流動清水沖洗,至少 15min。 食入:誤服者用水漱口,給飲牛奶或蛋清。如呼吸停止,立即進(jìn)行人工呼吸。保持呼吸道通暢。 滅火方法 燃燒性:不燃 滅火劑:霧狀水、泡沫。也可用大量水沖洗,洗水稀釋后放入廢水系統(tǒng)。盡可能切斷泄漏源,防止進(jìn)入下水道、排洪溝等限制性空間。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器,穿防酸堿工作服。如吸入蒸氣或接觸皮膚能形成較難愈
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