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2024-12-14 11:40本頁面
【正文】 nowires and Their Op tical Properties [ J ]. Adv. M ater. , 2022, 12 (5) : 3232331. [ 8 ] Xing Y J, Xi Z H, Xue Z Q, et al. Op tical Properties of the ZnO Nanotubes Synthesized Via Vapor Phase Growth[ J ]. Appl. Phiys. Lett. , 2022, 83 (9) : 168921691. [ 9 ] Jason B,Baxter, et al. Ep itaxial Growth of ZnO Nanowires on A2 and C2p lane Sapphire[ J ]. Journal of Crystal Grow th, 2022, 274: 4072411. [ 10 ] Dai Y, Zhang Y,Bai Y Q,Wang Z L O. Bicrystalline Zinc Oxide Nanowires [ J ]. Chem. Phys. Lett. , 2022, 375: 962101. 。 4 結 論 以金做催化劑 ,采用熱分解 ZnO粉末的 CVD方法在 Si ( 100)襯底上生長了整齊緊密排列的 ZnO納米線 ,平均長度為 4μm,直徑在 100nm左右。圖 3 ( a)箭頭所指位置處的 ZnO納米線頂端的 EDS圖譜表明 (如圖 5 ( b)所示 ) , ZnO納米線頂端同樣有金成份 ,證實在薄膜上的 ZnO納米線按 VLS機理生長。薄膜形成后 ,氣相 ZnO在所通 Ar氣的攜帶下向基片輸運 ,此時基片溫度已經保持在 700℃ ,氣相過飽和度適中 ,基片上方 ZnO以氣相存在 ,因此分子熱運動強烈 ,重力場的作用相對減弱。 ( b) EDS spectra of ZnO nanowires 。用能譜儀測試了薄膜晶粒的成分 ,圖 4中箭頭所指位置是能譜儀所測試位置 ,圖 5 ( a)是ZnO薄膜晶粒 EDS圖譜 ,發(fā)現(xiàn)有金成份 , 圖 4 生長 5min的 SEM圖 Fig. 4 SEM images of ZnO nanowires growing for 5min 圖 5 ( a) ZnO薄膜晶粒的 EDS圖譜 。當基片溫度
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