【正文】 結合的成果，它兼有檢測、判斷和信息處理功能，與傳統(tǒng)傳感器相比有很多特點： 具有判斷和信息處理功能，能對測量值進行修正、誤差補償，因而提高測量精度； 可實現(xiàn)多傳感器多參數(shù)測量； 有自診斷和自 校準功能，提高可靠性； 測量數(shù)據(jù)可存取，使用方便； 有數(shù)據(jù)通信接口，能與微型計算機直接通信。 中國航空總公司北京測控技術研究所，研制的 CYJ 系列濺謝膜壓力傳感器是采用離子濺射工藝加工成金屬應變計，它克服了非金屬式應變計易受溫度影響的不足，具有高穩(wěn)定性，適用于各種場合，被測介質(zhì)范圍寬，還克服了傳統(tǒng)粘貼式帶來的精度低、遲滯大、蠕變等缺點，具有精度高、可靠性高、體積小的特點，廣泛用于航空、石油、化工、醫(yī)療等領域。在工業(yè)控制、航空航天領域、生物醫(yī)學等方面有重要的作用，如飛機上利用可減輕飛機重量，減少能源。其測量最高精度可達 %FS。核心部分由感壓硅膜片和硅膜片上面制作的兩個諧振梁結成，兩個諧振梁的頻差對應不同的壓力，用頻率差的方法測壓力，可消除環(huán)境溫度等因素帶來的誤差。因而產(chǎn)生了各種新型傳感器，如利用半導體技術制造出硅微傳感器，利用薄膜工藝制造出快速響應的氣敏、濕敏傳感器，利用濺射薄膜工藝制壓力傳感器等。將集成光路器件代替原有 光學元件和無源光器件，使光纖傳感器有高的帶寬、低的信號處理電壓，可靠性高，成本低。如 Idec Izumi公司和 Suns 公司。光纖傳感器與傳統(tǒng)傳感器相比有許多特點：靈敏度高，結構簡單、體積小、耐腐蝕、電絕緣性好、光路可彎曲、便于實現(xiàn)遙測等。 光導纖維的應用是傳感材料的重大突破，其最早用于光通信技術。測量范圍可從 0到60mpa。采用先進的陶瓷技術 和 厚膜電子技術，其技術性能穩(wěn)定，年漂移量小于 %,溫漂小于177。利用這個原理制成等離子聚合法聚苯乙烯薄膜溫度傳感器，其有以下特點：測濕范圍寬；溫度范圍寬，可達 400℃～ +1500℃；響應速度快，小于 1S；尺寸小，可用于小空間測濕；溫度系數(shù)小。高分子電介常數(shù)小，水分子能提高聚合物的介電常數(shù)。例如用高分子聚合物薄膜制成溫度傳感器；光導纖維能制成壓力、流量、溫度、位移等多種傳感器；用陶瓷制成壓力傳感器。美國加州大學巳研制出這類傳感器。用這種抗體制成的免疫傳感器可對某生物體內(nèi)是否有這種抗原作檢查?？捎糜诖懦上窦夹g，有廣泛推廣價值。日本夏普公司利用超導技術研制成功高溫超導磁性傳感器，是傳感器技術的重大突破，其靈敏度高，僅次于超導量子干涉器件。世界許多發(fā)達國家都在加快對傳感器新技術的研究與開發(fā)，并且都已取得極大的突破。現(xiàn)代的計算機技術和通信技術由于超大規(guī)模集成電路的飛速發(fā)展，而已經(jīng)充分發(fā)達后，不僅對傳感器的精度、可靠性、響應速度、獲取的信息量要求越來越高，還要求其成本低廉且使用方便。自動化程度越高，系統(tǒng)對傳感器要求越高。輸出信號有不同形式，如電壓、電流、頻率、脈沖等，能滿足信息傳輸、處理、記錄、顯示、控制要求，是自動檢測系統(tǒng)和自動控制系統(tǒng)中不可缺少的元件。 附 件： ； 。 指導教師評語： 簽名： 年 月 日 附件 1：外文資料翻譯譯文 傳感器新技術的發(fā)展 傳感器是一種能將物理量、化學量、生物量等轉(zhuǎn)換成電信號的器件。如果把計算機比作大腦，那么傳感器則相當于五官，傳感器能正確感受被測量并轉(zhuǎn)換成相應輸出量，對系 統(tǒng)的質(zhì)量起決定性作用。在今天的信息時代里，信息產(chǎn)業(yè)包括信息采集、傳輸、處理三部分，即傳感技術、通信技術、計算機技術。顯然傳統(tǒng)傳感器因功能、特性、體積、成本等已難以滿足而逐漸被淘汰。如今傳感器新技術的發(fā)展，主要有以下幾個方面： 利 用物理現(xiàn)象、化學反應、生物效應作為傳感器原理，所以研究發(fā)現(xiàn)新現(xiàn)象與新效應是傳感器技術發(fā)展的重要工作，是研究開發(fā)新型傳感器的基礎。它的制造工藝遠比超導量子干涉器件簡單。 利用抗體和抗原在電極表面上相遇復合時，會引起電極電位的變化，利用這一現(xiàn)象可制出免疫傳感器。如用肝炎病毒抗體可檢查某人是否患有肝炎，起到快 速、準確作用。 傳感器材料是傳感器技術的重要基礎，由于材料科學進步，人們可制造出各種新型傳感器。高分子聚合物能隨周圍環(huán)境的相對濕度大小成比例地吸附和釋放水分子。將高分子電介質(zhì)做成電容器，測定電容容量的變化，即可得出相對濕度。 陶瓷電容式壓力傳感器是一種無中介液的干式壓力傳感器。 %/10K,抗過載強 ,可達量程的數(shù)百倍。德國 E+H 公司和美國 Kahlo 公司產(chǎn)品處于領先地位。在光通信利用中發(fā)現(xiàn)當溫度、壓力、電場、磁場等環(huán)境條件變化時，引起光纖傳輸?shù)墓獠◤姸?、相位、頻率、偏 振態(tài)等變化，測量光波量的變化，就可知道導致這些光波量變化的溫度、壓力、電場、磁場等物理量的大小，利用這些原理可研制出光導纖維傳感器。光纖傳感器日本處于先進水平。光纖傳感受器與集成光路技術相結合，加速光纖傳感器技術的發(fā)展。 半導體技術中的加工方法有氧化 、光刻、擴散、沉積、平面電子工藝，各向?qū)愿g及蒸鍍，濺射薄膜等，這些都已引進到傳感器制造。 日本橫河公司利用各向?qū)愿g技術進行高精度三維加工，制成全硅諧振式壓力傳感器。當環(huán)境溫度變化時，兩個諧振梁頻率和幅度變化相同，將兩個頻率差后 ，其相同變化量就能夠相互抵消。 美國 Silicon Microstructure Inc.(SMI)公司開發(fā)一系列低價位 ,線性度在 %到 %范圍內(nèi)的硅微壓力傳感器 ,最低滿量程為(1KPa),其以硅為材料制成 ,具有獨特的三維結構 ,輕細微機械加工 ,和多次蝕刻制成惠斯登電橋于硅膜片上 ,當硅片上方受力時 ,其產(chǎn)生變形 ,電阻產(chǎn)生壓阻效應而失去電橋平衡 ,輸出與壓力成比例的電信號 .象這樣的硅微傳感器是當今傳感器發(fā)展的前沿技術 ,其基本特點是敏感元件體積為微米量級 ,是傳 統(tǒng)傳感器的幾十、幾百分之一。另一特點是能敏感微小被測量，可制成血壓壓力傳感器。 集成傳感器的 優(yōu)勢是傳統(tǒng)傳感器無法達到的，它不僅僅是一個簡單的傳感器，其將輔助電路中的元件與傳感元件同時集成在一塊芯片上，使之具有校準、補償、自診斷和網(wǎng)絡通信的功能，它可降低成本、增加產(chǎn)量，美國 LUCAS、 NOVASENSOR 公司開發(fā)的這種血壓傳感器，每星期能生產(chǎn) 1萬只。 把傳感器、信號調(diào)節(jié)電路、單片機集成在一芯片上形成超大規(guī)模集成化的高級智能傳感器。 智能化傳感器的研究與開發(fā)，美國處于領先地位。我國在 這方面的研究與開發(fā)還很落后，主要是因為我國半導體集成電路工藝水平有限。美國、日本等發(fā)達國家的傳感器技術發(fā)展最快，我國由于基礎薄弱，傳感器技術與這些發(fā)達國家相比有較大的差距。 附件 2：外文原文 Dev elopm ent of Sens or New Techn olog y Sensor is one kind ponent which can transform t