【正文】 只有你自己才能把歲月描畫成一幅難以忘懷的人生畫卷。歲月是有情的，假如你奉獻給她的是一些色彩，它奉獻給你的也是一些色彩。努力過后，才知道許多事情，堅持堅持，就過來了。有時候覺得自己像個神經(jīng)病。在紛雜的塵世里，為自己留下一片純靜的心靈空間，不管是潮起潮落，也不管是陰晴圓缺，你都可以免去浮躁，義無反顧，勇往直前，輕松自如地走好人生路上的每一步3. 花一些時間，總會看清一些事。表415 Rofin公司DLQ 系列半導(dǎo)體激光器DL 70 QDL 014 QDL 021 QDL 028 QDL 031 Q波長940 nm + 10 nm940 nm + 10 nm808 nm + 10 nm 、940 nm + 10 nm標準輸出功率 700 W CW1400 W CW2100 W CW2800 W CW3100 W CW輸出功率范圍100 700 W100 1400 W200 2100 W300 2800 W300 3100 W標準功率時焦點尺寸 x [mm] x [mm] x [mm] x [mm] x [mm]焦距66 mm 66 mm 66 mm 66 mm66 mm 摘自特種加工手冊1. 若不給自己設(shè)限，則人生中就沒有限制你發(fā)揮的藩籬。功率范圍達到750W～3000W。Rofin激光器公司的半導(dǎo)體激光器DL系列是基于半導(dǎo)體單元冷卻與堆棧技術(shù)的優(yōu)化，Rofin公司的DL系列半導(dǎo)體激光器可以達到與傳統(tǒng)氣體或固體激光器相競爭的功率。一般以GaAs為襯底，襯底上覆蓋其他化合物層，這些化合物是由III族（Al、Ga、In）元素和V族（As、P）元素組成的二元、三元或四元半導(dǎo)體類化合物。表414為各類型半導(dǎo)體激光器性能對照。 大功率半導(dǎo)體激光器 半導(dǎo)體激光器是以半導(dǎo)體材料（主要是化合物半導(dǎo)體）為工作物質(zhì)，以電流注入作為激勵方式的一種小型化激光器。隨著市場需求量的增長和生產(chǎn)工藝的流水線化，半導(dǎo)體泵浦激光器和光纖組件的生產(chǎn)成本將會顯著降低，光纖激光器的成本與等效的傳統(tǒng)激光系統(tǒng)成本相比更低。 圖417 高功率光纖激光器 YLRHP系列光纖激光器的主要參數(shù)如表413表413 IPG YLRHP高功率激光器主要參數(shù)型 號YLR1000YLR3000YLR5000YLR10000YLR20000輸出功率(kW)1351020光束參數(shù)乘積(mmmrad)＜＜＜＜5＜12傳輸光纖直徑(181。其功率范圍在1kW～50kW之間，可工作在連續(xù)或高達20kHz的脈沖調(diào)制模式下，電光轉(zhuǎn)換效率高于25%。目前國際上商業(yè)化的光纖激光器波長已從800nm擴展到2000nm以上，輸出連續(xù)光功率從數(shù)百毫瓦上升到數(shù)千瓦量級。極高的光束聚焦性能提供了超高的功率密度，使其在有效的工作距離內(nèi)享有更廣的應(yīng)用范圍。光纖激光器的激光介質(zhì)本身就是導(dǎo)波介質(zhì)，耦合效率高；光纖芯很細，纖內(nèi)易形成高功率密度，可方便地與目前的光纖傳輸系統(tǒng)高效連接。與其他激光器一樣，光纖激光器由產(chǎn)生光子的增益介質(zhì)、使光子得到反饋并在增益介質(zhì)中進行諧振放大的光學(xué)諧振腔和激勵光躍遷的泵浦源三部分組成，其基本結(jié)構(gòu)與固體激光器的結(jié)構(gòu)基本相同。盡管如此，由于CO激光良好的加工優(yōu)勢使得它仍然受到人們相當(dāng)?shù)闹匾?，其主要發(fā)展方向為快速流動結(jié)構(gòu)，是下一代最有希望的加工激光器之一。高功率CO激光器CO激光器的波長為5mm，它具有的主要優(yōu)點：①波長5mm，為CO2激光波長的l/2，發(fā)散角為CO2激光的l/2，聚焦后，能量密度比CO2激光高4倍；②許多材料對5mm波長的吸收率很高，對激光加工極為有利；③CO激光的量子效率接近100%，而CO2激光只有40%，其電效率比CO2激光提高20%。近年來，放電管與反射鏡片、窗片的封接工藝技術(shù)取得顯著的進展，目前，用玻璃粉加熱的“硬封接”工藝已替代以往的環(huán)氧樹脂封貼，提高了密封可靠性，進而提高了HeNe激光器的工作和存放壽命。HeNe激光器的放電電極多采用冷陰極形式，冷陰極材料多用濺射率小、電子發(fā)射率高的鋁或鋁合金。普通的HeNe激光器的放電管一般采用GG17硬質(zhì)玻璃制成，對輸出功率和波長要求穩(wěn)定性高的器件通常用熱膨脹系數(shù)更小的石英玻璃制作。毛細管處于增益介質(zhì)工作區(qū)，因此毛細管的尺寸和質(zhì)量是決定激光器輸出性能的關(guān)鍵因素。光學(xué)諧振腔由一對高反射率的多層介質(zhì)膜反射鏡組成，一般采用平凹腔形式，平面鏡為輸出鏡，透過率依賴于激光器長度，約為1～2%，凹面鏡為全反射鏡，反射率接近100%。單橫模輸出功率在50mW/m量級水平。圖416 工業(yè)用準分子(XeCl)激光器(Lambda Physik GmbH， Germany)表412 典型商用準分子激光器參數(shù)準分子ArFKrFXeClXeF波長/nm193248308351脈沖能量/mJ275450250200平均功率/W45804535氦氖激光器(原子激光器)HeNe激光器是最早問世的氣體激光器，HeNe激光器是連續(xù)波運轉(zhuǎn)，主要波段在可見光區(qū)或近紅外區(qū)。圖416是工業(yè)用的XeCl激光系統(tǒng)，在250Hz重復(fù)頻率下的脈沖能量為600mJ。即由于準分子激光能量比材料分子原子連接鍵能量大，材料吸收后(吸收率高)，光子能量耦合于連接鍵，就破壞了原有的鍵連接而形成微小碎片，碎片材料自行脫落，每個脈沖可去除亞微米深的材料，如此逐層剝離材料，達到加工目的。準分子激光器的基本結(jié)構(gòu)與CO2激光器相同，可以調(diào)諧運轉(zhuǎn)。準分子激光為紫外短脈沖激光，波長范圍在193～351nm，約是YAG波長的1/5和CO2波長的1/50，高于大部分分子的化學(xué)鍵能，能直接深入材料分子內(nèi)部進行加工。部分產(chǎn)品參數(shù)見表411圖415 Rofin DC Slab CO2激光器 表411 DC系列CO2激光器ROFIN DC 010ROFIN DC 020ROFIN DC 030ROFIN DC 040激勵形式高頻高頻高頻高頻輸出最大功率(KW)1234輸出功率范圍(KW)—1—2—3—4光束質(zhì)量K因子KKKK脈沖頻率(Hz)05K05K05K05K準分子激光器準分子激光器的工作物質(zhì)是準分子氣體，準分子是一種在激發(fā)態(tài)復(fù)合成的分子，而在基態(tài)則離解成原子的不穩(wěn)定地締合物。這種激光器的結(jié)構(gòu)原理圖見圖414激光束 光束整形 輸出鏡 冷卻水 RF激勵源 冷卻水末端鏡 RF激勵交換器 波導(dǎo)電極圖 414 Slab CO2激光器結(jié)構(gòu) 擴散冷卻的Slab CO2激光器的優(yōu)點是：結(jié)構(gòu)緊湊，幾乎沒有摩擦損耗；輸出光束具有很高的質(zhì)量；不需對激光工作氣體進行熱交換；光損耗較低；熱穩(wěn)定性非常高；低氣體損耗，外部不需配置氣體貯氣罐；沒有氣體流動，不會污染諧振腔的光學(xué)元件；維護成本低。圖413 準封離型CO2激光器新型的擴散冷卻的CO2激光器采用氣體密封的形式，激光器具有緊湊的結(jié)構(gòu)，可以采用水冷和風(fēng)冷的方式，典型產(chǎn)品如Rofin公司DC系列Slab CO2激光器。較高功率的封離型激光器都具有一套真空排氣沖氣系統(tǒng)，用于腔內(nèi)變質(zhì)氣體的更換，把這種激光器稱為準封離型激光器，圖413為準封離型CO2激光器示意圖。此外，在流動型CO2激光器中還有螺旋流動型、橫流圓筒結(jié)構(gòu)CO2激光器等。圖412橫流CO2激光器橫流CO2激光器根據(jù)電極形狀的不同主要分為管板電極結(jié)構(gòu)CO2激光器和針板電極結(jié)構(gòu)CO2激光器。橫流激光器中氣壓高，光腔流道截面面積大，流速也相當(dāng)高，所以橫流CO2激光器輸出功率大。(4)橫向流動型CO2激光器橫向流動型CO2激光器的工作氣體是沿著與光軸垂直的方向快速流過放電區(qū)來維持腔內(nèi)較低氣體溫度的。(a)結(jié)構(gòu)示意圖 (b)圖411 快速軸流CO2激光器快速軸流激光器的