超聲加工ppt課件(參考版)
2025-05-06 18:28本頁面
【正文】 23 四、超聲清洗 原理：交變沖擊波和空化作用的結果。圖716 19 20 超聲拋光及電解超聲復合拋光 原理：電解產(chǎn)物和氧化鈍化膜不斷的被高頻振動的工具頭刮除，并被電解液沖走。 18 第四節(jié) 超聲加工的應用 一、型孔、型腔加工 二、切割加工：超聲加工法加工硅片等，工具材料為薄鋼片或磷青銅片。 影響表面質量的因素：磨粒的直徑、被加工材料、超聲振動的振幅、懸浮工作液。 16 二、加工精度及其影響因素 機床及其夾具的影響； 磨料粒度； 工具精度及其磨損情況；影響孔的錐度，工具或工件旋轉，可提高孔的精度。 磨料懸浮液濃度的影響：濃度低，加工速度低。 面積小時，壓力大， 5~13 mm2時，最佳靜壓力400KPa；面積大時，壓力小 ,20mm2以上時，最佳靜壓力 200~300KPa。 一般：振幅 ~，頻率 16000~25000Hz之間。 基本結構，見圖 711(P158) 12 13 四、磨料工作液及其循環(huán)系統(tǒng) 磨料：常用碳化硼、碳化硅、氧化鋁等； 粒度的大小與加工精度及加工效率有關； 注意加工間隙中磨料的更換和補充。 10 （四）工具 工具電極的形狀和尺寸，決定于被加工
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