【正文】
第二部分 光的衍射 點(diǎn)擊按鈕可進(jìn)入第二部分 。 S 半透半反膜 M2 M1 G1 G2 E 167。 M ?1 2 239。 入射光經(jīng)半反膜后分成兩束, GG2 是平行放置的平板玻璃,其中 G2 是補(bǔ)償板。在膜厚為 d 處光程差為 nd2??當(dāng) ?,2,1,0,2 ??? kknd ??時(shí)出現(xiàn)明紋,該處膜厚為 nkdk 2??因 d’處 k = 6,對應(yīng)膜厚為 66 ?????? ndd ? SiO2 Si d39。 =? SiO2 Si d 39。 兩塊標(biāo)準(zhǔn)平晶產(chǎn)生的等厚干涉條紋 兩塊有缺陷平晶產(chǎn)生的等厚干涉條紋 例題 183 制造半導(dǎo)體元件時(shí),常需要精確測定硅片上二氧化硅 (SiO2)薄膜的厚度 d 39。 討論: ? 同一干涉條紋具有相同厚度,因而當(dāng)劈尖表面凸凹不平時(shí),會出現(xiàn)條紋彎曲。 000024222 ????? ????? nd每層膜反射 光的光程差為 … 玻璃 ZnS ZnS MgF2 MgF2 ?0 HeNe 激光器的反射鏡采用多層反射膜使波長為 的激光反射率高達(dá) 99% 以上 鍍膜的反射鏡 兩玻璃板形成一很小夾角,兩板間充滿空氣或其它流體,形成了劈形膜。 增透膜 紅外光 可見光 反光鏡 例如對波長 ?0 = 550 nm 的綠光,當(dāng)光學(xué)厚度為 n2d = 3?0 /4 = 412 nm時(shí),反射率最小,但此時(shí)該薄膜對其它波長的光,反射率一般不是最小。 184 由分振幅法產(chǎn)生的光的干涉 一 . 平行平面膜產(chǎn)生的干涉 光線 2 和光線 3 的光程差為 )2()( ?? ????? ANnBCABni LPSn?n d1 2 3 A B C nn ??面光源 薄膜 透鏡 N r P 點(diǎn)出現(xiàn)明暗紋的條件為 ?????????????暗紋明紋??,2,1,0 2)12(,2,1 ,0 2s i n2222kkkkinnd????2s i n2)2()(222 ??? ????????? inndANnBCABn由幾何關(guān)系得 折射定律 rnin s ins in ?? rirdirdiACANc oss i ns i n2s i ntan2s i n ???rdBCABc os?? 如果薄膜是等厚膜,光程差只決定于入射角,相同入射角的光線光程差相同,形成同一干涉條紋 ——等傾干涉條紋。 三 . 薄透鏡的一個(gè)性質(zhì) A B F S 平行光會聚于焦點(diǎn) 焦點(diǎn)發(fā)出的光成平行光 焦面 光軸 同相面 焦面 光軸 同相面 A B 結(jié)論:理想的薄透鏡不會引起附加光程差 A B C D E P S S’ S S’ 物距大于焦距 物距小于焦距 平行光匯聚于焦平面 分振幅法利用薄膜的兩個(gè)表面經(jīng)反射,把入射光的振幅分解為兩部分,相遇而產(chǎn)生干涉,這種干涉也叫薄膜干涉。39。39。 r39。39。 r39。 n39。 折射率的定義為 11 v ? 設(shè) ?、 ?1 分別為光在真空中、介質(zhì)中的波長,則 11 n?? ?? 1?一 . 光在介質(zhì)中的波長 167。 d A B O C D 解 ( 1)由三角形相似,有 434/2/2/ ???? DDDdOAOAOA=3mm, OB= 得 414/2/ ??? D