章電子束和離子束加工-資料下載頁
2025-04-30 04:27本頁面
【正文】 極 (吸極 )8上各有 300個(gè)直徑為 φ ， 上下位置對(duì)齊 。 在引出電極 8的作用下 ， 將離子吸出 ， 形成300條準(zhǔn)直的離子束 ， 再向下則均勻分布在直徑為 5㎝ 的圓面積上 。 ② 雙等離子體型離子源 如圖 610所示的雙等離子體型離子源是利用陰極和陽極之間低氣壓直流電弧放電，將氪或氙等惰性氣體在陽極小孔上方的低真空中 (—)等離子體化。中間電極的電位一般比陽極電位低，它和陽極都用軟鐵制成，因此在這兩個(gè)電極之間形成很強(qiáng)的軸向磁場(chǎng)，使電弧放電局限在這中間，在陽極小孔附近產(chǎn)生強(qiáng)聚焦高密度的等離子體。引出電極將正離子導(dǎo)向陽極小孔以下的高真空區(qū)( 105— 106Pa)，再通過靜電透鏡形成密度很高的離子束去轟擊工件表面。 三、 離 子束加工的應(yīng)用 ⒈ ⒉ 離子鍍膜加工 ⒊ 離子注入加工 ⒈ 刻蝕加工 離子刻蝕是從工件上去除材料，是一個(gè)撞擊濺射過程。當(dāng)離子束轟擊工件，入射離子的動(dòng)量傳遞到工件表面的原子，傳遞能量超過了原子間的鍵合力時(shí)，原子就從工件表面撞擊濺射出來，達(dá)到刻蝕的目的。 ⑴ 加工參數(shù)控制 離子入射能量 、 束流大小 、 離子入射到工件上的角度 、 工作室氣壓等都能分別調(diào)節(jié)控制 ， 根據(jù)不同加工需要選擇參數(shù) 。 用氬離子轟擊被加工表面時(shí) ， 其效率取決于離子能量 、 入射角度 。 ⑵ 離子束刻蝕應(yīng)用 離子刻蝕用于加工陀螺儀空氣軸承和動(dòng)壓馬達(dá)上的溝槽 ， 分辨率高 ， 精度 、 重復(fù)一致性好 。 動(dòng)壓馬達(dá)上的溝槽 ⒉ 鍍膜加工 離子鍍膜加工有 濺射沉積 和 離子鍍 兩種。離子鍍時(shí)工件不僅接受靶材濺射來的原子，還同時(shí)受到離子的轟擊，這使離子鍍具有許多獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)。 ⒊ 離子注入加工 離子注入是向工件表面直接注入離子，它不受熱力學(xué)限制，可以注入任何離子，且注入量可以精確控制，注入的離子是固溶在工件材料中，含量可達(dá) 10％ 40％，注入深度可達(dá) 1um甚至更深。
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