設備可靠性、有效性和可維護性的定義和測試規(guī)范(編輯修改稿)
2025-05-05 03:54 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 期維護過程（包括設備斷工、復工），以降低設備運轉(zhuǎn)中故障的可能性。間斷周期可能基于設備時間、設備狀態(tài)。l 設備檢測：運轉(zhuǎn)設備以證實設備的功能狀態(tài)。（比如，系統(tǒng)達到基本壓力，芯片傳輸沒有異常、氣流正常、等離子區(qū)燃燒、來源達到特定壓力。）l 校正運作：在預防性措施后為保證設備按規(guī)定正常運作而建立的單元流程和評估。注釋5：設備供應商有責任提出預防性措施計劃以使設備達到預定水平。使用者如果希望供應商提高設備水平，他們有責任指出與原定計劃的偏離之處。 改變化學材料及消耗品 — 指在補充半導體流程中的原材料時的故意打斷。它包括改變氣瓶、酸、目標、來源等等以及任何與改變相關的充、洗、清潔。但不包括在得到化學材料、消耗品補給之前的延誤時間。 調(diào)整 — 它是以下幾部分之和：l 變動：為了適應在流程、產(chǎn)品、包裝結(jié)構(gòu)上的改變而作出的設備變動所需的時間。（不包括裝修、重建、升級）l 設備測試：運行設備以證實它的功能。（比如，系統(tǒng)達到基本壓力，芯片傳輸沒有異常、氣流正常、等離子區(qū)燃燒、來源達到特定壓力。）l 校正運行：在改變后為確認設備按規(guī)定正常運作而建立的單元流程和評估。注釋6：設備供應商有責任提供設備在預定條件下改變和測試的過程步驟。使用者如果希望在這些條件下供應商減少改變次數(shù)，那么他有責任給出偏離的過程步驟。 與基礎設施相關的停工 — 由于缺乏輔助的基礎設施而使設備不能按預定功能運行的一段時間。相關的基礎設施有：l 環(huán)境（例溫度、濕度、震動、微粒度）l 房屋的懸掛裝置（例動力、冷卻水、空氣、廢氣、LN2）l 與其他設備或宿主計算機連接的管道l 與宿主相連的通信設備 任何與上述項目相關的停工時間將包括在基礎設施的停工時間內(nèi)。例如，由于安排了15分鐘的動力短缺使需要另外的制冷劑動力，這樣讓設備再恢復到預定功能狀態(tài)所耗費的時間就是與基礎設施相關的停工時間。 計劃外停工時間 — 由于一些意外事件使設備不在預定功能狀態(tài)的時間。l 維修推遲l 修理l 改變化學材料及消耗品l 不合規(guī)范的輸入l 與基礎設施相關的停工 維修推遲 —由于設備正等待使用者或供應人員或其他與維修有關的部分（化學材料、消耗品等）而使設備不能正常工作的時間。維修推遲有可能是因為管理員決定讓設備停著推遲維修。 注釋7：維修推遲會發(fā)生在維修過程的任何時段，它必須從維修時間中被獨立出來。推遲時間包括在離線時間內(nèi)，但不在修理時間內(nèi)。（） 修理時間 — 包括以下：l 診斷：識別設備故障的源由的過程。l 糾錯行為：提出設備的故障處并使設備恢復到正常運作的維修過程。（包括設備斷工、復工、重建、重設置、再循環(huán)、再啟動、回到前一個軟件版本等等）l 設備測試：運行設備以證實它的功能。（比如，系統(tǒng)達到基本壓力，芯片傳輸沒有異常、氣流正常、等離子區(qū)燃燒、來源達到特定壓力。）l 校正運行：在改變后為確認設備按規(guī)定正常運作而建立的單元流程和評估。 改變化學材料及消耗品 — 指計劃外的為補充半導體流程中的原材料時打斷生產(chǎn)運行。它包括改變氣瓶、酸、目標、來源等等以及任何與改變相關的充、洗、清潔。但不包括在得到化學材料、消耗品補給之前的延誤時間。 不合規(guī)范的輸入 — 由于不合規(guī)范的輸入或錯誤輸入而造成一些問題使設備不能正常運行的時間。這些輸入包括：l 輔助工具（例彎曲的密封盒或芯片運輸器、錯誤的數(shù)據(jù)解釋或輸入）l 產(chǎn)品（例逆流的流程或產(chǎn)品問題，彎曲的芯片，受污染的芯片，彎曲的鉛框）l 測試數(shù)據(jù)（例未經(jīng)校正的計量工具，誤讀的圖表，錯誤的數(shù)據(jù)解釋或輸入）l 消耗品及化學材料（例如受污染的酸，有滲漏的焊接，衰變的光阻，品質(zhì)低劣的鑄造物） 任何由于以上各項造成的停工時間包括在不含規(guī)范的輸入之停工時間范圍內(nèi)。例如，由于間斷的探測卡片短缺、探測系統(tǒng)要修理。由此而產(chǎn)生的停工時間分類在不合規(guī)范的輸入的停工時間。 與基礎設施相關的停工 — 由于缺乏輔助的基礎設施而使設備不能按預定功能運行的一段時間。相關的基礎設施有：l 環(huán)境（例溫度、濕度、震動、微粒度）l 房屋的懸掛裝置（例動力
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