【正文】 ， μm/200 mm的水平。在更小測(cè)量范圍的測(cè)量?jī)x器中有掃描隧道顯微鏡（STM）、掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡，這些儀器可進(jìn)行納米級(jí)的測(cè)量，常用于表面質(zhì)量檢測(cè)。隨著半導(dǎo)體工業(yè)的快速發(fā)展，對(duì)空氣潔凈度提出了更加苛刻的要求，美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209D上增加了1級(jí)和10級(jí)的潔凈度級(jí)別。因此從微細(xì)加工方面來(lái)看，最終的加工目標(biāo)已經(jīng)確立?？晒┫嚓P(guān)技術(shù)人員、管理人員和使用人員參考, 為預(yù)防或減少滾壓成型失效提供了幫助。從這種意義上說(shuō)，沒(méi)有必要一定要采用原來(lái)的通過(guò)固定磨料去加工的方法，而可以采用不用刀具的研磨，通過(guò)游離磨料去除材料。開(kāi)環(huán)控制可提高系統(tǒng)的頻響，但會(huì)犧牲剛性和精度。 超精密測(cè)控技術(shù)在距離的測(cè)量?jī)x器中，雙頻激光干涉儀測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大，但對(duì)環(huán)境的要求過(guò)高，在使用中有很多困難。此外，還可以利用控制技術(shù)以補(bǔ)償?shù)男问絹?lái)減小或消除回轉(zhuǎn)誤差。 7 超精密加工技術(shù)超精密加工是在超精密機(jī)床設(shè)備上利用零件與刀具之間產(chǎn)生的具有嚴(yán)格約束的相對(duì)運(yùn)動(dòng)對(duì)材料進(jìn)行微量切削，以獲得極高形狀精度和極低表面粗糙度的加工過(guò)程，其精度從微米到亞微米，乃至納米。(2)工程設(shè)計(jì)應(yīng)用分系統(tǒng)(CADamp。利用不同的機(jī)器、材料、工藝流程來(lái)生產(chǎn)一系列產(chǎn)品的能力和同樣的產(chǎn)品，換用不同工序加工的能力。隨著批量生產(chǎn)時(shí)代正逐漸被適應(yīng)市場(chǎng)動(dòng)態(tài)變化的生產(chǎn)所替換，一個(gè)制造自動(dòng)化系統(tǒng)的生存能力和競(jìng)爭(zhēng)能力在很大程度上取決于它是否能在很短的開(kāi)發(fā)周期內(nèi)，生產(chǎn)出較低成本、較高質(zhì)量的不同品種產(chǎn)品的能力。VM的核心是計(jì)算機(jī)仿真, 通過(guò)仿真軟件來(lái)模擬真實(shí)系統(tǒng), 以保證產(chǎn)品設(shè)計(jì)和產(chǎn)品工藝的合理性, 保證產(chǎn)品制造的成功和生產(chǎn)周期, 發(fā)現(xiàn)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)中不可避免的缺陷和錯(cuò)誤。 面向拆裝的設(shè)計(jì)(DFD)。它以計(jì)算機(jī)來(lái)輔助制造系統(tǒng)的集成, 以充分的、及時(shí)的信息交流或信息共享將企業(yè)的設(shè)計(jì)、工藝、生產(chǎn)車間以及供銷和管理部門集成為一個(gè)有機(jī)的整體, 使他們相互協(xié)調(diào)地運(yùn)作,以提高產(chǎn)品品質(zhì), 縮短產(chǎn)品開(kāi)發(fā)周期, 提高生產(chǎn)效率, 確保企業(yè)的整體效益, 提高企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)能力和生存能力。制造工藝技術(shù)群是指用于物質(zhì)產(chǎn)品生產(chǎn)的過(guò)程及設(shè)備。先進(jìn)制造技術(shù)及其發(fā)展趨勢(shì)0 .前言 31. 先進(jìn)制造技術(shù)的概述 32. 先進(jìn)制造技術(shù)的體系結(jié)構(gòu) 43. 先進(jìn)制造技術(shù)的現(xiàn)狀 54. 先進(jìn)制造的發(fā)展趨勢(shì) 75. 柔性制造技術(shù) 10 10 11 柔性制造系統(tǒng)（FMS） 11 柔性制造單元（FMC） 12 柔性制造線（FML） 12 柔性制造工廠（FMF） 126 .計(jì)算機(jī)集成制造系統(tǒng) 13 CIMS 系統(tǒng)的功能組成 13 CIMS 系統(tǒng)的技術(shù)優(yōu)勢(shì)分析 14 保障和提高了新產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的質(zhì)量 14 縮短了新產(chǎn)品的上市周期 15 經(jīng)營(yíng)管理科學(xué)化, 同時(shí)降低了產(chǎn)品的成本 157 超精密加工技術(shù) 15 超精密加工的技術(shù)范疇 16 超精密加工的關(guān)鍵技術(shù) 17 主軸 17 直線導(dǎo)軌 17 傳動(dòng)系統(tǒng) 18 超精密測(cè)控技術(shù) 18 微進(jìn)給技術(shù) 19 超精密環(huán)境控制技術(shù) 20 加工原理 21 結(jié)論 218 結(jié)語(yǔ) 220 .前言制造業(yè)是現(xiàn)代國(guó)民經(jīng)濟(jì)和綜合國(guó)力的重要支柱, 在國(guó)民經(jīng)濟(jì)建設(shè)、社會(huì)進(jìn)步、科技發(fā)展與國(guó)家安全中占有重要戰(zhàn)略地位, 其生產(chǎn)總值一般占一個(gè)國(guó)家國(guó)內(nèi)生產(chǎn)總值的20% ~ 55%。制造工藝技術(shù)群是有關(guān)加工和裝配的技術(shù), 也是制造技術(shù)的傳統(tǒng)領(lǐng)域。b) CE是對(duì)產(chǎn)品及其相關(guān)過(guò)程(包括制造過(guò)程和支持過(guò)程)進(jìn)行并行、一體化設(shè)計(jì)的一種系統(tǒng)化的工作模式。 面向回收的設(shè)計(jì)(DFR) 等, 可持續(xù)設(shè)計(jì)可以說(shuō)是人類文明的巨大進(jìn)步。所謂柔性, 是指一個(gè)制造系統(tǒng)適應(yīng)各種生產(chǎn)條件變化的能力, 它與系統(tǒng)方案、人員和設(shè)備有關(guān)。柔性已占有相當(dāng)重要的位置。柔性制造技術(shù)是對(duì)各種不同形狀加工對(duì)象實(shí)現(xiàn)程序化柔性制造加工的各種技術(shù)的總和。CAPP): 由計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)、計(jì)算機(jī)輔助工藝編制和數(shù)控程序編制等功能組成, 用以支持產(chǎn)品的設(shè)計(jì)和工藝準(zhǔn)備, 處理有關(guān)產(chǎn)品結(jié)構(gòu)方面的信息。它與當(dāng)代一些主要科學(xué)技術(shù)的發(fā)展有密切的關(guān)系，是當(dāng)代科學(xué)發(fā)展的一個(gè)重要環(huán)節(jié)。 直線導(dǎo)軌總的來(lái)說(shuō)，從精度角度看，空氣導(dǎo)軌是現(xiàn)在最好的導(dǎo)軌。近年來(lái)，微光學(xué)器件的發(fā)展使光柵技術(shù)有了很大的進(jìn)步。利用補(bǔ)償技術(shù)來(lái)提高機(jī)床的精度是一種有效的手段。還可采用各種能量束的加工方法。參考文獻(xiàn):[ 1] 張柏清, 林云萬(wàn). 陶瓷工業(yè)機(jī)械設(shè)備[M]. 北京: 中國(guó)輕工業(yè)出版社, 1999.[ 2] 葛竺君. 陶瓷機(jī)械設(shè)備管理和使用維修[M ]. 北京: 中國(guó)輕工業(yè)出版社, 1990.[ 3] 朱繼洲. 故障樹(shù)原理和應(yīng)用[M ]. 西安: 西安交通大學(xué)出版, 1989.[ 4] 陸廷孝, 鄭鵬洲. 可靠性設(shè)計(jì)與分析[M]. 北京: 國(guó)防工業(yè)出版社,199523 / 23。使用STM方式的能量束加工已能進(jìn)行分子級(jí)的加工?？諝猸h(huán)境中主要應(yīng)控制的品質(zhì)是潔凈度， 一般超精密加工要求的潔凈度在1 000~100級(jí)， μm大小的塵埃不多于351 000~35100個(gè)( μm大小的塵埃不多于1 000~100個(gè))。在小距離的測(cè)量?jī)x器中，電容式、電感式測(cè)微儀仍是主要的設(shè)備，光纖測(cè)微儀也發(fā)展很快。此外，納米級(jí)精度加工機(jī)床的負(fù)荷和行程沒(méi)有那么大，所以應(yīng)優(yōu)先考慮空氣導(dǎo)軌。 超精密加工的技術(shù)范疇由于加工技術(shù)水平的發(fā)展，超精密加工劃分的界限逐漸向前推移，但在具體數(shù)值上沒(méi)有固定的界定。它是信息流和物流的接合部, 用來(lái)支持企業(yè)的制造功能。目前，按規(guī)模大小劃分為： 柔性制造系統(tǒng)（FMS）FMS 包含2 臺(tái)以上具有自動(dòng)刀具交換和