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體視顯微鏡校準規(guī)范-福建省質量技術監(jiān)督局(留存版)

2025-01-05 13:02上一頁面

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【正文】 分辨力 ????????????????????????? ( 6) JJF(閩) 10632020 II 物鏡放大倍率誤差 ???????????????????? ( 7) 左右光學系統(tǒng)放大倍率差 ????????????????? ( 7) 8 校準結果表達 ?????????????? ????????? ( 8) 9 復校時間間隔 ??????????????????????? ( 8) 附錄 A柵格狀分辨率板線寬表 ????????????????? ( 9) 附錄 B校準記錄 ( 式樣 ) ???????????????????? ( 10) 附錄 C校準證書 內容及內頁格式 ???????????????? ( 11) 附錄 D物鏡放大倍率誤差的 校準結果 測量 不確定度評定 ?????? ( 12) JJF(閩) 10632020 III 引 言 JJF 1071— 2020《國家計量 校準規(guī)范 編寫規(guī)則》 、 JJF 1001— 2020《通用計量術語 及定義》、 JJF — 2020《測量不確定度評定與表示》共同構成支撐本校準規(guī)范的基礎性系列技術文件。 左右齊中差 物面中央物點的像在左右視場內對應位置的一致性。 4%。 )、十字分劃板 5 左右齊中差 分度值為 ( MPE:177。然后調整物方分劃板使物方分劃板像的中心與十字分劃目鏡的分劃板中心重合,從最高倍率至最低倍率變換過程中,找出物方十字分劃線像中心的最大偏移位置,用十字分劃目鏡測量其偏移的大小即為左側目鏡的變倍齊中差△ 左 。對于有級變換型和物鏡卸換型的體視顯微鏡,應對每個倍率的物鏡分別測量放大倍率誤差。 JJF(閩) 10632020 14 表 標準不確定度分量一覽表 標準不確定度分量 ? ?ixu 不確定度來源 標準不確 定度值? ?ixu ( mm) ii xc ??? ? ? ?ii xuc ? )('Lu 輸入量 L1 )(1 'Lu 測量重復性 / / )(2 'Lu 目鏡標尺允許誤差 / / )(Lu 玻璃線紋尺允許誤差 ?)( iu? =% 合成標準不確定度 依據(jù)公式( ),以 1 倍放大倍率為例有 )()1()()1()( 22222 LuLLuLu i ??? '標?? 2222 )110( 1 ????? = 106 ?)( iu? =% 擴展不確定度 取包含因子 k=2,物鏡放大 1倍 時, 擴展不確定度為 U= k 方差和靈敏系數(shù) 考慮到各輸入量彼此獨立,依 )()( 222 iicxuxfyu ? ????????? 可得: )()()()( 22222122 LucLucuyu ic ??? '? ( ) 式中靈敏系數(shù): 標' ?? ?????? LLc i 11 標'?? ????? 22 L LLc i 因為 L' ≈ L˙ β 標 ,故 2c 可簡化為 Lc 12? 把 c c2代入式( )可得方差: )()1()()1()( 22222 LuLLuLu i ??? '標?? ( ) JJF(閩) 10632020 13 標準不確定度分量的計算 輸入量 L'引 入的不確定度分量 )('Lu 輸入量 L'引入的不確定度分量 )('Lu 由測量重復性引入的不確定度分量)(1 'Lu 和目鏡標尺允許誤差引入的不確定度分量 )(2 'Lu 組成。 將玻璃線紋尺刻度間距像與目鏡分劃尺相比較,在左側目鏡分劃尺上讀取玻璃線紋尺所用刻度間距像的示值,按式( 7)求得左側光路的物鏡放大倍率 β 左 i : LLi '左 ?? ( 7) 式中: L — 玻璃線紋尺所用刻度間距,格; L' — 目鏡分劃尺上讀得的玻璃線紋尺所用刻度間距像的值,格。 在使用左、右兩側目鏡所得到的測量結果中,取最大值作為變倍齊焦差測量結果。固定在立柱上的調焦滑座不會由于本身以及附加裝置的質量而自行下降。 分辨力 物鏡分辨力一般不小于 1200 注:在國標中稱為“齊焦”。 凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本規(guī)范。 DF按照下式計算: MNANAD ????? 7 1)(2 2F ? ( 1) JJF(閩) 10632020 3 式 (1)中: DF — 景深; NA — 數(shù)值孔徑; M — 總放大率; λ — 光波波長,通常 λ=。光學系統(tǒng)應成像清晰,視場內不應有影響測量的霉斑、臟物、劃痕等疵病,照明裝置應在視場范圍內使被測對象得到均勻并有足夠亮度的照明。對于連續(xù)變倍型體視顯微鏡,可對物鏡高、中、低三個倍率分別測量變倍齊焦差。對于連續(xù)變倍型體視顯微鏡,可只對物鏡調至最高倍率時測量分辨力。 校準證書內頁格式: 校準證書內頁格式見表 。 結語 依據(jù)本校準方法,體視顯微鏡的物鏡放大倍率誤差應不超過 4%,而文中分析的結果均小于三分之一的最大允許誤差。 左右光學系統(tǒng)放大倍率差 按 物鏡放大倍率誤差獲得的測量值,按式( 9)計算出左右光學系統(tǒng)的 JJF(閩) 10632020 8 放大倍率差: iiii 右左右左 ????? ????? ( 9) 8 校準結果表達 經(jīng)校準的體視顯微鏡出具校準證書。 對于有級變換型和物鏡卸換型的體視顯微鏡,本項目應對每 個倍率分別進行測量
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