【正文】 D相機(jī)相連， EBSD花樣能直接或經(jīng)放大儲(chǔ)存圖象后在熒光屏上觀察到。在掃描電鏡x射線能譜分析中，可能難以在化學(xué)成分基礎(chǔ)上區(qū)別某元素的氧化物(如Fe203，F(xiàn)e304和FeO)、碳化物(如M7C3，M3C等)或氯化物，但EBSD有時(shí)卻很容易地從相的結(jié)晶學(xué)關(guān)系上毫無疑問的分開，如直接區(qū)別鐵的體心立方和面心立方。在取向測(cè)量方面，TEM只被推薦用于低于EBSD的分辨率極限(即小于0．19m)的測(cè)量，如納米多晶材料和嚴(yán)重變形材料。前者雖然可以獲得材料晶體結(jié)構(gòu)及取向的宏觀統(tǒng)計(jì)信息，但不能與微觀組織形貌相對(duì)應(yīng)，也無從知道不同相及不同晶粒取向的分布狀況?；贓BSD自動(dòng)快速的取向測(cè)量，EBSD可進(jìn)行微織構(gòu)分析，從而了解這些取向在顯微組織中的分布情況。由于角很小，這兩只雙曲線接近為一對(duì)平行圖1 EBSP形成機(jī)制示意圖直線，這就是Kikuchi線對(duì)。1973年，Venables和Harland在掃描電鏡上用電子背散射衍射花樣對(duì)材料進(jìn)行晶體學(xué)研究，開辟了EBSD在材料科學(xué)方面的應(yīng)用。只需很少的輸入操作，軟件程序可對(duì)花樣進(jìn)行標(biāo)定以獲得晶體學(xué)信息。EBSD在相鑒定方面的另一個(gè)優(yōu)勢(shì)就是區(qū)分化學(xué)成分相似的相，如：M7C3和M3C相，鋼中的鐵素體和奧氏體[1011]。因此，EBSD是X射線衍射和TEM進(jìn)行取向和相分析的補(bǔ)充，且具有微區(qū)、快速的特點(diǎn)。4 EBSD與其他衍射技術(shù)的比較晶體結(jié)構(gòu)及晶粒取向的傳統(tǒng)研究方法主要有兩個(gè)方面：一是利用X光衍射或中子衍射測(cè)定宏觀材料中的晶體結(jié)構(gòu)及宏觀取向的統(tǒng)計(jì)分析：二是利用透射電鏡中的電子衍射及高分辨成象技術(shù)對(duì)微區(qū)晶體結(jié)構(gòu)及取向進(jìn)行研究。目前，EBSD分析技術(shù)最直接的應(yīng)用就是通過測(cè)量晶粒取向，獲得不同晶?；虿煌嚅g的取向差，測(cè)量各種取向晶粒在樣品中所占比例，分析單晶的位向和完整性，孿晶[6]和再結(jié)晶，第二相和金屬基體間位向關(guān)系，斷裂面的結(jié)晶學(xué)分析，蠕變[7]，偏聚和沉淀，以及擴(kuò)散和界面遷移等。如果熒光屏與圓錐頂角相截，在熒光屏上就可以得到兩只雙曲線（如圖1所示）。20世紀(jì)80年