【正文】 失很大，所以，波譜儀 難以在低束流和低激發(fā)強度下使用 ，這是波譜儀的兩個缺點。 ? 被激發(fā)的特征 X射線照射到連續(xù)轉動的分光晶體上實現(xiàn)分光 (色散 )，即不同波長的 X射線將在各自滿足布拉格方程的 2?方向上被 (與分光晶體以 2:1的角速度同步轉動的 )檢測器接收。 圖 2217 電子探針結構示意圖 一、能譜儀 ? 能譜儀全稱為能量分散譜儀 (EDS)． ? 目前最常用的是 Si(Li)X射線能譜儀，其關鍵部件是 Si(Li)檢測器，即鋰漂移硅固態(tài)檢測器，它實際上是一個以 Li為施主雜質的 nip型二極管。 ? 不同的物理信號，要用不同類型的收集系統(tǒng)。 ? 由穩(wěn)壓、穩(wěn)流及相應的安全保護電路組成 6．真空系統(tǒng) ? 作用：確保電子光學系統(tǒng)正常工作、防止樣品污染、保證燈絲的工作壽命等。此外，能譜儀可在低入射電子束流 (1011A)條件下工作，這有利于提高分析的空間分辨率。 (a)能譜曲線； (b)波譜曲線 能譜議和波譜儀的譜線比較 電子探針分析的基本工作方式 ? 一是 定點分析 ，即對樣品表面選定微區(qū)作定點的全譜掃描，進行定性或半定量分析，并對其所含元素的質量分數(shù)進行定量分析； ? 二是 線掃描分析 ，即電子束沿樣品表面選定的直線軌跡進行所含元素質量分數(shù)的定性或半定量分析； ? 三是 面掃描分析 ，即電子束在樣品表面作光柵式面掃描，以特定元素的 X射線的信號強度調制陰極射線管熒光屏的亮度，獲得該元素質量分數(shù)分布的掃描圖像。 ? 在電子探針中， X射線是由樣品表面以下 ?m數(shù)量級的作用體積中激發(fā)出來的，如果這個體積中的樣品是由多種元素組成，則可激發(fā)出各個相應元素的特征 X射線。 ? EPMA使用的 X射線譜儀有 波譜儀 和 能譜儀 兩類。 3．信號檢測放大系統(tǒng) ? 作用：收集 (探測 )樣品在入射電子束作用下產生