【正文】
增加 。 鈍化(passivation)工藝能有效地減少晶體缺陷對少數(shù)載流子壽命的影響 。 p la t e d m e t a lp t y p en + +n+o x i d ep+m e t a l圖 6 激光埋沿式電池結(jié)構(gòu)示意圖 目前這一技術(shù)已轉(zhuǎn)讓給好幾家世界上規(guī)模較大的太陽能電池生產(chǎn)廠家如英國的BP SOLAR 和美國的 SOLAREX等 8)背面金屬鋁燒結(jié); 2)表面淡磷擴散; 1)表面金字塔的形成; 7)背面金屬鋁蒸發(fā); 6)槽內(nèi)濃磷擴散; 4)激光刻槽; 3)表面氧化物 (SiO2)生長; 9) 化學(xué)鍍前后面金屬電極; 10)邊緣切割。而短波長的太陽光是被這一層材料吸收的,因此這些太陽光的能量不能得到很好的利用 ,形成所謂的“死層”。 n+ +p +m e t a l2 0 0 ? m 3 m m圖 8 絲網(wǎng)印刷工藝生產(chǎn)的電池結(jié)構(gòu)示意圖 絲網(wǎng)印刷工藝過程包括: 表面金字塔的形成(以減少表面 反射); 磷擴散 ( 900oC 的高溫工藝); 邊緣切割; 絲網(wǎng)印刷前表面電極; 絲網(wǎng)印刷后表面電極; 電極燒結(jié) (800oC 的高溫工藝 ); 前表面減反射膜噴涂。 i n v e r t e d p y r a m i d sf i n g e rp p s i l i c o nnp p o x i d er e a r c o n t a c t o x i d e++p ++n +圖 5:實驗室高效太陽能電池結(jié)構(gòu)示意圖 實驗室高效太陽能電池的結(jié)構(gòu)具有以下特點: 1) 表面采用了倒金字塔結(jié)構(gòu)進(jìn)一步減小光在前表面的反射并更有效地將進(jìn)入硅片的光限制在電池之內(nèi); 2) 硅表面磷摻雜的濃度較低以減少表面的復(fù)合和避免表面 “