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光學(xué)薄膜技術(shù)第二章課件(專業(yè)版)

2025-09-10 05:24上一頁面

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【正文】 法布里珀珞濾光片的應(yīng)用長期以來,法布里一珀珞干涉型膜系作為獲得窄帶通濾光片的惟一途徑,在光學(xué)波段得到了廣泛的應(yīng)用。這種濾光片的相對(duì)半寬度常取1~8%,可見光區(qū)應(yīng)用的濾光片半寬度控制在5~10nm,峰值透過率30~40%;若要求半寬度比較窄,峰值透射率可控制在20%;若要求一個(gè)較深的抑制帶,可以考慮把兩個(gè)同樣的濾光片膠合起來,在紫外區(qū)常常這樣做。最簡單的薄膜窄帶濾光片是根據(jù)法布里—珀珞多光束干涉儀制成的,法布里珀珞干涉儀是由兩塊相同的、間距為d的平行反射板組成,這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)具可以代換成一個(gè)薄膜組合。截止濾光片的應(yīng)用 從數(shù)量上講,干涉型截止濾光片的應(yīng)用數(shù)量僅次于減反射膜;從種類上講,干涉型截止濾光片的應(yīng)用類型是所有光學(xué)薄膜器件中最多的。如果原膜系起止于高折射率層,則要求加一對(duì)低折射率層,否則剛好相反。歸納金屬、介質(zhì)分束鏡的優(yōu)缺點(diǎn):金屬分束鏡優(yōu)點(diǎn):中性好,光譜范圍寬,偏振效應(yīng)小,制作簡單缺點(diǎn):吸收大使用注意事項(xiàng):光的入射方向介質(zhì)分束鏡優(yōu)點(diǎn):吸收小,幾乎可以忽略缺點(diǎn):光譜范圍窄,偏振分離明顯,角度效應(yīng)明顯四、截止濾光片 概述 所謂截止濾光片是指要求某一波長范圍的光束高效透射,而偏離這一波長的光束驟然變化為高反射(或稱抑制)的干涉截止濾光片,有著廣泛的應(yīng)用(例如:電影放映機(jī)中的冷光鏡等)。反之也可提高藍(lán)端的反射,降低紅端的反射率。光譜兩端的反射率有所提高,但不十分顯著,所以2L層適宜于作微小的調(diào)整。 介質(zhì)分光膜 P35 介質(zhì)膜分光鏡與金屬分光鏡相比較,因?yàn)榻橘|(zhì)膜的吸收小到可以忽略的程度,所以分光效率高,這是介質(zhì)分光鏡的優(yōu)點(diǎn),但是介質(zhì)膜的特性對(duì)波長較敏感,給中性分光帶來困難;同時(shí),一般介質(zhì)膜分光鏡的偏振相應(yīng)較大,這也是它的不足之處。b、用于制備不同透、反比值的分光膜。在兩個(gè)多層膜之間,加進(jìn)一層厚度為1/4平均波長的低折射率層,如曲線D所示,透射峰完全消失,得到寬闊平頂?shù)姆瓷渎是€??梢钥闯?,存在著一個(gè)隨著層數(shù)的增加,反射率穩(wěn)定地增加的高反射帶寬度2△g 。膜層軟,易劃傷。但是蒸發(fā)的銀膜用作前表面鏡鍍層時(shí)卻因下列兩個(gè)原因受到嚴(yán)重限制:它與基片的粘附性很差;同時(shí)易于受到硫化物的影響而失去光澤。 ,λ0/4λ0/2λ0/4 型三層減反射膜是合適的;,λ0/4λ0/2λ0/2 型三層減反射膜更為合適。但對(duì)于偏離λ0的波長,表面反射增加,反射率曲線呈V字形,所以也有把這種λ0/4-λ0/4雙層增透膜稱為V形膜的。適當(dāng)條件下可完全沒有反射光或只有很弱的反射光。 就拿一個(gè)由18塊透鏡組成的35mm的自動(dòng)變焦的照相機(jī)來說,假定每個(gè)玻璃和空氣的界面有4%的反射,沒有增透的鏡頭光透過率為23%,鍍有一層膜(%)%,鍍多層膜(%)%。這雖然不很理想,但也得到了相當(dāng)?shù)母倪M(jìn)。同一個(gè)G︱2HL︱A膜系的減反射效果隨著基底折射率的不同而大不相同。這個(gè)問題不同于可見區(qū),在可見區(qū),其目的是將大約4%的反射損失減小到千分之幾。曾試圖使用蒸發(fā)的一氧化硅或氟化鎂作為保護(hù)膜,但由于它們與銀的粘附性很差,沒有獲得成功。 鉑、銠:穩(wěn)定、牢固 多層介質(zhì)高反射膜 p30 上一節(jié)所述的金屬反射膜包含較大的吸收損失,對(duì)于高性能的多光束干涉儀中的反射膜以及激光器諧振腔的反射鏡,要求更高的反射率和盡可能小的吸收損失。在可見光區(qū)域能找到的 有實(shí)用價(jià)值的 材料中,在紅外區(qū)域中。對(duì)于不同的用途,分光鏡往往有不同的透反比T/R。Cr膜的中性較好,其機(jī)械強(qiáng)度和化學(xué)穩(wěn)定性都非常好,它的分光曲線比較平坦,在可見區(qū)域,一般長波端的反射率比短波端高10%左右。對(duì)于結(jié)構(gòu)如 G︱HLH︱G這樣的三層膜系統(tǒng),nH=。 C、G|2LHLHL2H|G。布儒斯特角條件: tgθH = nL/nH 折射定律: nHsinθH = nLsinθL = ngsinθg 如果給定膜層的折射率nL和nH,也即確定了膜層的折射角θL 和θH 。但吸收型截止濾光片的截止波長不是隨便可以移動(dòng)的。舉例:若短波通濾光片的技術(shù)要求為:HR:780 —— 930nm R>99% HT:496 —— 664nm T>95%HR代表高反;HT代表高透。解決棱鏡式分光元件偏振效應(yīng)的方法是合理設(shè)計(jì)分光棱鏡的形式,盡可能減小光束在膜面上的入射角。F—P干涉濾光片的反射膜可以是金屬膜,我們稱它為金屬—介質(zhì)F—P干涉濾光片;反射膜也可以是全介質(zhì)膜,稱之為全介質(zhì)F—P干涉濾光片。蒸鍍之后膜層應(yīng)盡快地與蓋片玻璃膠合,并注意用環(huán)氧樹脂膠封邊,以防水氣的侵害。截止濾光片膜系可以鍍?cè)诜至⒌幕咨希舾刹煌刂共ㄩL的截止濾光片組成一套具有不同半寬度和峰值波長的寬帶濾光片。全介質(zhì)法布里珀珞濾光片由于金屬膜吸收比較大,限制了濾光片性能的進(jìn)一步提高,所以如果用λ/4全介質(zhì)反射膜系取代金屬反射膜,則可以大大提高FP濾光片的性能。例如T12=,A12=,Tmax=50%左右。 濾光片的主要參數(shù):λ0 ——中心波長或稱峰值波長;Tmax——中心波長透射率,也即峰值透射率;2△λ——透過率為峰值透過率一半的波長寬度,也稱通帶半寬度,有時(shí)也用2△λ/λ0表示相對(duì)半寬度。這往往會(huì)影響到干涉截止濾光片在實(shí)際中的應(yīng)用,為此,需盡量想辦法降低反射峰的負(fù)面影響。它既可以用作截止長波的短波通濾光片,也 可以用作截止短波的長波通濾光片。 在偏振分光膜的每個(gè)界面上,入射角都必須滿足布儒斯特角條件。修改方法可以用一中間折射率的λ0/4M膜代替一高折射率膜層,使反射率得到適當(dāng)?shù)恼{(diào)整。這種分光鏡的反射光為綠色,而透射光呈紅色。因而從空氣側(cè)入射時(shí)的吸收比從玻璃側(cè)入射時(shí)的吸收要小得多。的直角棱鏡斜面上,再膠合一個(gè)同樣形狀的棱鏡,構(gòu)成膠合立方體。方法二、在一個(gè)λ/4多層膜上,疊加另一個(gè)中心波長不同的多層膜。當(dāng)膜系的反射率很高時(shí),額外加鍍兩層將使膜系的透射率縮小(nL/nH) 倍。用氟化鎂(鍍層很牢固)和氟化鋰(鍍層強(qiáng)度較差)作為防止鋁氧化的保護(hù)膜,在紫外區(qū)得到了成功的應(yīng)用。二、高反射膜 在光學(xué)薄膜中,反射膜和增透膜幾乎同樣重要,高反射膜是構(gòu)成激光諧振腔的重要部件之一,同時(shí)在激光的發(fā)射和轉(zhuǎn)折中也用高反射膜作反射器,所以反射膜是激光技術(shù)中很重要的組成部分。λ0/4λ0/2 W型膜在低反射區(qū)的中央有一個(gè)的凸峰,為了降低這個(gè)反射率的凸峰,又要保持半波長層的光滑光譜特性的作用
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