材料現(xiàn)代分析測試第七章(專業(yè)版)
【正文】 因此 ， 電磁透鏡是一種變焦距或便倍率的匯聚透鏡 ， 這是它有別于光學(xué)透鏡的一個特點 。 因此 ， 要提高顯微鏡的分辨本領(lǐng) ， 關(guān)鍵是要有波長短 ， 又能聚焦成像的照明光源 。 73 電磁透鏡的景深與焦長 ◆ 景深 ◆ 焦長 ◆ 景深 景深 :不影響分辨率條件下 ,電磁透鏡物平面 允許的軸向偏差 . 電磁透鏡 , ,當 =10A0, 2022nm. 故加速電壓 100KV 范圍內(nèi) ,試樣厚度在 200nm內(nèi) ??00 22 rtgrD f ??r ad32 1010 ?? ??? 0r?2 0 0?fD◆ 焦長 焦長 : 不影響透鏡分辨率條件下 ,像平面可 沿軸向平移距離 如 =10A0, rad. M=200, DL= 4mm, 0r?210 ???202 MrDL ??綜上因電磁透鏡孔徑半角小 ,景深大 ,焦長長 . ?。 顯微鏡的分辨本領(lǐng)為 式中 λ — 照明光源的波長 。 72 電磁透鏡的像差與分辨
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