【正文】 5 尾氣回收 系統(tǒng) 的標準操作 尾氣回收系統(tǒng)是一個連續(xù)運行的單元，由相關(guān)的工藝參數(shù)進行自動控制，下面對本單元進行詳細描述。 在壓縮單元 啟動 過 程 中 ，要 開啟 壓力計V9200T400PIRCZA177。200 和 LICSA177。 2) 打開從 解析塔 回流罐 回 至 氯化氫解析塔 V9200T300AK110線路。 12) V9200T200PIRCA177。204控制流量。 2) 全部打開流向冷卻器 V9200T100AW111,112和 113的冷卻水 閥門 。 3. 冷卻 過程 。 4) 關(guān)閉開關(guān)閥 V9200T500US806,816和 826。 14) 液位 計 V9200T300LIRCZA177。 6) 停止 向 氯硅烷凝液緩沖罐 V9200T100AB150充入 STC，通過液位測量儀V9200T400LIRCZA177。 10) 關(guān)閉換熱器 V9200T300AW210和 V9200T400AW250的進出口 閥門 。C 和 20176。 在裝置 啟動前，必須 先通入氫氣 將 氮氣排除掉 ，然后再 開車。 11) 必須檢查配套 的 公用措施（例 如蒸汽，冷卻水，甲苯冷卻液和儀表氣源）是否就位。 3) 整個廠 區(qū)必須整潔合理，在區(qū)域內(nèi)不得存在任何阻礙人員走動的雜物。 內(nèi)管 應(yīng)該鉆入 外 管 內(nèi) 。 除了這些產(chǎn)物外，還有粗 STC，純度在 %。吸收塔塔釜 富含 HCL 的氯硅烷液體進入 吸收塔進料出料換熱器 1T200AW150/2T200AW151，由來自氯化氫解吸塔塔釜的氯硅烷進行加熱后，進入氯化氫解吸塔 T300AK110 中部，塔釜釜液經(jīng)解吸塔再沸器T300AW210 蒸汽加熱汽化形成上升氣流，與從上部流下來的液體逆向接觸，通過氣液兩相在塔板上的傳質(zhì)、傳熱過程，輕組分（ HCL）從塔頂排出，進入解吸塔冷凝器 T300AW180,由 60℃的甲苯冷卻，不凝氣通過壓力調(diào)節(jié)閥返回冷凝系統(tǒng)的氯硅烷冷凝器 T100AW110B。 3）吸附 再生系統(tǒng) 從吸收塔 塔頂 出來的氫氣，進入活性炭吸附塔 塔底 ， 通過吸附塔中的吸附劑活性炭 除去氫氣中殘留的氯硅烷和氯化氫，使氫氣純度更高，吸附塔吸附飽和后，對吸附塔進行切換 ，對飽和的吸附塔再生。一級淋洗是被從氯化氫解析塔底部送來的經(jīng)冷凍降溫的氯硅烷液體在吸收塔塔頂噴淋，二級淋洗是被從氯化氫吸收塔底部送來的經(jīng)冷凍降溫的氯硅烷在吸收塔中 下 部噴淋。本操作手冊是裝置技術(shù)文件的一部分。氯化氫冷凝液經(jīng)泵送入氯化氫緩沖罐，經(jīng)氯化氫汽化器加熱汽化后，送至三氯氫硅合成工序循環(huán)使用。這樣經(jīng)過一次部分汽化和部分冷凝，使 氣液兩相中 各組分濃度的改變得到了初步分離。 大部分經(jīng)氫氣過濾器 AF120AB 過濾后，返回至增壓尾氣預(yù)冷器 T200AW120AB及增壓尾氣冷卻器 T200AW121AB冷卻壓縮機出口的混合氣后，一部分回流至尾氣壓縮機 AV100/AV101/AV102 入口補壓，另一部分經(jīng)氫氣緩沖罐 T700AB909，至還原及氫化和三氯氫硅合成工序。雜質(zhì)為 HCl： %。 塔 在塔 V9200T300AK110 和 V9200T400AK120 的出料 管線 和進料管線中裝有雙 重 開關(guān) 閥 ，以防止 塔內(nèi)過壓。先在設(shè)備的空閑管口連接了一個壓力記錄裝置，然后用氮氣給設(shè)備加壓。 14) 通知 消防隊、鍋爐房 和所有 供給 尾氣回收系統(tǒng) 操作 物料 的車間 ，這不 局限于工作開始時。制冷機組 T600 包含如下設(shè)備： 1) 制冷機組 V9200T600GC103 (提供冷凍劑 1) 2) 冷凍劑 1泵 V9200T600AP190A/B 3) 用于冷凍劑 1的膨脹罐 V9200T600AB200 4) 制冷機組 V9200T600GC102 (提供冷凍劑 2) 5) 冷凍劑泵 2V9200T600AP200A/B 6) 用于冷凍劑 2的膨脹罐 V9200T600AB190 7) 制冷機組 V9200T600GC100 (提供冷凍劑 3) 8) 冷凍劑 3泵 V9200T600 AP170A/B 9) 用于冷凍劑 3的膨脹罐 V9200T600AB180 2. T600 制冷單元 驟啟動步驟 。 3) V9200T980LICA177。 初次需注入的 STC 約需 25m3。 此外， 因為在最后 的 步 驟中沖入 1 barg的氫氣，所以 V9200設(shè)備為正壓運行，必須采取 特殊 措施 。 尾氣回收工藝操作規(guī)程（絕密） 14 16) 繼續(xù)供給 STC， 流量控制器 V9200T300FIRC120開始工作 ， 設(shè)定值不 得大于向尾氣冷凝液罐 V9200T100AB160供料的流 量 。 9) 開關(guān)閥 V9200T500US804A打開 ,814A和 824A，保持 關(guān)閉 。 2) 關(guān)閉開關(guān)閥 V9200T500US814A和 824A。 5) 當 壓縮機吸氣 口 達到 所需 的 5barg壓力 后 ，其中的一 臺 壓縮機開始 運行 。 6) V9200T200TIC403 和 V9200T200TIC425開始 運行 ， 并冷卻 STC循環(huán)液 。 在壓縮單元 啟動時， 壓力計 V9200T300PIRCZA177。 6) 溫度計 V9200T300TIC411開始 工作 。二級冷凝 單元 包含如下設(shè)備： 1) 還原 爐尾氣 冷凝器 V9200T100AW110A 2) 氫化 爐尾氣 冷凝器 V9200T100AW110B 3) 尾氣 凝液罐 V9200T100AB150 4) 冷凝單元的 凝液輸送泵 V9200T100 AP110A/B 5) 旋流分離器 V9200T100AF110A/B 尾氣回收工藝操作規(guī)程（絕密） 19 6) 排空槽 V9200T100AB118 2. T100 冷 凝 單元的開車 步驟 1) 預(yù)冷器 V9200T100AW100A/B/C開始運行。 1) 流向氯硅烷冷凝器 V9200T400AW230A/B的 冷卻水仍然保持打開。尾氣回收工藝操作規(guī)程（絕密） 21 第二級冷凝器 V9200T100AW110A/B 的冷卻介質(zhì)是甲苯，它 的供應(yīng)溫度為 20℃，返回溫度是 15 176。 尾氣回收工藝操作規(guī)程（絕密） 20 5) 當氯硅烷精餾塔 V9200T400AK120內(nèi)的溫度 達到 預(yù)定 溫度后， 開始 串 聯(lián)調(diào)節(jié) V9200T400FQRC101和 FQ106。 7) 打開氯硅烷回流槽 V9200T100AB160通向 氫化單元 V1500的閥門 。335開始 運行 。 T300 單元的 HCI 蒸發(fā)系統(tǒng)包含以 下設(shè)備 ： 1) 氯化氫緩沖罐 V9200T300AB210 2) HCl蒸發(fā) 器 V9200T300AW205 3) 氯化氫冷 凝 器 V9200T300AW200 4) 氯化氫 蒸發(fā) 器 V9200T300AW208 T300 單元中的 HCl 蒸發(fā)系統(tǒng) 的 作用 是 ： HCl 的中間存儲和 HCI 的蒸發(fā)，然后 送 至 V1200 單元 進行 再 利 用。C， 而且 泵 的運行 穩(wěn)定 時 ，表示該塔已經(jīng)就緒 。 9) 當 壓縮機 運行 穩(wěn)定， 并 達到 所需的 18barg排出壓力 。 尾氣 壓縮 機成套包 1. 壓縮單元 T100 的目的是 ： 使來自還原 爐 和氫化 爐 的尾氣達到 所需 的 16 barg 壓力。C 。 吸附工序開始前， 首先 向 吸附塔內(nèi)充滿熱氮氣以除掉活性炭的潮濕吸附物。 12) 液位 計 V9200T100LICZA177。202開始工作， 并將 STC輸送至精餾塔 V9200 T400AK120， 繼續(xù)充入 STC。 6) V9200T980TIRCA+401開始運行。 5) 當 制冷 系統(tǒng)中 充滿 甲 苯 后 ， 斷開供 料 連接 。 在氮氣置換過程中，要特別注意的是必須清除管道死角中的空氣。 8) 確認所有的儀器，必須處于良好的運行狀態(tài)。 HCI 緩沖罐 V9200T300AB210 和 HCI 蒸發(fā)器 V9200T300AW205 都 另外配備了 應(yīng)急冷 卻 器 V9200T300AW200 和 V9200T300AW208； 當 外界 與罐熱交換導(dǎo)致罐內(nèi)壓力增加 時 ，冷 卻 器 V9200T300AW200和 V9200T300AW208可 自動 運行 （打開冷凝 液 2 供料 ） 。 運行溫度、壓力對于尾氣回收系統(tǒng)來說事關(guān)重大。 1) 氫氣：是無毒的、沒有氣味、無色、但非常易燃的氣體。根據(jù)系統(tǒng)工況的需要，經(jīng)過深冷后的氯硅烷冷凝液分為兩股： 1）如果需要回收氯化氫且氯化氫解吸塔 T300AK110 的負荷能滿足要求，則這部分冷凝液進入氯硅烷凝液槽 T100AB110，經(jīng)氯硅烷凝液泵送入氯化氫解吸塔 T300AK110。 1）冷凝 和壓縮系統(tǒng) 利用氯硅烷、 氯化氫 、氫氣 凝沸點 的 不同， 首先通過一系列換熱器冷卻來自還原氫化的反應(yīng)尾氣，將氯硅烷冷凝下來進行分離。 適用性 本操作手冊適用于國電寧夏太陽能有限公司 2500t/a 多晶硅項目。 聲明：本手冊非最終版。最后通過 吸附 凈化氫氣，使 尾氣中的氯硅烷、 氯化氫、 氫氣分別 循環(huán) 回收利用。不凝氣體進入氫化爐氯硅烷冷凝器 T100AW110B，由 60℃的甲苯冷卻，氣體經(jīng)除沫器 T100AF110B 進行氣液分離。每種物質(zhì)都具有各自的特性并具 有各種不同的危害性。 尾氣回收 崗位負責(zé)循 尾氣壓縮機的正常運轉(zhuǎn) ， 做好塔器、 機泵 、罐槽 的 日常維護，確保機泵的平穩(wěn)運行，保證整個裝置的安全平穩(wěn)。 此外， 裝有低溫 HCl 的 液罐和管道更需要安裝 減壓 閥 ，以 防止由于熱膨脹或 HCI 蒸發(fā)造成的 壓力。 7) 用于液 位及壓力控制的手動閥必需打開使其保持工作狀態(tài)。置換順序應(yīng)該從最上游的設(shè)備開始，逐步移至下游，直到尾氣回收系統(tǒng)的出口。 4) 給各個 換熱器排 氣 。 5) 將 冷凝 液 增壓泵 V9200T980AP121A/B設(shè)置為運行狀態(tài) 。 3) 液位計 V9200T100LICSA177。繼續(xù) 向 氯硅烷凝液回流罐 V9200T100AB160供給 STC。吸附單元含如下設(shè)備： 1) 吸附塔 V9200T500AK130 2) 吸附塔 V9200T500AK140 3) 吸附塔 V9200T500AK150 4) 廢氣冷卻器 V9200T500AW255 5) 氮氣冷卻器 V9200T500AW280 6) 電加熱器 V9200T500GC104 7) 電加熱器 V9200T500GC104 2. 調(diào) 試 過程 。 13) 溫度計 V9200T500TIC410開始 工作， 設(shè)定溫度 250176。 7) 吸附單元 入口 的開關(guān)閥 V9200T500US844保持關(guān)閉。 8) 向 HCl吸收塔 V9200T200AK100中 注入氫氣 ， 直 到壓縮機的 排氣 壓力達到18barg。C和 60176。213 控制下 ，達到正常運行的液位高度 。 3. HCI 存儲罐的啟動 1) V9200T300PIRCA177。 6) 溫度計 V9200T100TIC408和 410開 始 控制 。203檢測 液位 達到 預(yù)定 高度 后， 精餾塔的回流泵 V9200T400AP150A/B開始工作， 塔的運行 回流比為 100%。C，被用作冷凝單元二級冷凝器 V9200T100AW110A/B 的冷凝介質(zhì)。 2) 打開控制閥 V9200T400UC801，蒸汽 可以 流向 TCS塔 V9200T400AW250的 再沸器。 2) 冷凝器 V9200T100AW110A開始運行 。 7) 開始用 V9200T300TIC412和 V9200T300FIRC115串聯(lián)控制 回流 。322 也開啟。必須 特別 注意精 餾塔 V9200T300AK110和 V9200T400AK120塔釜液 的溫度，因為 ，這個 溫度 不應(yīng)該 低于泵 V9200T300AP140A/B 和 V9200T400AP160A/B的最低設(shè)計溫度 零度 。 6) 壓力計 V9200T300PIRCZA177。 3) 電加熱器 V9200T500GC105開始 運行 。 10) 開關(guān)閥 V9200T500U803開啟 ,813和 823保持 關(guān)閉 。 17) 液位 計 V9200T200LIRCZA177。 10) 當 液位 計 9200T100LICSA177。 1) 將 STC裝入氯硅烷冷凝 液回流 罐 V9200T100AB150。205 測量 達 到 預(yù) 定 液 位 后 ， 將 蒸汽冷凝泵V9200T980AP120A/B設(shè)置到運行狀態(tài) 。 在 制冷裝置首次 運行之前， 制造商必須完 成冷卻裝置的功能測試 ， 并 出具 證 書。 尾氣 回收 系統(tǒng) 的 氮氣 惰 化 系統(tǒng)氮氣置換是尾氣回收系統(tǒng)必須進行的步驟，以避免工藝物料（ TCS，STC， DCS）與系統(tǒng)內(nèi)的 空氣和水分發(fā)生反應(yīng)，產(chǎn)生危險。將 5bar(g)壓力至少保持 1 小時。壓力傳感器也是雙 重 執(zhí)行 ， 如果其中的一個傳感器 探測到 過壓，所有的閥門都 會立即 自動關(guān) 閉 。 尾氣回收工藝操作規(guī)程（絕密） 8 生產(chǎn)規(guī)模 每小時（平均）處理 。 精餾 系統(tǒng) 來自氯化氫解吸塔 T300AK110塔釜和氯硅烷冷凝液緩沖槽 T100AB150的氯硅烷進入循環(huán)氯硅烷精餾塔中部 ，塔釜釜液經(jīng) 精餾塔