cda系統(tǒng)及制程真空系統(tǒng)簡介精講(更新版)
【正文】 a=1.01Bar=760Torr。,制程真空系統(tǒng),控制回路~Local/Cont,第三十六頁，共三十八頁。,制程真空系統(tǒng),真空機組成,第二十八頁，共三十八頁。,壓縮干燥空氣系統(tǒng),再生過程~加熱程序(240min max),入口閥,A桶排氣閥(ON),B桶排氣閥(OFF),A桶泄壓閥(OFF),B桶泄壓閥(OFF),加熱桶槽,吸附桶槽,建壓閥(OFF),加熱溫度 控制開關(guān) (維持200℃),加熱器溫度 保護開關(guān) (370℃),加熱結(jié)束溫度 控制開關(guān) (80℃),1.鼓風機啟動 2.加熱器啟動,第二十頁，共三十八頁。,壓縮干燥空氣系統(tǒng),干燥機組件介紹~氣動控制閥件,第十二頁，共三十八頁。Normal風量轉(zhuǎn)換 ?理想氣體定律 ?(P1*V1)/T1=(P2*V2)/T2 ?P：絕對壓力 ?T：絕對溫度 Standardamp。,~第一單元~ 壓縮干燥空氣系統(tǒng),第二頁，共三十八頁。,壓縮干燥空氣系統(tǒng),離心式空氣壓縮機,第八頁，共三十八頁。,壓縮干燥空氣系統(tǒng),干燥機溫度/壓力表(機械式),B桶槽,冷卻壓力,第十五頁，共三十八頁。,壓縮干燥空氣系統(tǒng),微粒子補捉原理,氣流,慣性/沖擊,粒子,粒子,粒子,欄截,擴散/靜電,粒子運動路徑,粒子運動路徑,第二十三頁，共三十八頁。,制程真空系統(tǒng),真空機~入口導引閥,真空開關(guān)設(shè)定：下限?26.0inHg 上限?28.0inHg,設(shè)備啟動(真空度小于26.0inHg vac),真空度大于26.0inHg(vac) 小于28.0inHg(vac) (重載),真空度大于28.0inHg(vac) (輕載),第三十一頁，共三十八頁。離心式空氣壓縮機(螺旋式空氣壓縮
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