【正文】 是密閉循環(huán)，副產(chǎn)的 SiCl4 大量囤積、不僅 年產(chǎn) 500 噸硅烷 項目節(jié)能評估 報告 書 26 增加了環(huán)境污染的可能性、還增加了產(chǎn)品成本。 Si、 Cl 消耗低，三廢處理量小，環(huán)保壓力低（ Si： ，Cl： ） 。硅烷法工藝的副產(chǎn)物對環(huán)境不會造成大的危害，屬于環(huán)境友好型多晶硅工藝 。 總平面布置評估 硅烷生產(chǎn)項目及配套裝置 將整個區(qū)域主要劃分為 硅烷生產(chǎn) 系統(tǒng)、冷氫化處理 系統(tǒng)、 精餾系統(tǒng) 系統(tǒng)、 尾氣回收 系統(tǒng)、 變配電間 、 原料倉庫 、 成品倉庫、辦公樓及中控分析室 、 污水處理 、除鹽水站、循環(huán)水泵站、灌裝區(qū) 等， 總體設(shè)計符合城市規(guī)劃有關(guān)技術(shù)指標(biāo)要求，符合《建筑設(shè)計防火規(guī)范》中有關(guān)建筑防火間距 要求和消防車道的規(guī)范。 （ 4） 噪 聲污染 治理 本項目噪聲主要來自 電機(jī)、泵 以及生產(chǎn)中其它設(shè)備的噪聲 ， 一方面設(shè)備選型時盡量選用低噪聲的設(shè)備，另一方面這些機(jī)械轉(zhuǎn)動設(shè)備都分別在各自的單獨房間內(nèi)安裝，均采取了隔聲措施，對外界噪聲影響較弱 ，設(shè)備安裝設(shè)計過程中 加裝消聲器和防震墊，可減弱噪聲的傳播。公司建有三廢分廠，專門集中處理生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢水、廢氣及固廢。且都是由城市配電網(wǎng)直接供電。 500噸硅烷項目實施，主要節(jié)能方面在于配套 3 萬噸 /TCS 規(guī)模冷氫化 ，淘汰舊 熱氫化 工藝 ，能耗大大降低。/a 1275 五 運(yùn)輸量 運(yùn)入量 t/a 20414 運(yùn)出量 t/a 20xx 六 全廠定員 人 459 其中：生產(chǎn)工人 人 280 管理、專業(yè)技術(shù)人員 人 179 七 占地面積 廠區(qū)占地面積 畝 637 全廠建筑面積 畝 400 八 工程項目總投資 萬元 32097 九 能耗指標(biāo) 噸標(biāo)煤 /年 19963 十 固定資產(chǎn)投資 萬元 20553 十一 年平均銷售收入 萬元 18900 十二 年均總成本費(fèi)用 萬元 11375 十三 年均稅金及附加 萬元 145 十四 年均利潤總額 萬元 7875 十五 財務(wù)評價指標(biāo) 投資利潤率 % 投資利稅率 % 全部 投資回收期 年 項目 用能概況 項目主要用能設(shè)備和供、用能系統(tǒng) 項目主 要 能耗系統(tǒng)包括 硅烷生產(chǎn)裝置、硅烷氣充裝系統(tǒng)、冷氫化處理裝置 、精餾 裝置 。 精餾裝置。 (3)熱氫化單元工藝流程簡述 來自氯硅烷罐區(qū)的精制四氯化硅通過泵加壓進(jìn)入氫化爐汽化器，汽化器外設(shè)蒸汽夾套，內(nèi)設(shè)盤管，用 10bar(g)的蒸汽加熱，將四氯化硅汽化送至各氫化的氣體混合氣柜，與高純氫氣按一定比例在氣體混合氣柜均勻混合，經(jīng)氫化爐尾氣換熱器（力臂克管），由氫化爐反應(yīng)尾氣預(yù)熱后，通過氫化爐底盤噴嘴進(jìn)入爐內(nèi)，在 1250℃溫度下，氫氣與四氯化硅發(fā)生反應(yīng)，生成二氯二氫硅、三氯氫硅和氯化氫。 如采用氯化氫參與的冷氫化反應(yīng) ，則氯化氫氣體也經(jīng)壓縮機(jī)壓縮后按比例經(jīng)預(yù)熱器加熱后送至氫化反應(yīng)器中。氣體排放物在尾氣淋洗塔系統(tǒng)中處理。使用兩臺球罐儲存硅烷，儲量約為二十天。塔頂產(chǎn)物富含硅烷，送入精餾提純。 STC 作為塔底產(chǎn)物分離出來，送至存儲以返回到買方 TCS 生產(chǎn)，塔頂富含 DCS 的產(chǎn)物加壓后送至第二胎反應(yīng)精餾 圖 1 硅烷氣生產(chǎn)工藝流程圖 硅烷生產(chǎn)線 由兩臺反應(yīng)精餾塔，一臺提純精餾塔及其配套進(jìn)料槽、進(jìn)料泵、冷凝器、再沸器、回流罐、回流和塔底泵 。硅鎂合金法制備硅烷的工藝流程非常簡練。 （ 5） 從能源綜合利用來看， 工藝上采用國際上最先進(jìn)的四氯化硅冷氫化技術(shù)，四氯化硅可實現(xiàn)全部工廠內(nèi)部消化，且 95%以上可以轉(zhuǎn)化為三氯氫硅，利用率高，降低了多晶硅生產(chǎn)的單位電耗。 （ 3） 公司 充分利用現(xiàn)有公用工程配套優(yōu)勢。因為硅皖氣體沒有腐蝕性而三氯氫硅具有較強(qiáng)的腐蝕性，所以硅烷法工藝對工藝管道和設(shè)備的要求比三氯氫硅法低，生產(chǎn)工藝系統(tǒng)的總投資比三氯氫硅法低 。但是面對未來的光伏市場，企業(yè)要生存就必須發(fā)展，發(fā)展是硬道理，發(fā)展是企業(yè)生存的唯一法寶。一期設(shè)計建設(shè)由一批經(jīng)驗豐富的中外專家組成，保證了產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和流程設(shè)計理念一流、技術(shù)領(lǐng)先。目前有 16 能力生產(chǎn) 6N 級以上高純電子氣體的只有少數(shù)國家，而高純氣體在電子產(chǎn)品、航空航天、高效太陽能電池、軍事工業(yè)方面有著廣泛的應(yīng)用。其中硅烷尤其是高純度硅烷，是制約集成電路可靠性和成品率的重要因素。 14 2 項目概況 建設(shè)單位基本情況 項目名稱及項目建設(shè)單位 項目名稱： 年產(chǎn) 500 噸硅烷項目 企業(yè)名稱： 江西景德半導(dǎo)體新材料有限公司 企業(yè)性質(zhì)： 民營企業(yè) 法定代表人： 陸廷秀 項目地址： 江西省 景德鎮(zhèn)市高新區(qū)產(chǎn)業(yè)園內(nèi) 企業(yè)概況 江西景德半導(dǎo)體新材料有限公司是中電電氣集團(tuán)旗下的一家全資子公司。隨著電力、 天然氣 等能源價格的上漲，生產(chǎn)成 本也在上升。 硅烷，也稱矽烷，化學(xué)式為 SiH4的一種化合物。 43 8 合理化建議 37 項目能源消耗種類、來源 34 暖通動力系統(tǒng) 33 變壓器系統(tǒng) 33 供電照明系統(tǒng) 29 主要耗能設(shè)備一覽表 23 項目主要耗能設(shè)備選型評估 20 工藝流程簡述 7 有關(guān)法律、法規(guī) 14 項目名稱及項目建設(shè)單位 16 3 能源供應(yīng)情況分析評估 18 4 項目建設(shè)方案節(jié)能評估 21 總平面布置評估 37 6 節(jié)能對策措施和效果分析 41 節(jié) 能效果分析 42 7 評估結(jié)論 本項目通過 氯硅烷歧化反 應(yīng)法 新建年產(chǎn) 500噸硅烷氣生產(chǎn)線，生產(chǎn)過程閉路，對 節(jié)能 環(huán)保有利，轉(zhuǎn)化率高，是當(dāng)今最先進(jìn)的硅烷生產(chǎn)技術(shù)。 7 1 評估依據(jù) 節(jié)能評估報告編制目的 及意義 （ 1）評價項目是否符合國家、省、市有關(guān)節(jié)能法律、法規(guī)、規(guī)章和產(chǎn)業(yè)政策。 公 司集多晶硅原料科研、生產(chǎn)、銷售為一體，并于集團(tuán)其他子公司共同形成包括多晶硅料、拉晶切片、太陽能電池、組件、應(yīng)用系統(tǒng)在內(nèi)的完整光伏產(chǎn)業(yè)鏈，是集團(tuán)緊跟國家能源發(fā)展政策，立足光伏產(chǎn)業(yè)的重要戰(zhàn)略部署。近年來十分熱門的發(fā)光二極管（ LED）生產(chǎn)更是離不開硅烷氣體。 因此，我公司擬采用氯硅烷歧化法建設(shè)年產(chǎn) 500 噸硅烷氣生產(chǎn)線。美國商務(wù)部于 20xx 年 5月 17日對原產(chǎn)于中國的光伏產(chǎn)品做出反傾銷初裁決定，稅率為 %—%，對中國企業(yè)出口到美國的光伏產(chǎn)品采取反傾銷措施。一條生產(chǎn)線兼顧了多晶硅和硅烷特氣兩大產(chǎn)品，克服景新目前產(chǎn)品單一，容易受市場波動影響企業(yè)的收益。硅烷無腐蝕性，熱分解溫度低且分解率高，故此法所得硅多晶的純度高，產(chǎn)率高。 公司 僅需投入裝置部分投資以及很少的配套工程便可建設(shè) 500 噸 /年 硅烷 裝置 。 1）硅烷 氣 生產(chǎn)線 采用兩級歧化反應(yīng) ； 2）新建一 條 3萬噸冷氫化生產(chǎn)線，處理還原 生產(chǎn)產(chǎn)生的 STC和硅烷生產(chǎn)中產(chǎn)生的 STC； 3）與冷氫化配套新建一條 3萬噸精餾裝置。該方法已經(jīng)實現(xiàn)千噸級規(guī)模生產(chǎn)水平。 STC 作為塔底產(chǎn)物分離出來，送至存儲以返回到買方 TCS 生產(chǎn)，塔頂富含 DCS 的產(chǎn)物加壓后送至第二胎反應(yīng)精餾塔。根據(jù) TCS 進(jìn)料分析，可能會有一些輕雜質(zhì)，以精餾塔側(cè)線采出的方式從系統(tǒng)中除去。灌滿槽罐，儲存，然后裝入箱式拖車和槽罐拖車。廢液送至 一期 460 廢液處理裝置 中和。 除塵后的氣體經(jīng)過冷凝器冷凝分離回收，冷凝液主要為氯硅烷的混合液，送入粗氯硅烷儲罐，而氫氣返回循環(huán)氫氣壓縮機(jī)循環(huán)使用。 130℃的高溫水回水經(jīng)高溫水冷卻系統(tǒng)及熱能回收系統(tǒng)冷卻循環(huán)利用。 新建精餾裝置的高低沸物的分離提純，可使用一期已使用的 8＃、 9＃塔可達(dá)到回收的目的，也可滿足生產(chǎn)要求。其中，氯硅烷在整個生產(chǎn)過程中循環(huán)生產(chǎn)使用，僅在少數(shù)情況下需少量外加。 年產(chǎn) 500噸硅烷 項目節(jié)能評估 報告 書 16 能源消耗平衡表 表 3 能源消耗平衡表 購入貯存 輸送分配 最終使用 實物量 等價值 當(dāng) 量值 硅烷生產(chǎn) 系統(tǒng) 冷氫化處理 系統(tǒng) 精餾及 尾氣回收 輔助生產(chǎn) 辦公 合計 供入能量 天然氣 1275 萬m179。天然氣已經(jīng)接入 高新區(qū) 工業(yè)園區(qū)，由 華潤和深燃 天然氣公司供應(yīng)，因此項目能源供應(yīng)條件比較 適合項目實施 。最后排 年產(chǎn) 500 噸硅烷 項目節(jié)能評估 報告 書 19 入工業(yè)園的工業(yè)排水管道 。 （ 6） 搞好清潔生產(chǎn) 不斷改進(jìn)設(shè)計、使用清潔的能源和原材料、采用先進(jìn)的工藝與裝備、改善 管理、綜合利用等措施，從源頭削減污染，提高資源利用效率，減少或避免生產(chǎn)、服務(wù)和產(chǎn)品使用過程中污染物的 年產(chǎn) 500 噸硅烷 項目節(jié)能評估 報告 書 20 產(chǎn)生與排放，以減輕或者消除對人類健康和環(huán)境的危害。 年產(chǎn) 500 噸硅烷 項目節(jié)能評估 報告 書 22 （ 2） 工藝管路短捷 ，投資節(jié)省。由于硅烷法工藝流程比三氯 氫硅法簡單，因此硅烷 法工藝的占地面積比三氯氫硅法小，屬于土地集約化多晶硅工藝 。 主要用能工序節(jié)能評估 硅烷法流化床技術(shù)總體技術(shù)路線是：工業(yè)硅、 SiCl4 和 H2 經(jīng)氫化反應(yīng)器生產(chǎn)含 SiHCl3 混合氣體，然后歧 化后產(chǎn)生硅烷氣體，硅烷氣體經(jīng)流化床反應(yīng)器制成顆粒狀多 晶硅。而硅烷流化床法以 Si、 H SiCl4 為原 料，反應(yīng)過程中產(chǎn)生的 H2 和 SiCl4 均循環(huán)使用，真正意義上實現(xiàn)了閉路循環(huán)，杜絕了 SiCl4 污染；同時能耗大大降低，改變公