【正文】 觀的兩位數(shù)增長率。通過使用更匹配的麥克風(fēng)，還可顯著提升噪聲消除設(shè)計。因此無需麥克風(fēng)的手工插件，從而減少裝配的時間和成本。歐勝同時還提供這兩款芯片的升級版本W(wǎng)M7110E和WM7120E，這是第一款可提供+/1dB靈敏度誤差的MEMS硅麥克風(fēng)。市場研究報告表明，預(yù)計2011年全球市場MEMS麥克風(fēng)的需求將達(dá)到16億只。CMOS MEMS麥克風(fēng)提供的這種設(shè)計簡單性和生產(chǎn)效率將使手機、PC機、PDA和無數(shù)其它消費電子產(chǎn)品的設(shè)計人員及制造商能夠制造出更強勁、功能更豐富、成本更低的產(chǎn)品，更好地為市場服務(wù)。最后，CMOS硅晶麥克風(fēng)具有表面安裝和分撿兼容性，不再需要進(jìn)行手工組裝，故而降低了成本，并提高了可靠性、生產(chǎn)能力和良率。當(dāng)在微米級的聲學(xué)結(jié)構(gòu)內(nèi)制作電子線路時，線跡長度很短，能夠提高減少擊穿噪聲的能力。由于CMOS MEMS麥克風(fēng)是采用業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝和目前用來制造集成電路的設(shè)備制作的，故該器件可以在全球任何一家CMOS晶圓廠生產(chǎn)。另一項挑戰(zhàn)是ECM不僅能夠檢測聲音信號，還能檢測出機械振動，并最終把振動轉(zhuǎn)換為低頻聲音信號。電容的衰減頻率可從制造商提供的規(guī)格手冊中查到。低功率的便攜式設(shè)備一般使用功率門限(powergating)技術(shù)，不在使用中時就關(guān)斷RF。(4)可批量生產(chǎn)：采用微系統(tǒng)工藝和集成電路工藝制作的硅麥克風(fēng)是很容易實現(xiàn)批量生產(chǎn)的，批量生產(chǎn)最直接的作用就是降低成本，同時大量的硅麥克風(fēng)的應(yīng)用就會更為容易。硅麥克風(fēng)是指在硅片上，利用微系統(tǒng)工藝（MST）制造，工藝尺寸一般在微米、毫米之間，能夠把聲信號轉(zhuǎn)化成電信號完成傳感器功能。由于耐熱性強，MEMS麥克風(fēng)可承受260℃的高溫回流焊，而性能不會有任何變化。該彈性硅膜將聲波轉(zhuǎn)換為電容變化。由于采用硅材料制作，這種具有革新意義的麥克風(fēng)汲取了半導(dǎo)體工藝技術(shù)的種種優(yōu)點。硅微型麥克風(fēng)，通過利用集成電路技術(shù)將微型機械系統(tǒng)與電子組件集成于硅晶面板的表面。硅麥克風(fēng)的組成一般是由MEMS微電容傳感器、微集成轉(zhuǎn)換電路、聲腔、RF抗干擾電路這幾個部分組成的。圖2 硅麥克風(fēng)應(yīng)用電路模型傳統(tǒng)麥克風(fēng)一般的尺寸一般比硅麥克風(fēng)大一倍多，因為其工藝的水準(zhǔn)，并且不能進(jìn)行表面貼裝操作。三、硅麥克風(fēng)的特點作為MEMS 中重要的器件，硅麥克風(fēng)很早就進(jìn)入了實驗室。硅麥克風(fēng)的優(yōu)點主要在于如下幾個方面：(1)性能好：硅麥克風(fēng)在靈敏度上沒有降低外，還提高了抗干擾能力，防潮。近年來文獻(xiàn)都以電容式居多，它是背極板和振膜組成平板電容，聲波作用于振膜，將聲信號轉(zhuǎn)變成電信號。一旦信號進(jìn)入音頻頻段，就很難消除。由于ECM沒有任何電源抑制(PSR)能力，電源很小的波動就能引起用戶能聽到小輸出信號波動。此外，不論是制作ECM振膜和背板的材料，還是ECM的永久振膜充電，在表面安裝必需的高溫下，性能都會顯著下降。在CMOS MEMS平臺上開發(fā)的單塊集成電路硅晶麥克風(fēng)解決方案使消費電子設(shè)備設(shè)計人員和制造商得以避免眾多ECM相關(guān)問題。CMOS MEMS麥克風(fēng)還解決了使用ECM所遇到的許多機械設(shè)計和制造方面的挑戰(zhàn)。使用數(shù)字CMOS MEMS麥克風(fēng)的優(yōu)點在麥克風(fēng)和CODEC之間需要很長電纜的應(yīng)用中最為顯著，比如筆記本電腦平臺，為達(dá)最佳聲效，一般麥克風(fēng)被安裝在顯示器中，而CODEC則安裝在電腦主體的母板上。與集成電路相似，MEMS器件采用標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體制造技術(shù)制造；這些工藝帶來了前所未有的功能性、可靠性以及性能提升。為了實現(xiàn)這些新興應(yīng)用，客戶需要每個麥克風(fēng)在進(jìn)行信號處理時提供公認(rèn)的穩(wěn)定性能。這項技術(shù)可使一系列基于MEMS的器件在CMOS代工廠里，在帶有其它混合信號技術(shù)晶圓上進(jìn)行制造?！本o湊型WM7110和超微型WM7120芯片標(biāo)準(zhǔn)功耗為160181?！?最后，鐘慶源表示：“歐勝的愿景就是希望建立起，透過新使用者的經(jīng)驗，結(jié)合歐勝的技術(shù)，使人類的感官世界通過歐勝中間的混合訊號處理可以一起連接到數(shù)字世界。麥克風(fēng)仍然是MEMS市場中最為成功的領(lǐng)域之一，它在手機、筆記本、耳機與媒體平板這四大領(lǐng)域中的占有率不斷上升，推動MEMS麥克風(fēng)市場快速增長。盡管蘋果首款iPad和三星電子Galaxy Tab等第一代平板電腦使用駐極體電容麥克風(fēng)(ECM)，但MEMS已開始在第二代平板電腦中得到使用。但從iPad 2與iPhone 4開始，蘋果就完全改用MEMS麥克風(fēng)了。七、硅麥克風(fēng)的發(fā)展趨勢對于大型的半導(dǎo)體制造商來說,他們具備制造該產(chǎn)品系列的核心能力。英飛凌設(shè)計的SMM310不只在20Hz20KHz的頻率范圍內(nèi)針對人聲進(jìn)行了優(yōu)化,還有較高的聲學(xué)敏